特徴 ●TiN, CrN, TiAlN等での表面改質に最適 ●ワンチャンバーにホロカソードガン、アークイオンガン、スパッタガンの3ソースを搭載し、独立成膜可能。研究開発用途に最適。 ●ホロカソードでの強エッジングにより界面密着力を強制的に向上させ、アークイオンもしくはスパッタで精密成膜。 ●　９０　％以上のイオン化率　 ●　高エネルギーのイオン蒸着 at アークイオン　（６０−１００ｅＶ）

●ホロカソードガンとスッパッタガンをワンチャンバーに搭載 ●ホロカソードで強力にプレエッジング ●界面エネルギーが高まった処でスパッタ ●緻密で高密着力の膜を成膜

ドイツNAGY社による渦電流磁界を利用したオンライン、オフラインに対応可能な非接触表面抵抗測定器です。プラスチックフィルム、ガラス基板、ペーパー等に成膜された導電膜のシート抵抗測定が可能で製品の品質管理及びプロセス管理を容易にします。常圧、真空下での測定に対応し、ロールコーター等の既存成膜装置内への取付も可能です。測定チャンネル数は1〜99チャンネルに対応可能なため、R&Dからマス・プロダクションまで対応いたします。また、最大20mmという他社製品と比べて広い測定ギャップにて測定することが可能であるため、お客様の様々なアプリケーションにも対応いたします。

本装置は韓国SNU社が米国Vitex Systems Inc.の薄膜封止技術をライセンシングし、製作している薄膜封止装置です。無機層と高分子層を積層することで、デバイスやプラスチックフィルムに高いガスバリア性と曲げ、引張に対する耐性を付与します。

規制内容 発塵抑制措置
作業主任者
作業環境測定
適切な呼吸用保護具
健康診断
特別管理物質としての措置

QuickTestIIはモバイルや小型のLCD/OLEDディスプレイの特性テストを高速で行います。QuickTestIIは世界各地の製造現場に導入されたQuickTestの後継機種です。 従来、QTやQC試験を実施するために、暗室の中に光学機器を準備し、独自に製作した固定器具の上に搭載する必要がありました。このようなテストは労力がかかり、有意義な統計データを得るのに非常に時間がかかりました。結果、試験のために時間を要して、限られたQC試験しかできませんでした。 QuickTest IIは高速なQC試験、統計的データの取得を可能にします。QuickTest IIの内部は暗室と同じ環境で、LCDやOLED製造現場や実験室にて使用可能です。大抵の測定はディスプレイ１枚当たり30秒で完了します。QuickTest IIのソフトは合格/不合格判定、プロセスデータの統計処理を行い、テストデータは全てデータベースにログとして記録されます。