フォンアルデンヌジャパンの製品・サービス一覧

当社では、触媒CVDおよびiCVDアプリケーション向けにホットワイヤーソースを 提供しています。 インラインおよびダイナミック製膜プロセスには特殊な直線形エネルギー源が 利用可能。 特殊設計のソースフランジ、すばやく取り付けができるワイヤーコンポーネント によって構成されており、必要に応じて、単にユニット毎に交換することで、 このワイヤーコンポーネントダウンタイムを短縮できます。 【特長】 ■無機（例えばSiH4）および有機（例えばCxHy、プラスチックモノマーの 　前駆体が使用可能 ■統合されたガス分配システム ■連続的なシート、キャリア、またはロール・ツー・ロールプロセス ■自由な運転姿勢：上向き（制限付き）、下向き（制限付き）、垂直 ■プロセス要求に応じたワイヤー間隔に調整可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• プラズマ発生装置
• 換気・排気

『リニアPECVDプラズマ源』は、標準的な静電容量結合プラズマ電極に類似した 製品です。 インラインダイナミックモードで動作しており、基板、キャリア、または ウェブは絶えず電極を通過し、連続的に製膜されています。 CCP CVDを用いる静止モードで大型の基板を均一に製膜するという機械的、 電気的な大規模作業が求められる場合であっても、リニアPECVDは 空間パラメーターを一次元のタスクに削減。より高い製膜速度獲得のため、 VHF周波数による製膜が想定される場合でも、巧みに取り扱うことができます。 【特長】 ■連続移動する基板には容量結合ダイナミックPECVD ■連続供給シート、キャリア、またはロール・ツー・ロールプロセス ■側面に統合されたガス分布システム ■組込まれたプロセスガス排気システム ■自由な運転姿勢：上向き、下向き、垂直 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• プラズマ発生装置
• 換気・排気

『LOE』は、密閉したルツボから熱により有機材料を蒸発させる コンポーネントです。 デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計が、蒸発物および基板への 熱影響を最小限に抑制。その蒸気は、基板へ通じる加熱パイプを通って供給され、 リニアノズルアレイから基板に放出されます。 有機蒸気に接触するすべての部品、特にルツボとノズルパイプは、有機 EL材料に対して全く不活性なセラミックでできています。ルツボとノズル パイプは、有機材料の凝縮点を超える温度まで加熱されます。 【特長】 ■小分子量有機材料の蒸着 ■固体または液体の前駆体の蒸着 ■シングル蒸着、共蒸着、トリプル蒸着 ■垂直または水平に運転 ■基板幅最大1200mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 蒸着装置

『HCS』は、ホローカソードとアノードの組込みが特長の表面処理 コンポーネントです。 電子はカソードの深い溝壁の電位降下間に制限されています。これにより、 ガスのイオン化が促進され、プラズマ密度も増加。溝の中にプラズマを押し込むと、 電極プレートの下に非常に強力で明るいプラズマが生まれます。 シンプルでスケーリング可能な設計で頑丈の挙動および簡単なカスタマイズを 実現。高密度プラズマの処理に関して、CCPおよびICPに匹敵し、コストはICPより 低廉です。 【特長】 ■ホローカソード設計、基板に依存しない ■高い電子密度とイオン化効率がラジカルの高密度を促進 ■表面クリーニング、活性化、エッチング目的のスケーリング可能なイオン源 ■薄膜のコーティングにも特定の部品設計により適用可能 ■動的および静的な基板搬送に使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 換気・排気
• プラズマ発生装置

当社のオンライントリミング＆シミングソフトウェアモジュールはウェブベースの アプリケーションで、単一の薄い層の厚さ均一性をすばやく最適化できます。 測定した厚さプロファイルと現在のトリムガス設定を入力した後、均一性を 向上するための新しいトリムガス設定が提案されます。 ダブルまたはトリプルLow-Eのような厳格な均一性要求のアプリケーションを 可能にし、生産品質が向上します。 【特長】 ■優れたの均一性を得るために各層を調整 ■ターゲット変更後に均一性の調整を開始 ■膜厚均一性の長期的なズレ発生時にピットイン補正 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他プロセス制御

