更新日： 集計期間:2026年02月25日～2026年03月24日
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高剛性＆高精度、真空にも対応可能な小型6軸ステージ
H-811.I2は、全6軸において高精度な位置決めが可能な小型ヘキサポッドです。 XY±17mm、Z±6.5mmの移動範囲に加え、±21°の回転制御が可能。 パラレルキネマティック設計により、干渉や誤差が最小限に抑えられ、安定した動作を実現します。 特に真空や制限スペース下でも確実な動作が可能で、再現性や剛性を求める精密分野での信頼性に優れます。 最大5kgまでの荷重に対応。
サイズ、天板など、カスタマイズ可能！ カバー付きも人気です。
評価プロセス用ステージなどへの簡易的なホットステージ追加。 また、顕微鏡下などへのホットステージとして。
超薄型で様々なアプリケーションに適合！50-250℃までの設定が可能です。MSA一番人気の製品です！！
評価プロセス用ステージなどへの簡易的なホットステージ追加。 また、顕微鏡下などへのホットステージとして。
超薄型で様々なアプリケーションに適合！
評価プロセス用ステージなどへの簡易的なホットステージ追加。 また、顕微鏡下などへのホットステージとして。
摩擦を抑えながら信頼性の高い動作を実現！マイクロ製造、医療技術、工具制御に使用可能！
ピーアイ・ジャパン株式会社では、6軸ステージを多数取り扱っています。 高速・高精度の小型ヘキサポッドの「H-811.I2」をはじめ、 高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド「H-840」、 高精度ファイバーアライメントシステム「F-712」などをラインアップ。 研究および工業用途、マイクロ製造、医療技術、工具制御に応用されています。 【特長】 〈小型ヘキサポッド「H-811.I2」〉 ■トラベルレンジ：±17mm/±21° ■負荷容量：5kg ■再現性：±0.06μm ■最大速度：20mm/s ■きわめて長寿命 ■真空対応バージョンあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1/100℃制御精度 ペルチェコントローラドライバ TDC-2000/4000Rシリーズ
高精度な±1/100℃の制御安定度を実現した ペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラ 【特徴】 ○小型・高精度 ・1/1000℃の計測分解能と当社独自の 微小電流制御回路により、1/100℃の高精度温度制御を実現 ・高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプルで小型 ・通常のPID 制御の他にオーバーシュートを 0.1℃に抑えられる抑制制御機能、温度変化率を一定に制御する 温度勾配制御機能を搭載しました ○多機能 ・煩わしいPID定数設定を省くためのオートチューニング機能を標準装備 異常検出機能も多数装備 ○汎用性 ・センサは白金測温抵抗体とサーミスタの両方が使用可能 ・パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
小型ながら最大駆動電流10Aを実現！1chデジタルペルチェコントローラドライバ
『TDU-5000A(R/G)シリーズ』はDINサイズの 1ch デジタルペルチェコントローラドライバです。 96mm角のコンパクトなDIN サイズボディーに温度変換部・PID 制御部・バイポーラ定電流を一体化しました。 DC 電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御が実現します。 さらに小型ながら最大駆動電流10A を実現しています。 最大150W までのペルチェ素子を駆動できます。 【特徴】 ○DIN サイズ（96mm 角）のボディーに温度変換部・ PID制御部・バイポーラ定電流駆動部を一体化 ○小型ながら最大駆動電流10A を実現 ○制御用センサはサーミスタ・Pt100 測温抵抗体・熱電対が使用可能 ○制御安定度は最高±0.002℃を実現 ○数々の保護機能を搭載 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
コンパクトなボディーサイズ！最大１5０W までのペルチェ素子を駆動
『TDM-5000A(R/G)シリーズ』は高性能、且つ小型化を目指した基板型の1ch デジタルペルチェコントローラです。 コンパクトなボディーサイズに温度変換部・PID 制御部・パイポーラ定電流駆動部を一体化しました。 DC 電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御が実現します。 さらに小型ながら最大駆動電流10A を実現しています。 最大150W までのペルチェ素子を駆動できます。 【特徴】 ○温度変換部・PID 制御部・バイポーラ定電流駆動部を一体化 ○小型ながら最大駆動電流10A を実現 ○制御用センサはサーミスタ・Pt100 測温抵抗体・熱電対が使用可能 ○制御安定度は最高±0.002℃を実現 ○数々の保護機能を搭載 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
隙間ゼロの球面軸受『SRJ』、減速比に有利なクサビ機構ステージの採用により高精度な位置決めを実現
