スクロール型ドライ真空ポンプ
小型・軽量 全圧力領域(大気圧～到達圧力) 軽分子ガスの排気が可能、完全オイルフリー
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- Company：株式会社大阪真空機器製作所
- Price：応相談
ドライ真空ポンプ(排気) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS
Last Updated： Aggregation Period:2026年03月11日～2026年04月07日
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ドライ真空ポンプ Product List
1～30 item / All 53 items
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空冷式ドライ真空ポンプ FR060D
大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- Company：株式会社大阪真空機器製作所
- Price：応相談
ドライ真空ポンプCRシリーズ
排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプCRシリーズは、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。 排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。 冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与します。 【ラインナップ】 ○CR16A ○CR30A ○CR60A ○CR300A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- Company：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- Price：応相談
ドライ真空ポンプECO-SHOCK
消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- Company：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- Price：応相談
ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- Company：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- Price：応相談
ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』
ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
- Company：樫山工業株式会社
- Price：応相談
スクリュー式ドライ真空ポンプ
低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易
当社では、独自のスクリュー形状（Queen Bee Screw）により 驚くべき低速（3600min-1／60Hz、3000min-1／50Hz）を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- Company：大晃機械工業株式会社 陸上事業部
- Price：応相談
ドライ真空ポンプGRシリーズ
一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- Company：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- Price：応相談
クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ 「KTS型」
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- Company：株式会社宇野澤組鐵工所
- Price：応相談
ドライ真空ポンプ JVP-00Proシリーズ
オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプ。
吸気・排気両方に対応（JVP-20Proは吸気のみ）。 排気がクリーン、サンプルを汚染しません。 圧力調整可能・24時間連続稼働可能 過負荷・過熱・短絡保護機能を搭載し、安心して使用できます。 高精度の真空計を採用し、反応が速く正確に圧力を把握できます。 静音仕様で、動作音が小さく快適に使用できます。 コンパクトなサイズで、省スペース設置が可能です。
- Company：株式会社Joman 本社
- Price：1万円 ~ 10万円
ルーツ式ドライ真空ポンプ『VPシリーズ』
熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用！
『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ■導入実績多数 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- Company：株式会社四葉機械製作所
- Price：応相談
ドライ真空ポンプ/コンプレッサーSECOファミリー
ロボットのピック＆プレイスや真空包装、印刷業界での紙葉類処理を効率化する真空・加圧ソリューション！