『VA プロセスマスター』は、自動化されたプロセス設定、そしてすべての 薄膜システムを制御するためのツールです。 プロセス制御において新手法を採るこのツールは、オペレーターの関与無しに 優れた結果をもたらします。 また、スパッタリングプロセスの完全自動ドリフト補正を可能にし、製品品質を 向上。さらに、このツールは当社のお客様が魅力的な製品のために複雑な レシピを作成することを可能にします。 【特長】 ■インライン測定の解析 ・薄膜膜厚の平均値と均一性の値 ■クローズループ制御 ・プロセス電源出力 ・反応性ガス供給 ・マグネットバー（シム設定） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他プロセス制御

『VA PROCOS 2』は、敏感な遷移モードにおいて、反応性スパッタプロセスを 安定化させるために特別設計されたモジュール式プロセス制御システムです。 光学発光スペクトル、カソード電圧、酸素分圧、および/またはその他の PLC信号の組み合わせによるプロセス調整に好適。 さらに、プラズマ放電の安定化、そして1つまたはそれ以上の反応性ガスの 供給を調整することによって製品特性の安定にも利用できます。 【特長】 ■製膜レートの向上 ■"アーク"イベント検出と対処の特殊処理 ■作用点の選択 ■自動オンラインバランス調整 ■熱的に安定した光電子増倍管でPEMを構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他プロセス制御

『LION』は前処理と表面改質に適したコンポーネントです。 アルゴン処理で炭化水素を除去し、必要なら酸素追加が可能。イオンビームは 強く収束され、高エネルギー化しています。 物理的エッチングを必要とするインライン製膜システムに理想的なデバイスで、 シンプルで頑丈な設計のため、イオンソーズは容易にスケールアップ可能。 メインアプリケーションは、大面積ガラス製膜と金属箔製膜です。 【特長】 ■アルゴン処理で炭化水素を除去し、必要なら酸素追加が可能 ■仰角調節可能な外付けバージョン、フランジ取付けバージョン提供可能 ■頑丈でスケーリング可能な設計 ■高エネルギーで強く集束されたビーム ■様々な種類の基板材料の前処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 電子ビーム描画装置

当社のコンポーネントは、ドロップインのマグネット リッドまたは広範囲の アプリケーションに対応した側面取り付けプロセスユニットとして、 パッケージでも使用可能です。 ノズルまたはバイナリーチャンネルとして、シングルまたはマルチセグメントの ガス導入設計。様々な磁界設計とエンドブロックタイプのツールボックスです。 お客様のプロセスのニーズに応じたガス導入設計。アプリケーション依存の セットアップが制限なく可能です。 【特長】 ■アプリケーションのさまざまな分野で、現場実証済みのテクノロジー ■ポンプ内臓プロセス リッドを提供 ■様々な種類のアプリケーションに対応した幅広い範囲の平板型および 　回転型カソード設計 ■ノズルまたはバイナリーチャンネルとして、シングルまたはマルチセグメントの 　ガス導入設計 ■水平、垂直およびR2R製膜アプリケーションの高温プロセス条件に対応した 　マルチアノードソリューションとマグネトロン設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

当社ではハイエンドテクノロジーアプリケーション向けに平板型マグネトロンを 提供しています。 様々な種類のアプリケーション向けに当社はこれまで350基以上の大型平板型 マグネトロンを販売。改造、そして新しい製膜装置への応用にご使用ください。 さらに、ポンプ搭載型、非搭載型のプロセスリッドを完全組立て提供します。 本製品シリーズは、WSM、高効率平板型マグネトロンHU-WSM、および大規模 エリアの平板型アプリケーション向けPlanar XTと小規模エリア向けSSMと HU-SSMの3種類のマグネトロンで構成されています。 【特長】 ■標準WSM＆SSMボディー ・シンプルなターゲット設計 ・WSMでターゲット利用率30%（30mm Agの場合、4500kWh） ・製膜均一性 <±1.0% ■高利用効率平板型HU-WSM＆HU-SSMボディー ・ターゲットライフタイム6000kWh（30mm Agの場合） ・ターゲットライフタイムの長期化 ・ターゲット利用効率向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 電磁石