角度調整機構付き Ｚ軸ステージは、定盤やアライメントステージなどの水平レベル調整を行うステージです。 ［特 長］ ■小型・高剛性 クサビ形機構により小型ながら高剛性 ■多機能 ３点間の中心間距離の変化を吸収できる独自のフレキシブルなジョイント機構を搭載 ■高精度 高さの微小調整や水平レベルの調整、傾斜機構を利用した焦点深度の浅い顕微鏡装置の光学台や傾斜制御治具としても利用可能 ※ 弊社製球面軸受（SRJ）とリニアガイドの組合せにより、荷重に合わせた設計が可能。 ●詳しくは弊社までお問い合わせ下さい。
1軸50〜1800 µmのストロークのタイプ、静電容量センサーで高分解能動作
PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
摩擦ゼロ。25 mmの移動範囲で±0.2 µmの高精度位置決めを実現
A-143 PIglideは、25 mmの移動範囲を持つ小型リニアエアベアリングステージで、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現。 最小インクリメント0.025 µm、位置精度±0.2 µm、真直度±0.05 µmとナノメートルレベルの精度を誇り、計測・検査・光学機器のステージングに最適。 リニアモーターと32ビットBiSS-Cエンコーダを内蔵し、最大速度390 mm/s、加速度10 m/s²の高性能モーションが可能です。
各種装置導入後のXY軸後付けに好適！LMガイドの採用によりロングストロークを実現。透過穴も確保し、幅広いご用途で利用可能。
『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する 超薄型XYステージです。 透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても 使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。 また、LMガイドの採用によりロングストロークで、用途が広がります。 【特長】 ■2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現 ■当社Z軸を追加しても全高70mm ■透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、 顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクトながら高精度なリファレンスクラスの6軸位置決めシステム
6軸自由度を持つパラレルキネマティックデザインで、単軸キネマティックシステムよりもコンパクトで剛性が強いヘキサポッド。 大きなダイナミックレンジで、作動ケーブルがなく、高い信頼性を提供。 また、ソフトウェアによるユーザー定義のピボットポイント設定が可能。 本体寸法：φ136×115mmの超コンパクト設計、ブラシレスDCモータ（BLDC）と長寿命ボールねじによるダイレクトドライブ式。 真空対応（10^-6hPa）バージョンも用意している。光位置合わせ、オートメーション、品質保証試験、試験機器での利用に。 【特長】 ■最小ヘキサポッド(真空オプションあり) ■トラベルレンジ：34mm／42° ■耐荷重：5kg ■アクチュエーター分解能：40nm ■最小インクリメンタルモーション：0.2μm ■再現性：±0.1μm ■ファイバー光学アライメント用スキャンアルゴリズム含む ■ピボットポイント（回転中心）の任意設定が可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適
全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、 評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。 【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』
１／１０００℃計測分解能と当社独自の微小電流制御回路により、１／１００℃の高精度温度制御を実現
１．小型・高精度 ①１／１０００℃計測分解能と当社独自の微小電流制御回 路により、１／１００℃の高精度温度制御を実現しまし た。 ②高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプル で小型です。 ③通常のＰＩＤ制御の他にオーバーシュート抑制制御が追 加され、オーバーシュートを０．１℃に抑えました。 ２．多機能 煩わしいＰＩＤ定数設定を省くためのオートチューニング 機能を標準装備、また異常検出機能も多数装備。 ３．汎用性 ①センサは白金測温抵抗体とサーミスタの両方が使えます ②新駆動回路の採用により、５Ⅴ～２４Ⅴと広範囲なペル チェ電圧に対応することができます。 ③パソコンとのインターフェイスを利用し、種々の温調シ ステムを構築できます。
ペルチェコントローラドライバ ＴDC-2000・4000シリーズ
温度変換部・PID 制御部・バイポーラ定電流駆動部が一体となった ペルチェ素子用の2/4chデジタル温度コントローラ 【特徴】 ○パソコンとのインターフェイスを標準装備 あらゆるシステムに対応することが可能 ○小型・高精度・ローコスト マイコンによるソフトウェアディジタル制御を採用。高精度を実現 ペルチェの駆動電源に独自の回路方式を採用。高効率で高精度 高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプル ○制御サイクルが5 回/秒と高速 ○新駆動回路の採用により、5〜24V と広範囲なペルチェ電圧に対応 ○パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築できる ○パネルキーにてPt100、サーミスタを選択できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