【製品説明】 実績に裏打ちされたロータリーベーン原理で高速排気。ドライ式で排気がクリーン。これらの特徴が、スピードが肝心のロボットのピック＆プレイスや、クリーンな排気が重要となる真空包装、印刷業界での紙葉類処理でSECOが採用されている理由です。 【特長】 ■コンパクト：真空／圧縮空気源として各種装置に組み込み可能 ■終身潤滑ベアリング：優れたアップタイムを実現 ■自己潤滑ベーン：封液や潤滑液を使わないドライな圧縮が可能 ■高信頼：確立されたロータリーベーン原理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- Company：日本ブッシュ株式会社
- Price：応相談
高性能コンパクトドライ真空ポンプ『nXRi』
オイルフリーおよびメンテナンスフリーの柔軟な設計！省エネ運用でコスト削減！
『nXRi』は、コンパクトな設置面積で30～120ｍ3/hの排気速度性能を 実現するドライ真空ポンプです。 低電力で動作し、メンテナンスフリーの設計により、最大稼働時間と メンテナンスコストの削減が保証されます。 また、分析機器や真空システムへの統合がしやすいため、質量分析、 電子顕微鏡、リーク検出に好適。すぐに使用できる真空ソリューション が実現します。 【特長】 ■コンパクトな設置面積でスペースを最適化 ■ハイパフォーマンスなポンプが必要なときに好適 ■省エネ運用でコスト削減 ■完全オイルフリーかつダストフリー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- Company：エドワーズ株式会社
- Price：応相談
高性能スクリュー型ドライポンプ SCREWLINE
新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮！
【主な特徴】 ◆ 環境に優しい完全オイルフリー ◆ 排気速度 ２５０ｍ３／ｈ（ＳＰ２５０）、６３０ｍ３／ｈ（ＳＰ６３０） ◆ 新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮（最高到達真空度：１Ｐａ以下) ◆ 新設計フラッシングキット搭載（オプション）により内部洗浄時間とコストを飛躍的に削減 ◆ 完全空冷（オプションにて水冷も可能） ◆ 独自のべアリング構造により、メンテナンス時ベアリングの脱着が不要。通常メンテナンス時間を大幅に短縮 ◆ 省エネ設計 ◆ パージガス機能を搭載。バインダー等、パーティクル吸い込みからシール部を完全保護 ◆ 独自のモニタリング機能 ＳＰガードを搭載。運転状況（振動、内部温度、背圧、等）を液晶モニターにて常時表示
- Company：ライボルト株式会社
- Price：応相談
ドライ真空ポンプ JVP-10L
オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプ。
吸気のみ対応。 排気がクリーン、サンプルを汚染しません。 圧力調整可能・24時間連続稼働可能 過負荷・過熱・短絡保護機能を搭載し、安心して使用できます。 高精度の真空計を採用し、反応が速く正確に圧力を把握できます。 静音仕様で、動作音が小さく快適に使用できます。 コンパクトなサイズで、省スペース設置が可能です。
- Company：株式会社Joman 本社
- Price：1万円 ~ 10万円
ドライ真空ポンプ LEYVACシリーズ
これまでのメンテナンスコストを大幅に削減！長期間連続運転可能なドライポンプ
新型LEYVACの特徴 ・ドライポンプ：プロセスガスにポンプの潤滑油が接触しません ・5年間サービスが不要（クリーンなアプリケーションの場合） ・信頼性のある確立されたスクリュー式のデザイン ・80m^3/h, 140,^3/hの排気速度を大気圧付近から発揮 ・堅牢なデザインと確立された技術により長期間連続運転が可能 ・予想される誤使用に対しても保護機能あり ・大気圧からプロセス圧までフラットな排気速度 ・軽量ガスに対する排気速度が速い ・優れたリークタイト性能 ・ダストに対する耐性が強い ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- Company：ライボルト株式会社
- Price：応相談
コンビネーション型ドライ真空ポンプ CBXシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。2シリンダー2機能(真空ポンプ・ブロワ並列)方式。
■2シリンダー2機能(真空ポンプ・ブロワ並列)方式により、真空度60kPa以下の真空源、排気圧力60kPa以下の空気源として同時に独立して使用することができます。 ■従来のコンビネーションポンプに比べ、小型・軽量(当社比)。 ■また取扱いが容易です。
- Company：東栄株式会社
- Price：応相談
コンビネーション型ドライ真空ポンプ CBFシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。安全設計・低運転音・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により30％アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応
- Company：東栄株式会社
- Price：応相談
ドライ真空ポンプ『ECODRY 40 / 65 plus』
低騒音・低振動で快適な作業環境を実現
『ECODRY plus』は会話やエアコンの音よりも静かな小型ドライポンプです。 サイレンサーを内蔵しており、運転音はわずか52dB未満と超低騒音を実現。 振動も少なく、作業に集中できる環境づくりに貢献します。 パーティクルが排気チャンバーに侵入せずクリーンな真空を確保するほか、 オイル・シール交換といったメンテナンスが不要。デモ機を用意しています。 【特長】 ■研究所など静かでクリーンな環境が求められる空間に好適 ■水蒸気排出量の許容値が高い ■軽量・コンパクト ■キャスター付きで移動が簡単 ※「PDFダウンロード」から製品が掲載された資料をご覧いただけます。
- Company：ライボルト株式会社
- Price：応相談
『6段式ドライ真空ポンプ』総合カタログ ※無料配布中
【新製品】LED・スマートフォンなどの各種製造プロセスに使われるドライ真空ポンプ。今なら総合カタログを無料でプレゼント！
