更新日： 集計期間:2026年04月08日～2026年05月05日
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イオン注入後のアニール条件の違いによる差異を確認
酸化ガリウムGa2O3は、SiCやGaNよりもバンドギャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。デバイスの開発には、特性を左右する不純物濃度や結晶性の制御が重要です。本資料では、イオン注入による結晶構造の乱れから生じるダメージ層及び表面粗さの変化を、アニール条件毎に観察した結果を示します。 測定法：TEM・AFM 製品分野：酸化物半導体・パワーデバイス 分析目的：形状評価・構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
像シミュレーションを併用した結晶形の評価
高分解能HAADF-STEM像は、結晶の原子配列を反映した画像であることから、種々の結晶方位に対応 したSTEM像をシミュレーションすることにより、多結晶体中の結晶粒間の相対方位や観察像の正確な理解に役立ちます。 本資料では、多結晶体であるネオジム磁石中の結晶粒について、EBSD法で得た結晶方位の情報から STEM像をシミュレーションし、実際の高分解能HAADF-STEM像と比較した事例を紹介します。
前処理・分析技術を駆使して課題解決！種々の材料解析と分析評価で開発を支えます
当社は、データ解析(AI/機械学習等)を活用し、製品の付加価値向上や 業務改善をサポートいたします。 目前にある課題やお困りごとを、材料開発、分析、データ解析の専門家が スピーディーに解決。 専門家集団がプロジェクトを組みワンストップでご要望にお応えします。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【当社の主な保有設備】 ■FE-TEMTEM(3D、プリセッション)、FE-SEM 、FE-EPMA ■FT-IR、ラマン、NMR、AFM、レーザー顕微鏡 ■X線CT、XPS、XRF、XRD ■TG/DTA(水蒸気ガス化)、DSC ■GC(MS)、LC(MS)、TOFMS、HPLC、IC、ICP、GPC、DART、AAS ■VMS等各種磁気測定装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 LIB正極活物質LiCoO2について、TPD-MSによるガス分析とin-situ 昇温TEM法の2つのin-situ 昇温手法を用いて、昇温時におけるLiCoO2粒子の発生ガスと形態・組織・構造変化の関係性を調査した。その結果、ガス発生は構造変化と密接な関係にあることが示された。充放電挙動と酷似した変化も認められ、温度をパラメータにした一連の測定結果は、実材料を解析する上でも重要な知見になること、また、高分解能（40nm角程度の視野）でないと検出できない微視的構造変化（ドメイン構造の形成など）について、ASTAR＊（＊ASTARはNanoMEGAS社の登録商標）を用いることで1μm角以上の視野で可視化でき、定量的に解析できることを示した。 【目次】 １．はじめに ２．実験方法 ３．TPD-MSを用いたガス発生挙動の観測 ４． in-situ昇温TEM法による組織変化の観察 ４-１． STEM像における形態・組織変化の観測 ４-２． HRSTEM像における結晶構造変化の観測 ４-３． 650℃以上の形態・組織・構造変化の観測 ５． まとめ
深層学習×データ解析によりSEM像から活物質の粒径を求めました
深層学習により、画像から目的の対象物を抽出することが可能です。また、得られた対象ごとに領域を解析することで数値として情報を得ることができます。 今回、バッテリー正極材の断面SEM像に対して、深層学習を用いて活物質粒子の抽出、クラックの検出をしました。Slice&Viewデータのような3Dデータに対しても同様に抽出が可能です。3Dデータからクラック有、クラック無粒子を抽出し、それぞれの粒径を算出しました。 測定法：SEM、Slice&View、計算科学・AI・データ解析 製品分野：太陽電池、二次電池、燃料電池 分析目的：構造評価、形状評価、故障解析・不良解析 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
数十nmオーダーの狙い精度で数百μm角の断面観察が可能！