サイズ42x42x21mm、22 mm動作量、最大速度200 mm/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持
U-723はPILINE超音波ピエゾモータを採用した42x42 mm×高さ21 mmのXY軸小型リニアステージです。 小型ながら、22 mmXY軸の動作量、最大速度200mm/s。 内蔵インクリメンタルリニアエンコーダーでセンサー分解能10nm、最小動作量0.1µm、双方向再現性 ±0.2µmを実現。 電源OFF時には、2Nのセルフロック保持力で位置を保持。 アプリケーション例は、マイクロマニピュレーション、オートメーション、バイオテクノロジー、サンプル操作、サンプルポジショニング、限られたスペースでの動作。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
ペルチェコントローラドライバ TDC−1600シリーズ
大容量ペルチェ素子用 300W/600W/900Wタイプの1chデジタルコントローラ 【特徴】 ○温度変換部・PID 制御部・バイポーラ高効率定電流駆動部が 一体となっており、AC電源を供給するだけで ペルチェ素子の温度制御が可能 ○大電力タイプながら制御安定度±0.03℃を実現 ○パソコンとのインターフェイスを標準装備 あらゆるシステムに対応することが可能 ○小型で高精度 ○制御サイクルが10 回/秒と高速 ○表示パネルから温度センサ（Ｐt100，サーミスタ）を選択して使用できる ○パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築可能 ○最大駆動電圧150V／最大駆動電流20Aで使用できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ペルチェコントローラドライバ TDC−1640/1660シリーズ
大容量ペルチェ素子用の 1chデジタルコントローラ（1200Ｗ/1800W タイプ） 【特徴】 ○温度変換部・PID 制御部・バイポーラ高効率定電流駆動部が 一体となっており、AC電源を供給するだけで ペルチェ素子の温度制御が可能 ○大電力タイプながら制御安定度±0.03℃を実現 ○パソコンとのインターフェイスを標準装備 あらゆるシステムに対応することが可能 ○小型で高精度 ○制御サイクルが10 回/秒と高速 ○表示パネルから温度センサ（Ｐt100，サーミスタ）を選択して使用できる ○パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築可能 ○最大駆動電圧150V／最大駆動電流20Aで使用できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
最大駆動電流10Aを実現！コンパクトなDINサイズボディーに温度変換部・PID制御部・バイポーラ定電流を一体化
『TDU-5000A(R/G)シリーズ』は、DINサイズの1chデジタル ペルチェコントローラドライバです。 96mm角のコンパクトなDINサイズボディーに温度変換部・ PID制御部・バイポーラ定電流を一体化しました。 DC電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御が実現します。 さらに小型ながら最大駆動電流10Aを実現しています。 最大150Wまでのペルチェ素子を駆動できます。 また制御安定度は最高±0.002℃を実現(Gタイプ)。 光通信やバイオなどの分野で活躍します。 標準でパソコンとのインターフェイスやパラレルインターフェースを 装備していますので、様々なシステムに対応することができます。 【特長】 ■DINサイズ(96mm角)のボディーに温度変換部・ PID制御部・バイポーラ定電流駆動部を一体化 ■小型ながら最大駆動電流10Aを実現 ■制御用センサはサーミスタ・Pt100 測温抵抗体・熱電対が使用可能 ■制御安定度は最高±0.002℃を実現(Gタイプ・サーミスタ使用時) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
高精度な制御！ペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラ
『TDC-2000/4000Gシリーズ』はペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラです。 従来のTDC-2000/4000Rシリーズを基に、±0.002℃の高精度な制御を実現しました。 オールインワンのTDCシリーズはペルチェの数（2CH、4CH）、電源電圧(10V、15V、24V)によって6機種をラインナップ、いずれも温度センサとして白金測温抵抗体とサーミスタ、お使いいただけます。 また、通信機能として、RS232C を標準装備の他、オプションも用意していますので、あらゆるシステムに対応することができます。 【特徴】 ○小型・高精度 ・5/10000℃計測分解能と当社独自の微小電流制御回路により、 2/1000℃の高精度温度制御を実現 ・高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプルで小型 ○多機能 ・PID定数設定を省くためのオートチューニング機能を 標準装備、異常検出機能も多数装備 ○汎用性 ・白金測温抵抗体とサーミスタが使え、メーカーのデータ により校正が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
