【ラインアップ】 ■試験・研究向け ■小ロット量産向け ■量産向け ※詳しくは弊社ウェブサイトまたはPDF資料をご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他加工機械

【ラインアップ（抜粋）】 ■実験機用 　・タンク容量2L、翼径Φ40 　・タンク容量5L、翼径Φ40 　・タンク容量20L、翼径Φ100 ■生産機用 　・タンク容量100L、翼径Φ200 　・タンク容量2000L、翼径Φ300 　・タンク容量7000L、翼径Φ400

• ミキサー・攪拌器

【仕様】 ■サイズ：100mm、150mm、200mm、300mm ■厚み：300um～SEMI規格、カスタム可能 ※詳しくは弊社ウェブサイトまたはPDF資料をご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

※詳しくは弊社ウェブサイトご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他半導体製造装置

【その他の掲載内容（抜粋）】 ■フレックスフレーム ■フレックスフレーム付きウエハ用出荷容器 ■フープリング ■フープリング付きウエハ用出荷容器 ※詳しくは弊社ウェブサイトをご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

【ラインアップ】 ■洗浄用カセット 　・フォトマスク用 　・ウェーハ用 ■洗浄用ビーカー 　・PTFE製 　・石英製 ※詳しくは弊社ウェブサイトまたはPDF資料をご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他洗浄機

【ラインアップ】 ■テーブルコーチ KOACH T 500-F ■オープンクリーンベンチ KOACH C 645-F ■オープンクリーンベンチ KOACH C 900-F ■フロアーコーチ Ez

• その他クリーンルーム用機器・設備

【その他の特長】 ■試験流量により、シングル・2重・3重回路のいずれかで設計 ■低流量の“平板濾紙”、中流量・高流量のテストが可能 ■テスト結果はISO規格 報告書形式で出力可能 ■最大100：1の希釈で粒子測定 ■インジェクション回路、テスト回路を自動洗浄、作業効率アップ ※詳しくは弊社ウェブサイトまたはPDF資料をご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 試験機器・装置

【納入範囲（標準構成）】 ○RP-082B　冷凍機ユニット ○F-70LP/H　圧縮機ユニット ○20mフレキシブルガスホース ○20mコールドヘッドパワーケーブル ○5m入力電源ケーブル ○ガス充填治具、ガスホース接続用レンチキット ○リモートタイプのバルブユニットに変更可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 冷蔵庫・冷凍庫
• 冷却装置

【納入範囲（標準構成）】 ○RDK-415D　冷凍機ユニット ○（水冷、空冷又は屋外空冷いずれかの）圧縮機ユニット ○20mフレキシブルガスホース ○6mコールドヘッドパワーケーブル ○5m入力電源ケーブル ○ガス充填治具、ガスホース接続用レンチキット ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 冷蔵庫・冷凍庫
• 冷却装置

【納入範囲（標準構成）】 ○RDK-408D2　冷凍機ユニット ○（水冷、空冷又は屋外空冷いずれかの）圧縮機ユニット ○6mフレキシブルガスホース ○6mコールドヘッドパワーケーブル ○5m入力電源ケーブル ○ガス充填治具、ガスホース接続用レンチキット ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 冷蔵庫・冷凍庫
• 冷却装置

【納入範囲（標準構成）】 ○RDK-400B　冷凍機ユニット ○（水冷、空冷又は屋外空冷いずれかの）圧縮機ユニット ○20mヘリウムガスホース ○6mコールドヘッドパワーケーブル ○ガス充填治具、ガスホース接続用レンチキット ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 冷蔵庫・冷凍庫
• 冷却装置

【納入範囲（標準構成）】 ○V304SC, V308SCもしくはV316SC冷凍機ユニット ○U304CWAもしくはU308CWA圧縮機ユニット ○ヘリウム蒸気圧温度計（CG308SCもしくはCG310SCのみ選択可能） ○水素蒸気圧温度計 ○6mヘリウムガスホース ○6mバルブモーターケーブル ○ガス充填治具、ガスホース接続用レンチキット ○Tool Kit ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 冷蔵庫・冷凍庫
• 冷却装置

