更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です！
【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間 ■ 高効率 省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム ■ コンパクト 非常に小型で軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが可能
『MU-X シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.35kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体業界に最適。ドライスクリューポンプのご紹介
スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプです。 ブッシュのドライポンプは重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応できるドライポンプです。 真空ポンプ・ドライポンプに関してはお問い合わせください。 スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプ 【特徴】 ○耐久性がありメンテ間隔が長くコスト低減を実現 ○コンパクト設計の為移動に便利 ○省スペースの真空ポンプ ○ポンプ内温度コントロールが可能
ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ハードプロセス向け ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
到達圧力に優れた真空ポンプとなっており、幅広い用途でご使用いただけます。【アルバック／ULVAC】
PVD シリーズは、信頼性・使いやすさから、長年主力ポンプとして、多くのお客様にご利用いただいている小型油回転真空ポンプです。 2段式回転翼型ポンプで到達圧力に優れた真空ポンプとなっており、幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○ベルト駆動型の小型油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ） ○排気特性が非常に優れている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
構造が堅牢で保守が容易！現在も広く使用されている真空ポンプ
当社では、構造が堅牢で取扱いが容易な『真空ポンプ』を取扱って おります。 スライド弁式一段の真空ポンプ「HI型」をはじめ、二段の「HT型」や プレート弁式の「FV型」をラインアップ。 HI2～8(HT-2～8)の機種については、エキセントリックロッドまわりが 全てオイルフリーの構造となっていますので、運転費が軽減できます。 【特長】 ■構造が堅牢で保守が容易 ■現地メンテナンス対応可能 ■メンテナンス時間が少ない ■稼働停止による減産コスト削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
構造堅牢で且つ細部にわたり部品の互換性があるので、保守が容易
大同往復動真空ポンプは、他の真空ポンプ（水封式や油回転式など）に比べて水や油の後処理が不要です。 また、非常に強固で頑丈な構造になっておりますので、 吸引されるガスに多少の樹脂分や水が混入していても問題ありません。
他の真空ポンプ（水封式や油回転式など）に比べて水や油の後処理が不要
非常に強固で頑丈な構造になっておりますので、吸引されるガスに多少の樹脂分や水が混入していても問題ありません。
研究・改良に努力を重ね、その技術と優秀性を認められ、定評を得ております
往復動滑り弁式真空ポンプ VS/VSW-seriesは、長年の経験による充分な機械強度を持ち、耐久性・再整備性を重視した設計です。メインクランク轍は円錐コロ軸受け4箇所で受け、バルブ駆動用のエキセントリッククランク機構も玉軸受けで支持され、容易に調整・交換が可能です。シリンダーやバルブ面の再研磨を考慮して充分な肉厚（加工シロ）を設定しています。シリンダー内面は数度のボーリングが可能なように充分な肉厚加工シロを持ち、耐磨耗合金の溶射やスリーブの圧入等の特殊使用に対応いたします。同じくバルブの摺動面も同じく充分な再切削シロを持ち、耐磨耗・耐腐食合金の張付加工が可能です。バルブ構造は独自の自動調芯機構と相俟って長期に渡り高性能を発揮します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