『マグネットバー』は、優れた磁場均一性を有する回転式マグネトロン用 コンポーネントです。 開発では、ターゲットの浸食、層の均一性、プロセスの安定性、そして アプリケーションに応じた磁場の強さに焦点を当てています。 さまざまなエンドブロックにも対応。当製品は幅広い範囲の磁場強度と長さで お求めになれます。また品質管理のため、社内設備で検査を実施しています。 【特長】 ■成膜均一性の最適化 ■高いターゲット利用効率 ■全基板幅にわたり、均一な薄膜特性 ■プロセス電圧の低減 ■最大プロセス電力（ターゲット材料とボンディングにより制限） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 電磁石

当社は工業生産および研究開発のためのシステムの構築で50年以上の経験を もっています。 この専門ノウハウを活かして、顧客に比較的小さな基板の真空成膜用システムを 数百台も供給してきました。 当社のモジュール式システムにより、ウェハーをベースにした製品、3次元 形状製品、バッチで成膜幅が1,000mm以下の基板、ドラム式成膜装置、 クラスター型、あるいはインラインシステムを自由自在にカスタマイズした ソリューション提供が可能です。 【その他の事業（一部）】 ■建材およびモビリティー向けのガラス成膜 ■薄膜太陽電池 ■結晶太陽電池 ■フレキシブル基板 ■特殊アプリケーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ウエハー

航空輸送は成長を続けており、それに応じて燃料消費の引き下げ、排気ガスの 減少、エンジンの静音化という要求がますます大きくなっており、 現代のタービンは従来よりもはるかに高い燃焼温度と温度変動に耐えなければ なりません。 当社のTUBAはタービンに適切なシステムコンセプトです。 また、電気自動車は自動車市場においては、当社は専門知識、PVDプロセスと 製膜システムによって、バッテリーおよび燃料電池メーカーにコスト効率に優れた、 大規模生産に向けた理想的なソリューションを提供します。 【その他の事業（一部）】 ■建材およびモビリティー向けのガラス成膜 ■薄膜太陽電池 ■結晶太陽電池 ■フレキシブル基板 ■モジュール式プロセスシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 電子ビーム描画装置

当社のFOSAおよびFOBAウェブコーティングシステムは、ディスプレイ用に タッチ接点を成膜したポリマーフィルムや帯電防止、反射防止、Low-E成膜 のフィルム、あるいは高性能リチウムイオン電池用のカーボン成膜など他の 様々な種類のアプリケーション向けにカスタマイズできます。 小規模から幅2m以上まで、ロール・ツー・ロールプロセスの真空コーティングの システムを供給。 このシステムはポリマーフィルム、金属箔、フレキシブルガラスといった 様々な種類の基板を成膜し、窓用フィルム、フレキシブルエレクトロニクス、 バッテリー向け市場で利用されています。 【その他の事業（一部）】 ■建材およびモビリティー向けのガラス成膜 ■薄膜太陽電池 ■結晶太陽電池 ■特殊アプリケーション ■モジュール式プロセスシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガラス

当社は結晶および薄膜ソーラーパネルのメーカーに150台以上の成膜システ ムを設置してきた経験を基に、卓越したプロセスのノウハウを蓄積してきま した。 顧客のニーズに応じてカスタマイズ可能なモジュール式のXEA|novaウェハ 成膜システムによって、当社はすでにヘテロ接合型テクノロジー（HJT）市場に 広く受け容れられています。 高生産性、高精度な薄膜成膜テクノロジーによって可能になる新しい 高効率セルコンセプトの開発を今後も継続していきます。 【その他の事業（一部）】 ■建材およびモビリティー向けのガラス成膜 ■薄膜太陽電池 ■フレキシブル基板 ■特殊アプリケーション ■モジュール式プロセスシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他電子部品