【仕様】 ○窒素（L/s）　3,000 ○水（L/s）　6,300 ○アルゴン（L/s）　2,500 ○水素（L/s）　5,000 ○アルゴンスループット（Torr - L/s）　11.0 ○アルゴン排気容量（Std L）　1,600 ○水素排気容量（Std L）　30 ○クロスオーバー（Torr - L）　300 ○クールダウンタイム（分）　110 ○ポンプユニット重量（kg）　20 ○HxL寸法（mm)　181 x 591 ○メンテナンスサイクル（時間）　13,000 【納入範囲（標準構成）】 ○CP-250LPクライオポンプ（ISO 250） ○ヘリウム圧縮機（Zephyr（R), HC-4E1, HC-8E4 or F-70L/H） ○3Mフレキシブルガスホース ○3Mコールドヘッドケーブル ○ガスホース接続用レンチキット ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 真空ポンプ

【仕様】 ○窒素（L/s）　9,700 ○水（L/s）　29,100 ○アルゴン（L/s）　8,300 ○水素（L/s）　14,000 ○アルゴンスループット（Torr - L/s）　11.3 ○アルゴン排気容量（Std L）　6,000 ○水素排気容量（Std L）　33 ○クロスオーバー（Torr - L）　400 ○クールダウンタイム（分）　190 ○ポンプユニット重量（kg）　77 ○H寸法（mm)　569 ○メンテナンスサイクル（時間）　13,000 【納入範囲（標準構成）】 ○CP-20クライオポンプ ○ヘリウム圧縮機（F-70L/H） ○3Mフレキシブルガスホース ○3Mコールドヘッドケーブル ○ガスホース接続用レンチキット ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 真空ポンプ

【仕様】 ○窒素（L/s）　4,800 ○水（L/s）　17,300 ○アルゴン（L/s）　4,100 ○水素（L/s）　12,000 ○アルゴンスループット（Torr - L/s）　11.4 ○アルゴン排気容量（Std L）　5,500 ○水素排気容量（Std L）　50 ○クロスオーバー（Torr - L）　500 ○クールダウンタイム（分）　135 ○ポンプユニット重量（kg）　50 ○H寸法（mm)　633 ○メンテナンスサイクル（時間）　13,000 【納入範囲（標準構成）】 ○CP-16クライオポンプ ○ヘリウム圧縮機（HC-8E4 or F-70L/H） ○3Mフレキシブルガスホース ○3Mコールドヘッドケーブル ○ガスホース接続用レンチキット ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 真空ポンプ

【仕様】 ○窒素（L/s）　3,600 ○水（L/s）　9,560 ○アルゴン（L/s）　3,100 ○水素（L/s）　7,300 ○アルゴンスループット（Torr - L/s）　12.6 ○アルゴン排気容量（Std L）　2,000 ○水素排気容量（Std L）　50 ○クロスオーバー（Torr - L）　650 ○クールダウンタイム（分）　90 ○ポンプユニット重量（kg）　41 ○H寸法（mm)　600 ○メンテナンスサイクル（時間）　13,000 【納入範囲（標準構成）】 ○CP-12クライオポンプ ○ヘリウム圧縮機（HC-8E4 or F-70L/H） ○3Mフレキシブルガスホース ○3Mコールドヘッドケーブル ○ガスホース接続用レンチキット ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 真空ポンプ

【仕様】 ○窒素（L/s）　1,800 ○水（L/s）　4,200 ○アルゴン（L/s）　1,500 ○水素（L/s）　3,000 ○アルゴンスループット（Torr - L/s）　11.0 ○アルゴン排気容量（Std L）　1,600 ○水素排気容量（Std L）　23 ○クロスオーバー（Torr - L）　220 ○クールダウンタイム（分）　110 ○ポンプユニット重量（kg）　17.9 ○HxL寸法（mm)　186 x 565 ○メンテナンスサイクル（時間）　13,000 【納入範囲（標準構成）】 ○CP-8LPクライオポンプ ○ヘリウム圧縮機（Zephyr（R), HC-4E1, HC-8E4 or F-70L/H） ○3Mフレキシブルガスホース ○3Mコールドヘッドケーブル ○ガスホース接続用レンチキット ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 真空ポンプ