2/1000℃の高精度温度制御を実現しました。
ペルチェ素子用の２/４ＣＨデジタル温度コントローラです。 従来のＴＤ-２０００/４０００Rシリーズを基に、±0.002℃の高精度な制御を実現しました。 オールインワンのＴＤＣシリーズはペルチェの数（２ＣＨ、４ＣＨ）、電源電圧(８Ｖ、１５Ｖ、２４Ｖ)によって６機種をラインナップ、いずれも温度センサとして白金測温抵抗体とサーミスタ、ＩＣセンサ（オプション）がお使いいただけます。 また、通信機能として、RS232Cを標準装備の他、オプションも用意していますので、あらゆるシステムに対応することができます。
AC 電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御！ペルチェ素子用の１chデ ジタルコントローラ
『TDC-1600シリーズ』は、温度変換部・PID制御部・バイポーラ高効率 定電流駆動部が一体となっており、AC電源を供給するだけでペルチェ素子 の温度制御が実現するコントローラドライバです。 大電力タイプながら制御安定度±0.03℃を実現しました。 大容量ペルチェ素子用の１chデジタルコントローラ（300W/600Ｗ/900W タイプ）です。 パソコンとのインターフェイスを標準装備していますので、あらゆるシステムに対応することができます。 【特徴】 ○小型・高精度 ・マイコンによるソフトウェアディジタル制御を採用で高精度 ・ペルチェの駆動電源に当社独自の回路方式を採用し、小型・高効率 で高精度 ・高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプル ○高速 ・ペルチェの温度コントロール専用に開発されており制御サイクル が10 回/秒と高速 ○汎用性 ・表示パネルから温度センサ（Ｐt100，サーミスタ）を選択して使用可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
超音波モータ標準ステージだけではあと一歩実現できない装置向けに、カスタムメイドでステージを設計・製作★宇宙での実績あり
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でステージを保持できます。 また高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ■ウェハ検査用レンズ駆動モジュール 小型のEDGEモータを使用したオートフォーカス・モジュール。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
電動アクチュエータを平面上に配置した超薄型ステージ
スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。
24 bit DAC×20 kHzサンプリングレート、アナログ制御も対応1軸ピエゾコントローラ
E-709.1C1L型コントローラは、静電容量式センサーを備えたピエゾベースの1chナノポジショニングシステムです。 ・出力電圧 -30～ 130 V ・ダイナミックアプリケーション向けに最適化されたアンプとセンサ ・デジタルリニアリゼーション ・インターフェース：USB・SPI・RS-232、0～＋10 Vアナログ入力制御 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります！
当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において 必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。 様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。 また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも 製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【ラインアップ】 ■サーフェイス型エアスライダステージ ■ガントリ駆動型エアスライダステージ ■直交型リニアガイドステージ ■ガントリ固定型エアスライダステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
リニアスケールフィードバックで高分解能・高再現性・高保持性を実現したステージ！百mmオーダーのストローク！
シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックス テージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。 ナノテクノロジーという言葉が生まれる前よりナノの位置決めを実現しておりました。そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。 ■真空対応システム特徴・説明 創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステージ！百mmオーダーのストローク！
シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されており、そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。 ■真空対応システム特徴・説明 創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
