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株式会社セムテックエンジニアリング

住所京都府京都市伏見区治部町105番地
電話075-644-7022
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最終更新日:2025/03/13
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1.注目技術情報 1.注目技術情報
2.基本技術紹介 2.基本技術紹介
3.微細加工事例 3.微細加工事例
4.採用事例 4.採用事例
5.応用事例 5.応用事例
6.分級技術紹介 6.分級技術紹介
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【分級技術】 湿式分級装置 S-100W-D 高信頼性分級 事例

セムテックエンジニアリングの分級技術は粒径分布に  表示されない粗粒子を 個数レベルで除去します

■ 製品粒子中の粗粒子混入率を PPM (1/1,000,000)から ⇒ PPB   (1/1,000,000,000)に製品品質の保証レベルを上げる ■ この粒子は 液晶パネルのスペーサや液晶パネルの高密度回路   接続用 異方性導電膜 (ACF)に採用されています ■ 分級精度を確認のためサンプルを準備 この粒子は真球度も良く   粒径バラツキも極端に少なかったため 粗粒子を微量添加   次に カットラインがΦ5μmのスーパーマイクロシーブ(篩・フィルター)   を使用 分級した時の画像をFPIA-3000で解析したときの資料です ■ 受 託   セムテックエンジニアリングは受託分級に対応しています (有償)    1 受託分級 湿式分級装置 S-100W-D  溶剤‥蒸留水    2 FPIA-3000による 粒子の画像解析

  • ふるい・振とう器

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【独創技術】 超高信頼性 湿式分級装置 S-100W-D

粒径分布に検出されない粗粒子を個数レベルで除去  目詰まりせずに高速で分級 処理能力向上

■ 粗粒子混在の主な原因   ・ 分級装置から同一材料の粗粒子や結合粒子の混入   ・ 分級装置周辺から別材料の粗粒子が混入   ・ 製造工程の不特定場所から粗粒子・ダスト類が混入 ■ 独創技術開発   1 スーパーマイクロシーブ   2 独創原理の分級構造   3 微粒子分級ノウハウ ■ 写真 右 超音波槽 この部分にスーパーマイクロシーブを搭載   写真 左 デシケータ この部分に分級済粒子が回収される    超音波槽  分級前の粒子をFPIA-3000 で画像解析    デシケータ 分級後の粒子をFPIA-3000 で画像解析

  • その他実装機械

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【独創技術】 湿式分級装置 S-100W-D  装置構成

高信頼性篩 ≪スーパーマイクロシーブ≫ 搭載  目詰まりしない 究極の分級装置 (詳細 非開示)

■ 特徴 1 高信頼性 『篩』 ≪スーパーマイクロシーブ≫ 開発       頑強な篩を搭載  篩の穴径は自由に設計が可能 ■ 特徴 2 独創構造の分級原理を開発 高精度・高速分級       製品粒子 回収率 95%以上  少量分級も可能 ■ 特徴 3 独創的な分級ノウハウを確立  (詳細 非開示)       粗粒子を 『個数レベル』 で完全除去   特 記 ■ 少量の受託分級に対応しています (有償)    分級装置 湿式分級装置 S-100W-D  溶剤‥蒸留水    但し 溶剤を使った受託は安全上 お受けしていません

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【独創技術】 超 高信頼性 篩 スーパーマイクロシーブ

この篩は半導体製造技術と電気メッキを組合わせた エレクトロフォーミングと呼ばれる工法で高精度な微細穴を加工しています

■ この技術を使うと SEM写真のような 高精度・高開口率・高強度の   『超高信頼性 篩』を製作することが出来ます ■ 機能性粒子と呼ばれる 直径Φ5μm以下の粒子を製造する際   混在する微量の粗粒子を個数レベルで取り除くに使われます ■ 採用例 1 液晶パネル スペーサ  プラスチック粒子   採用例 2 液晶パネル 異方性導電膜 (ACF 粒子)   応用例 3 電池シール材 ICパッケージ 機密封止材    応用例 4 機能性粒子 用途開発 粒子製造工程 品質管理‥等 ■ 最小穴径 Φ5μm ・ ピッチ15μm (篩 Φ5~50μm 製作可能) ■ 板厚 50 ~ 100μm ■ 材質 ニッケル 硬度 HV 500 ~ 600 非常に頑丈

