更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプCRシリーズは、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。 排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。 冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与します。 【ラインナップ】 ○CR16A ○CR30A ○CR60A ○CR300A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用！
『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ■導入実績多数 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ロボットのピック＆プレイスや真空包装、印刷業界での紙葉類処理を効率化する真空・加圧ソリューション！
【製品説明】 実績に裏打ちされたロータリーベーン原理で高速排気。ドライ式で排気がクリーン。これらの特徴が、スピードが肝心のロボットのピック＆プレイスや、クリーンな排気が重要となる真空包装、印刷業界での紙葉類処理でSECOが採用されている理由です。 【特長】 ■コンパクト：真空／圧縮空気源として各種装置に組み込み可能 ■終身潤滑ベアリング：優れたアップタイムを実現 ■自己潤滑ベーン：封液や潤滑液を使わないドライな圧縮が可能 ■高信頼：確立されたロータリーベーン原理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
これまでのメンテナンスコストを大幅に削減！長期間連続運転可能なドライポンプ
新型LEYVACの特徴 ・ドライポンプ：プロセスガスにポンプの潤滑油が接触しません ・5年間サービスが不要（クリーンなアプリケーションの場合） ・信頼性のある確立されたスクリュー式のデザイン ・80m^3/h, 140,^3/hの排気速度を大気圧付近から発揮 ・堅牢なデザインと確立された技術により長期間連続運転が可能 ・予想される誤使用に対しても保護機能あり ・大気圧からプロセス圧までフラットな排気速度 ・軽量ガスに対する排気速度が速い ・優れたリークタイト性能 ・ダストに対する耐性が強い ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
オイルフリーおよびメンテナンスフリーの柔軟な設計！省エネ運用でコスト削減！
『nXRi』は、コンパクトな設置面積で30～120ｍ3/hの排気速度性能を 実現するドライ真空ポンプです。 低電力で動作し、メンテナンスフリーの設計により、最大稼働時間と メンテナンスコストの削減が保証されます。 また、分析機器や真空システムへの統合がしやすいため、質量分析、 電子顕微鏡、リーク検出に好適。すぐに使用できる真空ソリューション が実現します。 【特長】 ■コンパクトな設置面積でスペースを最適化 ■ハイパフォーマンスなポンプが必要なときに好適 ■省エネ運用でコスト削減 ■完全オイルフリーかつダストフリー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オリオン機械/真空ポンプ。2シリンダー2機能(真空ポンプ・ブロワ並列)方式。
■2シリンダー2機能(真空ポンプ・ブロワ並列)方式により、真空度60kPa以下の真空源、排気圧力60kPa以下の空気源として同時に独立して使用することができます。 ■従来のコンビネーションポンプに比べ、小型・軽量(当社比)。 ■また取扱いが容易です。
オリオン機械/真空ポンプ。安全設計・低運転音・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により30％アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応
【新製品】LED・スマートフォンなどの各種製造プロセスに使われるドライ真空ポンプ。今なら総合カタログを無料でプレゼント！
油回転・スクリュー式ポンプの代替や、LED・スマートフォンなどの各種製造プロセスに使われる多段ルーツ式ドライ真空ポンプが新発売されました。 高真空・高効率で地球にとても優しいドライガスで排気します。今なら、その総合カタログを無料でプレゼントしますので、 詳しくはお気軽に問い合わせ下さい。