弊団では、Xe-PFIBを用いた広域断面のSEM観察を承っております。 集積回路、電極やプリント基板、半導体パッケージの電極を 電気的に接続する金属製ボンディングは直径数十μm～数百μm程です。 Xe-PFIB(Xe-Plasma Focused Ion Beam)では数十nmオーダーで 加工位置を狙い、数百μm角の断面を作製できるため、 ボンディング中央にて全景を詳細に把握することができます。 【測定法・加工法】 ■[SEM]走査電子顕微鏡法 ■X線CT法 ■[FIB]集束イオンビーム加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
Csコレクタ付STEMにより原子レベルでの観察が可能です
パワーデバイス・光デバイスとして実用化されているGaNは六方晶ウルツ鉱構造をとり、c軸方向に結晶学的な非対称性（Ga極性とN極性）が存在します。Ga極性とN極性ではエピタキシャル膜の成長プロセスが異なるほか、結晶の表面物性・化学反応性も異なります。 本資料では、GaNの極性を環状明視野(ABF)-STEM観察により評価しました。その結果、Gaサイト・Nサイトの位置を特定することができ、視覚的にGa極性、N極性の様子を明らかにすることができました。 測定法：TEM 製品分野：パワーデバイス・光デバイス 分析目的：形状評価・構造評価・膜厚評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
活物質の粒径・結晶方位評価、原子レベル観察が可能
リチウムイオン二次電池は充放電によるイオンの脱離・挿入などで電極活物質に成分や結晶構造の変 化が生じます。正極活物質として用いられるLi（NiCoMn)O2（NCM）の構造評価として、EBSDにより一次粒子の粒径や配向性を評価しました。更に、方位を確認した一次粒子について高分解能STEM観察を行 い、軽元素（Li、O）の原子位置をABF-STEM像で、遷移金属（Ni、Co、Mn）の原子位置をHAADF-STEM像で可視化した事例を紹介いたします。 測定法：SEM・EBSD・TEM 製品分野：二次電池 分析目的：形状評価、構造評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
大気非暴露のFIB付き高分解能SEM装置で観察！
弊団では雰囲気制御によって大気暴露を抑え、さらに冷却して加工・観察・ 分析を行うシステムを整備しております。 試料本来の構造を保ったままTEM薄片試料を作製し、観察・分析可能。 不安定な材料でも冷却して薄片化加工を行い、真空を維持したままで 加工⇔観察装置間の移動を行うことで、大気暴露と熱による変質を抑えた 断面TEM/SEM観察が可能です。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■雰囲気制御下での処理 ■クライオ加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
非破壊でデバイス内部の特異箇所を把握！断面観察にて特異箇所の詳細な構造や組成情報を評価
弊団では、電子デバイス内部の構造評価に適した技術を取り揃えており、 観察視野や目的に応じた分析手法をご提案します。 X線CTとFIB-SEMを用いてデバイスの特異箇所を調査した本事例では、 まずX線CTを用いてサンプル全体の内部構造を観察し、特異箇所を探索。 続いて、ビア上に確認された特異的な構造物について、FIB-SEMを用いて 詳細な構造を確認しました。 【測定法・加工法】 ■[SEM]走査電子顕微鏡法 ■[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM) ■X線CT法 ■[FIB]集束イオンビーム加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
SEM-STEM・(S)TEMによる高分子材料の観察事例をご紹介いたします！
弊団では、電子染色を用いた高分子材料の(S)TEM観察を承っております。 高分子材料は軽元素で構成されているため、(S)TEM観察では 明確なコントラスが得られにくい材料です。そのような材料には 染色を行うことでコントラストを増大させることができます。 本事例では、電子染色と呼ばれる方法で四酸化ルテニウム(RuO4)、 四酸化オスミウム(OsO4)、リンタングステン酸(H3[P(W3O10)4]・ xH2O(略称PTA)を用いて染色観察しました。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