【仕様】 ○窒素（L/s）　1,500 ○水（L/s）　4,200 ○アルゴン（L/s）　1,250 ○水素（L/s）　2,300 ○アルゴンスループット（Torr - L/s）　11.0 ○アルゴン排気容量（Std L）　1,200 ○水素排気容量（Std L）　25 ○クロスオーバー（Torr - L）　220 ○クールダウンタイム（分）　75 ○ポンプユニット重量（kg）　16.8 ○H寸法（mm)　516 ○メンテナンスサイクル（時間）　13,000 【納入範囲（標準構成）】 ○CP-8クライオポンプ ○ヘリウム圧縮機（Zephyr（R), HC-4E1, HC-8E4 or F-70L/H） ○3Mフレキシブルガスホース ○3Mコールドヘッドケーブル ○ガスホース接続用レンチキット ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 真空ポンプ

【仕様】 ○冷凍能力1st Stage@ 77K　50Hz：175／60Hz：200 ○クールダウンタイム(20Kまで）　50Hz：35分／60Hz：30分 ○重量　13.7kg (30.2lbs.) ○メンテナンスサイクル　13,000時間 【納入範囲（標準構成）】 ○CH-110　冷凍機ユニット ○Zephyr（R), HC-4E1, HC-8E4またはF-70L/H圧縮機ユニット ○3mヘリウムガスホース ○3.5mコールドヘッドケーブル ○ガス充填治具、ガスホース接続用レンチキット ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 冷蔵庫・冷凍庫
• 冷却装置

特長 ・肥料削減 　排液を回収し循環させることで、肥料代が削減できます。 ・環境保全 　排液を回収し循環させることで、環境負荷の低減が期待できます。 ・省資源化 　排液を回収し循環させることで、肥料の使用量を削減し、また日照センサーを使　用することで、給液量や灌水回数が調整可能となり、最適化を図れます。

• その他

廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成 薬液を管理運用(Chemical Management System)する事により、デバイス製造プロセスの安定化と共に、化学薬品の使用量および廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成しています。

• 液晶ディスプレイ
• その他半導体

コンポーネント：高品質精度ステンレスバルブ、アルミニウム真空バルブ、ハードプロセスバルブ、長方形（矩形）バルブ、アングルバルブ等

• 真空機器

取付方向に制約のないGM冷凍機 蓄冷材がシリンダ内部を往復運動し、冷媒ガスを断熱膨張し、寒冷を発生させる機械式冷凍機。住友重機械工業製のGM冷凍機の蓄冷材を往復運動させる方法は、クランク機構を利用してモーター回転運動を往復運動によって変換させています。また、２段蓄冷材シールに工夫を行い、世界で初めての、４K冷凍機の取付方向に制約のない冷凍機です。 メンテナンス回数の少ないパルスチューブ冷凍機 パルスチューブ冷凍機は圧縮機、蓄冷機およびパルス管という単純な管によって構成されます。GM冷凍機との大きな違いは蓄冷材がシリンダ内を往復運動しないことで、冷凍機運転時の振動が小さいことです。また蓄冷材が固定されていますので、GM冷凍機と比べ駆動部が少ないので、メンテナンス回数が少なくなっています。住友重機械工業製パルスチューブ冷凍機の特長は、１段冷凍能力を高くする工夫を行ったため、外部からの熱進入量を低減させることを実現し、２段冷凍能力を有効に利用できるようになりました。

• 真空機器

特長 逆拡散のないクリーンな超高真空 クライオポンプは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。 スピーディーな排気で生産性を向上 到達圧力は、水蒸気の排気速度で決まります。クライオポンプは、特に水蒸気に対して排気速度が大きく、スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献します。 オールマイティにすべての気体に対応 極低温による凝縮と活牲炭による低温吸着の併用で、あらゆる気体をスピーディーに排気します。（毒性、危険性ガスについては対策が必要） タテ、ヨコ取付け方向は自在 取付け方向の制約がなく周辺条件や設計思想に合わせた自在な取付けが行えます。

• 真空機器