マツボーの製品ラインアップ

本製品は、密着性よくパリレンを成膜できる装置です。研究やR&Dだけでなく、量産にも対応できる装置を販売しております。また、装置の販売実績は50台を超えており、生産ラインで既に使用されております。 本装置の特徴は、次の通りです。 ・装置クリーニング及びメンテナンスが、容易です。 ・基材との密着性を向上させる為の前処理がin-situで処理可能です。 ・装置に付帯するPLCによりプロセスが実行可能です。成膜レシピのログもCSVファイルに出力することができます。 ・装置のカスタマイズが可能です。

研究開発向け粒子用ALD（原子層堆積）装置で様々な開発用途に活用できます。ナノスケールの粒子の成膜をミリグラムからキロまでプロセス可能です。　 ■流動床を含めた手法により膜厚を均一にコントロール ■３種類の容量のリアクターサイズ ■複数のプレカーサーを個別に温度コントロール ■多様な粒子材料へ多様な膜の成膜が可能 ■カスタムレシピーを容易に作成し自動運転 ■粒子容器は取り外し可能 ＊量産用の装置ラインアップもございます。

この技術により、バリア成膜品、光学多層膜製品、機能性繊維、ディスプレーの製造や、一連の関連するカスタムアプリケーションを最適化することができます。 PlasmaMAX ホローカソード は、形状をカスタマイズすることができるため、水平型インライン式の真空成膜装置、垂直型インライン式真空成膜装置、ロールツーロールのウェブコーティングプロセスにも容易に組み込むことが可能です。簡単にカスタマイズできるデザインプラットフォームと広範囲な圧力域で安定したプロセスを実現できるため、ほとんどの既存CVD設備、PVD設備にも使用することができ、低コストでパフォーマンスの最適化が可能です。

米Morgan Advanced Ceramics社のCMPプロセスで使用する表面がダイアモンドで覆われた独特の構造のパッドコンディショナーを提案致します。ダイアモンド砥粒をシリコン基板、あるいはセラミック基板にCVDコーティングした構造です。ダイアモンド砥粒と基板の分子レベルでの強固な化学的結合を達成しました。耐スラリー性も強く、スラリーによる化学的な侵食もありません。また、ダイアモンドの欠落、粉砕が一切なく、ダイアモンド砥粒、密度の制御も可能です。 詳しくはお問い合わせ下さい。

WAFAB INTERNATIONALのケミカルエッチング/テクスチャリング装置、フレキシブルなウェットプロセス装置を提案いたします。 半導体向け手動、半自動、完全自動ウェットエッチング装置を含めてエンドユーザー、大手装置メーカー等に1,000台以上の納入しており、薄膜太陽電池メーカーへの装置納入実績もございます。
基板サイズ、スループット、使用ケミカルに応じて、手動バッチR&D装置から完全自動化生産装置までの提案が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

特許技術のナノフィルターエレメントを使用し、プロセス溶液や処理廃液から有機溶剤のみを分離する画期的でオンリーワンの技術です。 蒸留法と比べエネルギー消費量を90%削減し、通常2~3年で投資回収ができます。 初期コストを抑えながら未利用の廃溶剤を再生することができ、溶剤の使用コストを削減します。 CO2発生も大幅に削減され、企業としてグリーンテクノロジーを利用した社会貢献、イメージアップにも寄与します。 フィルターエレメントは強有機溶剤、酸、アルカリに耐性があります。 対応有機溶剤例： アセトン、アセトニトリル、DMAc、DMF、DMSO、エチルアセテート、エタノール、 ヘキサン、イソプロパノール、PGME、IPA、メタノール、PGME、PGMEA、THF、NMP、....