毛髪細胞膜複合体(CMC)の観察事例をご紹介いたします！
弊団では、毛髪断面の微細構造(S)TEM分析を承っております。 毛髪細胞膜複合体(CMC)は、毛髪のブリーチや毛染めなどの際に薬剤の 通り道として利用されます。特にキューティクル/キューティクル間の CMCは3層構造を有しており、この可視化を行いました。 四酸化オスミウム(OsO4)で、脂質中の不飽和脂肪酸を狙って 電子染色を行いTEM観察及びSTEM-EDX分析をした事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM) ■ウルトラミクロトーム加工 ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
乳化粒子や無機粉体の形状確認が可能！リキッドファンデーションの塗膜をマクロからミクロまで可視化
当財団が分析した、X線CT・クライオSEMによる化粧品の3D観察の事例を ご紹介します。 プラスチック基材に塗布したリキッドファンデーションをX線CTおよび クライオSEMで観察し、試料内部の分散状態を可視化。 X線CTでは非破壊かつ非接触で巨視的な形態を確認でき、クライオSEMでは さらに微視的な構造を観察することができます。 【特長】 ■リキッドファンデーション塗膜の内部構造を 巨視的な形態観察で評価可能 ■電子顕微鏡による詳細構造の観察では、 乳化粒子や無機粉体の形状確認が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
リポソーム、CNF、微粒子、タンパク質などの形態を観察！
弊団では、ネガティブ染色による(S)TEM観察を承っております。 有機機能材料の微粒子や繊維状物質は、主にC(炭素)、H(水素)、O(酸素)、N(窒素)などの 軽元素から構成されるため、(S)TEMでは形態観察に必要なコントラストが得られません。 そこで、これらの材料には染色を行うことで コントラストを増大させ観察を行うことができるようになります。 本事例では、リンタングステン酸(H3[P(W3O10)4]・nH2O(略称PTA))を用いた ネガティブ染色観察を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
金属材料中の転位の観察にはTEMが用いられてきましたが、SEMを用いた転位の観察ができるようになりました。
金属材料の変形や破壊のプロセスの本質的な理解には、転位の状態を可視化することが重要となっています。従来、金属材料中の転位の観察にはTEM（透過電子顕微鏡法）が用いられてきましたが、近年ではSEM（走査電子顕微鏡法）による観察も試みられていました。今回、当社でもこのSEMを用いた転位の観察ができるようになりました。
結晶性物質の同定や結晶方位の解析ができる電子顕微鏡観察！金属材料全般に適用
『透過型電子顕微鏡（TEM）』は、高い加速電圧の電子線を試料に照射し、 試料を透過した電子線を電磁レンズで拡大することによって透過電子像や 電子線回折像を得ます。 透過電子像では結晶粒界、欠陥、ひずみ、析出物の有無などが観察でき、 電子線回折像からは結晶性物質の同定や結晶方位の解析ができます。 【特長】 ■1,000～1,000,000 倍での観察 ■EDS 分析による超微小領域の元素同定（分析元素：C～U の定性・半定量分析） ■結晶性物質の同定や結晶方位の解析 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
樹脂包埋、切断、研摩などによる試料調整を行い、断面形状観察および元素分析が可能です
株式会社サンコー分析センターでは、走査型電子顕微鏡・エネルギー 分散型X線分光器を用いた分析を行っております。 走査型電子顕微鏡（SEM）では、試料に電子線を走査し、表面から発生 する二次電子や反射電子を像に変換することで試料の形状を観察。 （30倍～300,000倍） エネルギー分散型X線分光器（EDS）では、電子線を走査した際に試料から 放射される元素固有の特性X線を検出することにより元素定性分析を、 特性X線の強度を測定しファンダメンタルパラメータ法による元素の 判定量分析を行います。 また、ご指定の部位のSEM像を写真撮影してご報告。ご希望により 測長、3Dイメージ化が可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