油回転・スクリュー式ポンプの代替や、LED・スマートフォンなどの各種製造プロセスに使われる多段ルーツ式ドライ真空ポンプが新発売されました。 高真空・高効率で地球にとても優しいドライガスで排気します。今なら、その総合カタログを無料でプレゼントしますので、 詳しくはお気軽に問い合わせ下さい。
- Company：株式会社アンレット
- Price：応相談
ドライ真空ポンプECODRY 25 / 35 plus
小型で軽量、低騒音・低振動のドライ真空ポンプ。クリーンな真空を生成できます。
低騒音・低振動のため研究開発や分析機器での使用に最適なマルチルーツ型の小型ドライ真空ポンプ。先端のテクノロジーを使用した革新的なドライ真空ポンプです。ターボ分子ポンプのバックポンプとしての使用にも適しています。 非接触ローターを採用しており、パーティクルが発生しません。また、排気チャンバーはオイルフリーで、クリーンな真空を生成できます。 約5年間メンテナンス不要です。
- Company：ライボルト株式会社
- Price：応相談
ケミカルプロセス用 ドライ真空ポンプ『TRMシリーズ』
凝縮性ガスの吸引に好適！ケミカルプロセス用の汎用ドライ真空ポンプ
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に好適です。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、又、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- Company：株式会社宇野澤組鐵工所
- Price：応相談
真空蒸留・真空濃縮用 ドライ真空ポンプ『TRMシリーズ』
組み合わせにより高真空及び大風量の仕様にも対応可能！化学プラント向けの汎用ドライ真空ポンプ
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ルーツ形ドライ真空ポンプです。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に最適なドライ真空ポンプです。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- Company：株式会社宇野澤組鐵工所
- Price：応相談
スクリュー式ドライ真空ポンプ TDシリーズ
扱いやすく、メンテナンスもラク。
コストパフォーマンスにすぐれたドライ真空ポンプシリーズ。
- Company：大晃機械工業株式会社 陸上事業部
- Price：応相談
ドライ真空ポンプ「ISPシリーズ」
リーク性能が2ケタ向上！スクロール真空ポンプ「ISP-250E」が新発売 ※デモ機貸出し中！
アネスト岩田のドライ真空ポンプ「ISPシリーズ」にISP-250Eが新しくラインアップに加わります。従来モデルに対してリーク性能が2ケタ向上！1年目または8000時間のメンテナンスではクリーニング・グリスアップのみとなり、メンテナンスコストを大幅に削減しました。 お客様に進化を実感していただけることを目指したモデルとなっておりますので、デモ機の貸出しをご希望の方は、お問い合わせ内容に『デモ機希望』とご記載いただければ幸いです。 ※ご使用用途によって貸出しができない場合がございます。 【特長】 ◆1年目または8000時間毎のメンテナンスではクリーニング・グリスアップのみ ※当社が推奨している使用状況で標準的なメンテナンスの場合 ◆部品の素材変更によりリーク性能が2ケタ向上 ◆ISP-250Cをご使用のお客様は本体交換によりISP-250Eにアップグレードが可能 ※総合カタログも進呈しております。詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。
- Company：アネスト岩田株式会社
- Price：応相談
スクリュー式ドライ真空ポンプ COBRA NC 400 B
ブッシュのドライポンプのご紹介
製薬・ケミカル業界をはじめとする様々な産業工程に適した真空ポンプです。 【ドライポンプの特徴】 ・ATEX防爆仕様（ゾーン0、ソーン1に対応） ・オイルフリー非接触圧縮方式 ・シンプル・堅牢な構造のドライポンプ ・数多くのサイズとバージョンに応じて最適な真空ポンプの選定が可能 ・設計排気速度：110 - 720 m³/h (50 Hz) 、130 - 900 m³/h (60 Hz) ・到達真空度：0,01 - 0,05 hPa (mbar)
- Company：日本ブッシュ株式会社
- Price：応相談
小型ドライ真空ポンプ KM
オリオン機械/真空ポンプ。精密空調機サイド調整不要のフリーロータ方式を採用。
■サイド調整不要のフリーロータ方式を採用。 ■メンテナンスが容易。 ■無給油方式で油分を含まない為、作業環境や製品を油で汚さない。 ■ゴムまたはビニールホースを直接接続することが可能。
- Company：東栄株式会社
- Price：応相談
ドライ真空ポンプ『MU-XE シリーズ』
世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが可能
『MU-XE シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.25kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- Company：樫山工業株式会社
- Price：応相談
大型標準ドライ真空ポンプ KRFシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。安心設計・低運転音を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により10％アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応。
- Company：東栄株式会社
- Price：応相談
