ナガセテクノエンジニアリングの製品・サービス一覧

『マイクロミストコーター』は、エレクトロスプレーという現象を利用し、 液体をミスト化して塗布するスプレーコーティング装置です。 金属、カーボン、硝子、蛍光体などの様々な微粒子、超微細な液剤、 フィラー分散、スラリー、ペースト等が含まれる液剤、幅広い粘度 （数cp～数千cp）の液体に対応できます。 静電気力により細かくミスト化した液体が基材に引き寄せられるため、 ミストの飛散を最小限に留めます。 【特長】 ■微粒子のコーティングに対応 ■液剤コストを削減 ■作業環境をクリーンに維持 ■高い膜厚均一性 ■凹凸基材へのコーティングに対応 ※詳しくは弊社ウェブサイトまたはPDF資料をご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他加工機械

『m-Highest V』は、低粘度から高粘度まで、様々な物性の製品を バッチ式オールインワンプロセスで、乳化、分散、攪拌、混合、粉体溶解が 可能な多機能高せん断真空ミキサーです。 ミキサー運転中は大循環モードと高せん断モードに切り替えが可能となっており、 独自のプロセス調合に対応できます。 生産機用の100L～20000Lに加え、実験や研究開発用途仕様の2L～20Lを ラインアップしております。 【特長】 ■バッチ式オールインワンプロセス ■ミキサー運転中は大循環モードと高せん断モードに切り替え可能 ■独自のプロセス調合に対応できる ■過度な発泡、ダマを抑えつつ短時間で調合が可能 ■汎用ミキサーに比べて半分の時間で微粒化することができる

• ミキサー・攪拌器

当製品は、Eshylon Scientific社が開発した革新的なモバイル静電キャリアです。 専用キャリアに薄い基板を接着し補強することにより、壊れやすい基板を損傷なく ハンドリングします。 反りのある極薄ウエハも既存ラインで従来のプロセスを行うことが可能です。 並外れた歩留まり、高い処理能力により、基板の薄膜化のニーズにお応えします。 【特長】 ■高スループット ■歩留まり向上 ■低コスト ■広域な用途 ■接着剤不使用 ※詳しくは弊社ウェブサイトまたはPDF資料をご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

H-Square社製『基板ハンドリングツール・装置』をご紹介しております。 「自動ウエハ移載機」や「ウエハノッチ/フラットアライナ」、「ウエハリフタ」などコンパクトな卓上型自動装置および手動機をはじめ、従来の「真空ピンセット」、「メカニカルピック」など多数ラインアップがございます。 【ラインアップ】 ■ウエハ移載機 ■ウエハアライナ ■ウエハリフタ ■真空ピンセット ■メカニカルエッジピック ■メタルカセット ■マスクピック 他 ※詳しくは弊社ウェブサイトご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他半導体製造装置

ePAK社製の『プロセス用ウエハカセット・搬送用ウエハケース/ウェハートレー』をご紹介しております。 「プロセス用ウエハカセット」をはじめ、「搬送用ウエハケース/ウェハートレー」は1枚用、25枚用、ジャータイプなど、その他「フレックスフレーム」「HOOPリング」なども多数ラインアップがございます。 製品選定の際に、ぜひご活用下さい。 【掲載内容】 ■プロセス用ウエハカセット ■ウエハ出荷容器 ■ウエハジャー ■シングルケース（ウェハートレー） ※詳しくは弊社ウェブサイトをご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

『洗浄用カセット』は、基板やフォトマスクの洗浄用途で使用可能な 耐薬液及び耐摩耗性に優れたPTFE製カセットです。 ご要望の基板サイズ・形状・スロット数で製作が可能なほか、着脱可能な ハンドルも製作いたします。 また、PTFE製または石英製「洗浄用ビーカー」もご用意しております。 当社では、耐薬品性、耐摩耗性に優れた特注品の設計・製作を承ります。 さまざまな設計のご要望にお応えします。詳細はお問合せください。 【特長】 ■材質：PTFE ■各種基板サイズに対応 ■ご要望のサイズ、形状、スロット数で設計・製作 ■1個から製作可能 ■基板やフォトマスクの洗浄用途で使用可能 ※詳しくは弊社ウェブサイトまたはPDF資料をご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他洗浄機

『KOACH（コーチ）』は、設置が簡単で囲わないため、作業がしやすい オープンクリーンシステムです。 作業空間のコンタミを素早く排出し、空間内の清浄度を維持します。 また、コンパクトなので設置場所を選ばず、研究室でも生産現場でも 使いたい場所に設置が可能です。 【特長】 ■稼動後、短時間で清浄空間を実現 ■オープン構造で作業がしやすい ■作業空間のコンタミを素早く排出 ■コンパクトで設置場所を選ばない ■設置が簡単

• その他クリーンルーム用機器・設備

『Bonavista社製マルチパスフィルター試験装置』は、各種フィルタの 濾過性能・濾過効率をISO規格に基づき短時間で正確に測定する試験装置です。 【特長】 ■テストシステム ■広い内部スペース ■コンピューター制御とデータ取得 ■希釈装置と自動洗浄システム ■適用規格：ISO CD 23369、ISO 4548-12、ISO 16889、ISO 3968 ※詳しくは弊社ウェブサイトまたはPDF資料をご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 試験機器・装置

パルスチューブ冷凍機は圧縮機、蓄冷機およびパルス管という単純な管によって構成されます。GM冷凍機との大きな違いは蓄冷材がシリンダ内を往復運動しないことで、冷凍機運転時の振動が小さいことです。また蓄冷材が固定されていますので、GM冷凍機と比べ駆動部が少ないので、メンテナンス回数が少なくなっています。住友重機械工業製パルスチューブ冷凍機の特長は、１段冷凍能力を高くする工夫を行ったため、外部からの熱進入量を低減させることを実現し、２段冷凍能力を有効に利用できるようになりました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 冷蔵庫・冷凍庫
• 冷却装置