見えるから、追求したい
日本電子株式会社 JSM-IT710HR 走査電子顕微鏡 ナノメートルオーダーでの分解能や分析性能はもちろんのこと、データを取得する際のスループットも重要視される今、新たに誕生したJSM-IT710HRは、"誰でも簡単に高分解能の画像が撮ることが出来るSEM" をテーマに掲げたJEOLのHRシリーズの4世代のモデルです。自動機能を拡充させた操作性と新しい検出器系を兼ね備えた観察性能の向上させました。 ○特長 ・光学像と連動してSEM像が見える ・高分解能電子銃により、よく見える ・自動測定機能: Simple SEM/EDS ・その場で3D像を構築: Live 3D ・新しい低真空二次電子検出器LHSED ・ショットキーFE電子銃の安定性を従来比 4倍以上に強化 ※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
今まで得られなかった情報の取得やお困りの測定への改善が期待できます。
日本電子株式会社 JSM-IT800 電界放出形走査電子顕微鏡は、高分解能観察を実現するための "インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃" と次世代型電子光学制御システム "Neo Engine"、高速度元素マッピングを実現するために追求したGUI "SEM Center" に自社製EDSを組込んだシステムを共通のプラットフォームとしています。 SEMの対物レンズをモジュールとして置き換えることで、様々なニーズに応じた装置を提供します。 〇特長 ・インレンズショットキーPlus 電界放出電子銃(FEG) ・JEOLの電子光学技術の粋を集めた次世代型電子光学制御システム搭載 ・SEM Center・EDSインテグレーション ・SMILE VIEW Lab ・スマイルナビ ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
アズサイエンスおすすめの電子顕微鏡、偏光顕微鏡、質量分析計のご紹介
おすすめの3製品をご紹介いたします。 ◆日本電子株式会社 JEM-ARM200F NEOARM 原子分解能分析電子顕微鏡 冷陰極電界放出形電子銃（Cold-FEG）と高次の収差まで補正可能な新型球面収差補正装置（ASCOR）を標準搭載し、200 kVの高加速電圧だけでなく30 kVの低加速電圧においても原子分解能での観察を実現しました。軽元素を含む材料の明瞭なコントラスト観察が容易になります。 ◆株式会社ニコンソリューションズ 偏光/分散顕微鏡 ECLIPSE LV100ND POL/DS 屈折率、複屈折、遅延、消光角、多色性および伸びの徴候などのアスベストの特性を測定し、アスベストの同定を助けることができます。400倍の倍率で分散染色観察を可能にします。 ◆日本電子株式会社 JMS-T100LP AccuTOF LC-Express 大気圧イオン化 飛行時間質量分析計 マルチイオン化・堅牢性・容易なメンテナンスを特長とした高い生産性を目指したハイスループット質量分析計です。低極性から高極性まで、幅広い試料を分析することが可能です。
ご要望に応じた分析用・観察用の断面サンプルを作製致します。
はんだ接合部断面・溶接部断面の観察や、異物断面の分析、ASSY品の内部の確認などに必要な試料の前処理加工、「対象物の切断→樹脂包埋→研磨」までの試料調整を実施致します。 試料調整だけのご依頼はもちろん、調整後の観察や分析まで一括で承ります。 ・ポリエステル樹脂 大きい製品を埋めるときに使用 樹脂中に塩素を含まない ・アクリル樹脂 透明度が高い 傷が付きにくい ・エポキシ樹脂 硬化収縮率が小さく、ヒビが入りにくい（カタログ値0.5％） 耐熱／耐水／耐薬品／耐候性に優れている 非着体に対し、接着力が優れている 樹脂中に微量に塩素が含まれている ・ポリッシャー 断面サンプル作製時間が短い。（鏡面研磨までの工程が少ない） 主に樹脂材／鋼材などの研磨に使用。 ・精密ポリッシャー 研磨圧力、研磨時間を設定することが可能。 超硬・セラミックなどの硬質材を研磨してもダレを抑えることが可能。
