大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8
短い開閉時間による高いスループット
-保有コストが低い -短い開閉時間による高いスループット -お客様指定のデザイン
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
角形ゲートバルブ - 企業4社の製品一覧
製品一覧
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角型ゲートバルブ『Gate valve T-Motion』
大型化するFPD基板(G11)に対応！横搬送共に無摺動を実現した角型ゲートバルブ
『Gate valve T-Motion』は、バルブサイズ(幅×高さ)の制約無く装置設計者の 思いのままに設定可能な角型ゲートバルブです。 独自のバルブモーションにより、開閉速度を落とすことなく低振動化を 実現しました。 バルブサイズを超えた部品の共通化により、低価格な製品となっております。 【特長】 ■低振動 ■低パーティクル ■低価格 ■さまざまな世代にマッチ ■大型化するFPD基板(G11)に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ブイテックス 本社
- 価格：応相談
大型角型ゲートバルブ SOLVAT Series 06.6
過酷なプロセスおよび高温に対応した設計
-短い開閉時間による高いスループット -過酷なプロセスおよび高温用の設計 -バルブのフランジの面間距離が小さい
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
大型角型ゲートバルブ TWINVAT Series 06.1
軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ
-軽量コンポーネントによる高速動作速度 -メンテナンス中のシステム停止時間なし -3つの異なるサービスポジション -メンテナンス中の安全モード
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
角型ゲートバルブ
「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！
当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。 【特長】 〈デュアルゲートバルブ〉 ■完全水平移動の為、Oリングの擦れが無い ■左右の独立駆動によりPM/TMチャンバーのメンテナンス性が向上 ■コンパクト設計(シングルバルブと同サイズ) ■開口45×450mmに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ナカンテクノ株式会社
- 価格：応相談