極低温冷凍機　4K　GM冷凍機　RDK-415Dは、蓄冷材がシリンダ内部を往復運動し、冷媒ガスを断熱膨張し、寒冷を発生させる機械式冷凍機です。住友重機械工業製のGM冷凍機の蓄冷材を往復運動させる方法は、クランク機構を利用してモーター回転運動を往復運動によって変換させています。また、２段蓄冷材シールに工夫を行い、世界で初めての、４K冷凍機の取付方向に制約のない冷凍機です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 冷蔵庫・冷凍庫
• 冷却装置

極低温冷凍機　4K　GM冷凍機　RDK-408D2は、蓄冷材がシリンダ内部を往復運動し、冷媒ガスを断熱膨張し、寒冷を発生させる機械式冷凍機です。住友重機械工業製のGM冷凍機の蓄冷材を往復運動させる方法は、クランク機構を利用してモーター回転運動を往復運動によって変換させています。また、２段蓄冷材シールに工夫を行い、世界で初めての、４K冷凍機の取付方向に制約のない冷凍機です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 冷蔵庫・冷凍庫
• 冷却装置

極低温冷凍機　40K　GM冷凍機　RDK-400Bは、蓄冷材がシリンダ内部を往復運動し、冷媒ガスを断熱膨張し、寒冷を発生させる機械式冷凍機です。住友重機械工業製のGM冷凍機の蓄冷材を往復運動させる方法は、クランク機構を利用してモーター回転運動を往復運動によって変換させています。また、２段蓄冷材シールに工夫を行い、世界で初めての、４K冷凍機の取付方向に制約のない冷凍機です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 冷蔵庫・冷凍庫
• 冷却装置

極低温冷凍機　4K　GM-JT冷凍機は２段式冷凍機にジェールトムソン（JT)膨張部を追加した４K冷凍機です。４Kの冷凍能力はヘリウムの潜熱を利用しており、GM冷凍機やパルスチューブ冷凍機といった膨張型冷凍機と比べて非常に効率のよい機械です。また、潜熱を利用しているため、温度変動が非常に少ない事も特長の１つです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 冷蔵庫・冷凍庫
• 冷却装置

MARATHON CP-250LP CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 真空ポンプ

MARATHON CP-20 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。取付フランジは、ISO500, ANSI 20“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 真空ポンプ

MARATHON CP-16 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。取付フランジは、ISO400, CVC10“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 真空ポンプ

MARATHON CP-12 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。取付フランジは、ANSI10“, ISO320又はCF14“の中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 真空ポンプ

MARATHON CP-8LP CRYOPUMPは、取付フランジを ANSI6“, ISO200又はCF10“の中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 真空ポンプ

MARATHON CP-8 CRYOPUMPは、取付フランジを ANSI6“, ISO200又はCF10“の中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 真空ポンプ

77K　GM冷凍機　CH-110は、蓄冷材がシリンダ内部を往復運動し、冷媒ガスを断熱膨張し、寒冷を発生させる機械式冷凍機です。住友重機械工業製のGM冷凍機の蓄冷材を往復運動させる方法は、クランク機構を利用してモーター回転運動を往復運動によって変換させています。また、２段蓄冷材シールに工夫を行い、世界で初めての、４K冷凍機の取付方向に制約のない冷凍機です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 冷蔵庫・冷凍庫
• 冷却装置

1.複合発酵型循環システム 2.金属イオン型循環システム

• その他

化学薬品の使用量および廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成

• 液晶ディスプレイ
• その他半導体

HVA社の高真空バルブ・超高真空バルブは、半導体製造装置をはじめ、研究機器など様々 な分野に対応する多種多様のゲートバルブ、スリットバルブを取り揃えております。

• 真空機器

極低温冷凍機と超電導応用技術 エネルギーやコンピュータ、交通、通信、身近な医療まで、さまざまな分野で、様々な夢が語られている超電導応用技術。 この超電導とは、絶対温度（マイナス２７３℃）近くの極低温の世界がもたらす極限物性の一つ。電気抵抗がゼロになり、物体浮上（マイスナー効果）を引き起こしたり、超高速のスイッチング（ジョセフソン効果）が可能になったり、私たちが生活する常温の世界では考えられない物性が、極低温の中でイオンや電子の相互作用によって現れてくるものです。超電導は、１９１１年にオランダ人が水銀を４．２Ｋ（ケルビン）に冷やすことによって、始めて発見されました。 以来、およそ１００年の間に冷凍技術が目覚しい進化を遂げ、それに伴い超電導に関する研究開発も格段の進歩をとげたのです。２１世紀のキーテクノロジーと言われている超電導。エネルギーに関する応用技術ひとつとっても、美しい地球環境を守りながら、地球エネルギーを最大限に活用する技術として、その役割はますます大きくなっています。 長年にわたり冷凍技術に関わってきた経験をいかし、独自のヘリウム専用圧縮機や高性能極低温冷凍機を販売しています。

• 真空機器

必要不可欠な「超高真空」 半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域で実現することが、先端科学技術の成果をより大きなものへと導いてくれるのです。 高い排気速度とクリーンな真空品質 豊富な空調技術から開発した独自のヘリウム圧縮機とソルベイサイクル冷凍方式によるクライオポンプユニットを発売。高い排気速度とクリーンな真空品質、なにより、その信頼性と完成された機能が、さまざまな現場で評価されてきました。生産性の向上と、効率化を求める二ーズに応えて、ラインアップを追加し、シリーズ別分類によって、 ますます充実したMarathon CPシリーズ。品質で語る真空が、ここにあります。

• 真空機器