  • その他実装機械

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【独創技術】 微細篩 構造別 比較表 

微粒子の分級に使用される篩は 構造により精度が異  なるため 目的別に使い分けが必要です

■ セムテックエンジニアリングの ≪スーパーマイクロシーブ≫ 篩は   『超 高信頼性粒子』を製造する際の『分級』に採用されています   製品に混在する微量の粗粒子を完全に除去するためです ■ 中央の篩も製作方法は類似していますが 一般的に板厚が薄く使用   の際 破損や硬い材料を分級した際の穴径拡大に注意が必要です ■ 金網篩は分級精度を必要とする用途には適さないが 強度があり   大型篩の製作には一般的に多く採用されています   (注)   精度が高い篩を スーパーマイクロシーブと呼んでいますが同じ製造   方法で作った篩を 『電成篩』と呼ぶ場合もあります

  • その他実装機械

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【独創技術】 スーパーマイクロシーブ 強度実験

篩で重要な項目が篩の強度 篩の破損は製品に重大  な影響を与えるため 過酷な実験で品質を確認

■ 中央の写真は マイナスドライバーの先端を 篩面の7cm上から落下   させた時の凹みです   ≪スーパーマイクロシーブ≫は脅威的なダメージにも耐える篩です ■ 右の写真は一般的な篩で 使用中に破損した穴の状態です     『破損した部分から粗粒子は製品に混入します』 ■ 篩の技術レベルを評価する目安としてアスペクト比があります   1 弊社 板厚(50)÷穴径(5)=アスペクト比 10 高強度   2 他社 板厚(10)÷穴径(5)=アスペクト比  2 薄 破損の恐れ   挑 戦 ■ 更に小さい穴径 Φ1 Φ3 のスーパーマイクロシーブを開発中 ■ 技術的な課題は想定しているが 難題ほど斬新な発想が生まれる

  • その他実装機械

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【独創技術】 篩 信頼性試験 落下実験

高信頼性篩 ≪スーパーマイクロシーブ≫ とは?  過酷な実験で品質確認

■ 篩の破損は製品の信頼性に重大な影響を与えるため 過酷な   実験で品質を確認しています ■ 確認項目 1 穴径精度 小さな衝撃で凹が出来てないか ■ 確認項目 2 開口率  小さな衝撃で穴拡大が起きてないか ■ 確認項目 3 篩強度  小さな衝撃で篩が破損しないか   特 記 ■ 写真の画像は 『粉体工業展』 でも紹介   篩の強度実験は 【動画】 でもご覧いただけます

  • その他実装機械

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【分級技術】 高信頼性分級とは? 分級事例

セムテックエンジニアリングの 『分級技術』は粒径分布  で表示しない微量の粗粒子を 『個数レベル』 で除去

■ 未分級粒子に混在している粗粒子は粒径分布では表示されません   微量の粗粒子も S-100W-Dでは 『完全に除去』 しています ■ この技術には 独創技術 スーパーマイクロシーブ          独創技術 独創原理の湿式分級装置          分級技術 微粒子分級のノウハウ     これらの技術が分級に使われています ■ 左下 『分級前』 製品に混在していた微量の粗粒子は分級により   完全に除去されています  製品の信頼性は飛躍的に改善 ■ 右下 『分級後』 篩の上には粒径分布で表示されなかった微量の   粗大粒子や変形粒子・結合粒子‥等は 篩上に『個数レベル』で   完全に捕捉されています

  • その他実装機械

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【分級技術】 分級前粒子 FPIA-3000よる画像解析