当社の成膜システムは薄膜太陽電池のスタンダードも作り続けています。 PIA|novaとXENIAは、裏面電極層、透明導電膜（TCO）、そしてCIGSや CdTeテクノロジーのような様々な種類の吸収層を成膜するモジュール式を採 用した、高度な自動化装置プラットフォームです。 薄膜太陽電池メーカーとの長年にわたる提携、そして大型ガラス基板の成膜に 関して積み上げてきた経験により、生産コストを減らしつつ、同時に変換効率を 向上させる推進力になっています。 【その他の事業（一部）】 ■建材およびモビリティー向けのガラス成膜 ■結晶太陽電池 ■フレキシブル基板 ■特殊アプリケーション ■モジュール式プロセスシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他電子部品
• ウエハー

当社は世界の主要なガラスメーカーに成膜システムを供給しています。 建材ガラス薄膜はエネルギー消費を大幅に削減するので、環境保護に貢献。 このようにして、陽光遮断膜は夏場に建物内部が熱くなるのを防ぎ、冷房の コストを減らします。 一方、冬には低放射（Low-E）コーティングがガラス表面から屋外への熱損失を ほとんど完全に防止するので、暖房エネルギーの損失がほとんどありません。 その結果、建物の冷暖房に使うエネルギーの最大80％が節約できます。 【その他の事業（一部）】 ■薄膜太陽電池 ■結晶太陽電池 ■フレキシブル基板 ■特殊アプリケーション ■モジュール式プロセスシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガラス
• その他

当社で取り扱う『FOBA』は、軟包装フィルムをロール・ツー・ロールで コーティングするための、コンパクトなシステムです。 実証済みの電子ビーム（EB）蒸着テクノロジーを用い、樹脂フィルムや 薄い金属箔上に、高速で機能層を製膜。大量生産の観点からみても理想的で、 1層または2層の、EB製膜層を必要とするアプリケーションに対応します。 ラインアップは「FOBA 600」「FOBA 1600」「FOBA 2800」と豊富にご用意 しており、コーティング幅を600mmから最大2800mmまで拡張（選択）する ことで、生産性を向上させることが可能です。 【特長】 ■最高レベルの生産性：50kVの加速電圧により、最大50%の蒸着率アップを実現 ■優れた製品品質：高いローラー平行度と、クローズドループプロセス制御 　による5駆動ローラー巻取りシステム ■迅速かつ容易なメンテナンス：事前ロードされたルツボと、迅速に新しい 　基材ロールへの交換が可能な、統合ステーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他加工機械

当社の『真空コーティングテクノロジー＆装置』をご紹介いたします。 カーボンベースの多層膜構造は、低いICR（界面接触抵抗）、優れた基材 密着性と同時に耐腐食性を両立する様最適化。この層スタックのICR、 耐腐食性、スタック性能は金（基準材料）に匹敵します。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【成膜装置】 ■カーボン、金属、酸化物などを金属基板上に高スループット 　電子ビーム蒸着とスパッタ成膜 ■プラズマ前処理による表面の活性化および洗浄 ■金属箔（R2R）やエンボス状セパレータ（S2S）を処理する 　研究開発/少量生産/製造用装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他加工機械

当社では、ガラス、金属箔、ウェハ、ポリマーフィルム、フレキシブルガラスといった 材料に薄膜機能層を成膜するための先進的な成膜装置を開発・製造しています。 長年にわたって太陽電池に関わり、結晶および薄膜ソーラーパネルの 世界的トップ企業に高生産性の成膜システムを提供。 当社の成膜は高性能、軽量、フレキシブルなコンポーネント製造に寄与し、 医療、自動車、照明、産業用電子機器および家電製品に応用されています。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【取扱製品】 ■建材ガラスの大面積成膜用システム「GC330H」 ■太陽電池のガラス成膜のための生産性の高いモジュール式装置「XENIA」 ■太陽光発電分野向けの成膜シリコンウェハ用 　モジュール式システムプラットフォーム「XEA|nova(R)」　他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• ウエハ加工/研磨装置
• 基板加工機
• その他