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システム重量1.3tとコンパクトで大型417 mmフラットパネルディテクタを搭載したマイクロフォーカスX線CTシステム
■管電圧150kV、管電流500μA 高出力マイクロフォーカスX線管 密封されたマイクロフォーカスX線管は、メンテナンスが不要で、高密度の金属体に対しても十分なパワーを発揮して細部の検出が可能です。プラスチックや有機物から複合材料や軽合金まで、幅広いサンプルのスキャンを可能にします。 ■大型417 mm高解像度フラットパネルディテクタ 3Kの解像度と417 x 417 mmサイズの大型フラットパネルディテクタで、クラス最高のパフォーマンスを発揮します。 ■モーター駆動軸 コンパクトなデザインに、拡大・高さ軸を備えた本格的なマニピュレーターを搭載しています。これにより、様々な被写体を常に最高の解像度で便利に撮影することができます。
“新次元” 計測 XDimensus300はCT対象ワーク内部の3次元内外寸法計測が可能な計測用X線CTシステムで
△High Accuracy 球間距離測定誤差±（3.8+L/50）μmの測定精度を達成。 業界トップクラスの精度保証を実現しました。 △Large Measurement Volume in Compact Cabinet W2.2m×D1.6mのコンパクトな筐体で、 ワークサイズø300mmの撮影を実現。 装置設置場所を選びません。 △Quick and Easy Operation 撮影前の校正作業が不要。 ワークをセットしてすぐに撮影を開始できます
ナノフォーカスX線CTシステムでTGVを透過・斜めCT撮影した事例です。
TGV(Through glass Via:ガラス貫通電極)を透過画像並びに斜めCT撮影した事例です。 ビアに充填されたCu内部のボイドが鮮明に観察できます。 撮影に使用した装置『XVA-160αII"Z"』は、超高分解能 ナノフォーカス3次元X線CTシステムです。 ナノオーダー解析を実現したウルトラハイエンドモデルで、世界トップクラスの斜めCT技術により、わずか3分半でCT撮影することが可能な為、解析の効率化アップにも貢献できる装置です。 【特長】 ■より高倍率に特化し、パッケージ内部の構造も解析可能なハイエンドモデル ■ナノフォーカスX線発生器搭載（フォーカスサイズ 200nm～） ■高倍率2,000倍で詳細構造まで精密に観察 ■高精細トップテーブル、光軸・回転中心・フォーカス自動調整機能を搭載
独自技術「ユーセントリック機構」を搭載した、520mm×520mmまでの大型基板対応で不具合の発見・解析を支援
『XVA-160□520』は、独自技術「ユーセントリック機構」を採用し、 簡単かつ効率的に高倍率での観察が行える3次元X線CTシステムです。 最近では大型基板での観察要望も増えてきたため、今回新たに大型基板 でも高倍率で斜めCTの撮影を行えるモデルをリリースいたしました。 520mm×520mmサイズの大型基板でのはんだ実装状態の観察やデバイスの 不具合の発見・解析を強力に支援します。 【特長】 ■スタンダードモデルをベースにステージ機構を大型化、 精度向上を図り高精細発生器に対応したモデル ■ナノフォーカスX線発生器搭載(フォーカスサイズ 250/800nm) ■高倍率2000倍で細部まで鮮明な観察が可能 ※詳しくは、弊社ホームページのお問い合わせフォームでお問い合わせください。