湿式分級装置 S-100W-Dによる 分級精度確認  個数レベルで粗粒子を除去 実験粒子事前測定

■ 画像解析サンプル準備 今回のサンプルは分布中心が4μmの   真球状のアクリル粒子を使用 (楕円形の粒子は精度が悪い) ■ 分級装置の精度を確認するため Φ7μm前後のアクリル粒子を   分級精度確認のため 微量実験粒子に添加 ■ 分級実験に使用する粒子径は 5μm以上を 『粗粒子』 と仮定   事前に混入粒子径を FPIA-3000装置で画像解析 ■ FPIA-3000 画像解析結果  最大径 7.5μmの粗粒子を確認   5μm以上の粒子が 混入比 8/ 18,500個 確認

  • その他実装機械

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【分級技術】 分級後 パス品粒子 画像解析

湿式分級装置 S-100W-Dによる 分級精度確認  個数レベルで粗粒子を除去 パス品粒子径測定

■ 実験粒子の分布 4μmのため 粗粒子のカットラインを 5μmに設定   分級用篩 スーパーマイクロシーブは Φ5.0μmを取付 ■ FPIA-3000 画像解析結果 測定個数……0 / 148,000   最大粒子径 4.27μm  5μm以上の粗粒子は全く混入してない ■ 通常 分級後パス品の画像解析は測定数 20~30万個×10回を   目安に 分級精度の信頼性を検証している

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【分級技術】 分級後 オン品粒子を画像解析 『要注意 粗粒子』

湿式分級装置 S-100W-Dによる 分級精度を確認  分級後 篩上に補足したオン品粒子径を画像解析

■ 粒径分布で表示しない微量の 【隠れ粗粒子】 の把握は粒子製造で   極めて重要ある ■ 【隠れ粗粒子】 は下記の様な場所からの混入が想定される   ・ 分級装置から同一材料の粗粒子・結合粒子‥等の混入   ・ 分級装置周辺からの別材料粗粒子が混入  工程管理   ・ 製造工程の不特定場所場所からダスト等‥の混入 ■ Φ5μmスーパーマイクロシーブ取付け 分級後のオン品を解析   個数レベルで粗粒子は確実に補足されている   高精度分級をしてない場合 添付資料上段のような粗粒子が製品に   混在してる可能性が考えられる  最大粗粒子は φ10.8μm

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4-1 高信頼性分級

≪粒子の規格と分級目的≫ 製品品質を決定する

・粒子径を揃えるための分級工程は 『篩の品質』が『製品の品質に決定的な影響』を与えます ・機能性粒子で世界市場を寡占する大手企業様は ≪高信頼性 スーパーマイクロシーブ≫を2008年以降~現在も採用されています ・添付資料はサンプル粒子中に混在する粗粒子を湿式分級装置 S-150Wで分級した結果の写真です  粒径分布に現れない程度混在する 『微量の粗粒子も完全に除去』されています

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4-2 液晶パネルスペーサー

≪採用例 1 液晶パネル用スペーサ―粒子の分級≫ 添付資料参照

・画像機器の高画質化に不可欠な機能性粒子。  1つ目の使用箇所は2枚のガラス基板の間隔を均一にするためのスペーサ―です。 直径10μm以下の粒子が使用されています ・ガラス基板の間隔を より狭く より均一にすることで 『画質と応答性は飛躍的に向上』します ・直径の大きい粒子が1個でも混入していると ガラス基板の間隔が広くなりその部分に『 色ムラが発生 』します。  従って『 粗大粒子の混在は100億個に1個 』でも許されません

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4-3 ファインピッチ接続

≪採用例 2 ファインピッチ接続用 異方性導電粒子の分級≫ 添付資料参照

・画像機器の高画質化に不可欠な樹脂の表面に金メッキを施した異方性導電粒子 ・2つ目の使用箇所はガラス基板上に設けられた 多数の回路とICチップの接続に使われます ・異方性導電粒子が入った両面テープをガラス基板の回路部分に貼り ICチップを載せ ICの  端子部分を治具で押さえると 数千か所の端子を短時間に接続することが出来ます ・スペーサー用粒子と同様 『 粗大粒子の混在は100億個に1個 』でも許されません

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