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当カタログでは、イオナイザをはじめとした取扱製品をご紹介しております。 フレキシブルACタイプ「MODEL4100V」DCタイプ「MODEL453S/470R」や 充電式ガン「MODEL3300」(POLAR/北極)、クリーンジェットガン 「MODEL307R」などをラインアップ。 また、超音波ドライクリーナー、全自動FOUP洗浄システムなども 掲載しております。製品選定に是非ご活用ください。 【掲載製品(抜粋)】 ■フレキシブルACタイプ「MODEL4100V」 ■DCタイプ「MODEL453S/470R」 ■充電式ガン「MODEL3300」(POLAR/北極) ■クリーンジェットガン「MODEL307R」 ■ペンタイプ「MODEL3080S」 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『POLAR/北極』は、省設備と省エネよりCO2排出削減に貢献する 充電式イオナイザガンです。 軽くて取り回しが簡単で高圧ケーブル不要で作業性＆生産性向上。 高電圧部が露出しないので安全で作業用途に合わせてノズル交換可能。 また、コントローラーがないので場所を取らず、作業場に合った 配管(エアーチューブ)長で使用でき、豊富な設置姿勢で レイアウトが自由です。 【メリット】 ■イオンバランス調整不要 ■高圧ケーブル不要 ■コントローラー不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社では、各静電気製品をお試しいただけるよう、デモ機の貸出しを 承っております。 生産ラインやワークエリア全体をカバーし静電気による異物の付着を 防止するバータイプイオナイザをはじめ、超コンパクト設計で卓上作業用の 送風器タイプイオナイザや、ペンタイプイオナイザなど豊富な製品をご用意。 アースチェッカーやメンテナンス用品など現場作業をより安全にする 製品もございます。是非、お客様の目でその効果をお確かめください。 【ラインアップ(一部)】 ■フレキシブルACタイプ「MODEL4100V」 ■DCタイプ「MODEL453S/470R」 ■DCタイプ送風器「MODEL1900」 ■ペンタイプ「MODEL3080SV」 ■クリーンジェットガン「MODEL307R」 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MP-1 MODEL 7100』は、イオナイザのメンテナンス用として ご使用頂けるチャージプレートモニターです。 イオナイザの「除電時間」「イオンバランス」を簡易的に 計測することができます。 タッチパネルによるスムーズな操作により、日々のイオナイザメンテナンスが 簡素化されます。計測データはグラフによるリアルタイム表示のため、 イオナイザの動作状態を一目で判断する事ができます。 【特長】 ■見やすいグラフィック表示 ■操作し易いタッチパネル設計 ■除電時間、イオンバランスの自動測定が可能 ■センサープレートは2枚まで接続が可能 ■同時に2箇所の測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MODEL 3080S』は、φ1.5mmの極小ノズルからエアーを高速で 吹き付けるため、微細塵の除去に適したペンタイプイオナイザです。 高圧異常を検知すると、高圧出力を遮断する安全回路を搭載。 0.01ミクロンのカートリッジ式中空糸フィルターを搭載しているため、 クリーンなエアーで除電・除塵が行えます。 【特長】 ■パルスエアー機能の搭載で除塵率の向上 ■高圧異常を検知すると、高圧出力を遮断する安全回路を搭載 ■放電針は交換が容易なピンコネクタ方式を採用 ■φ1.5mmの極小ノズルからエアーを高速で吹き付ける ■0.01ミクロンのカートリッジ式中空糸フィルターを搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MODEL 750/720-1』は、5個のセンサーを接続し、同時に5ヵ所の 静電気測定が可能なスタティックモニターです。 測定レンジの切り替えにより、測定範囲は±0Vから±50kVまで測定が可能。 設定値を越えた電位を検知すると、赤色LEDと電子音により警告する 警報電位設定機能を搭載しています。 【特長】 ■測定レンジの切り換えにより、測定範囲は ± 50 kV まで測定可能 ■本装置に5個のセンサー（MODEL720-1）を接続できる ■同時に5ヵ所の静電気測定が可能 ■警報信号、測定信号の外部出力端子付 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MODEL 453S』は、ワークエリアの静電気コントロールにより静電気による ゴミの付着防止のみならず、静電気に弱いデバイスを保護する DC式イオナイザバーです。 バー寸法は300mm～2500mmまで1mm単位で製作が可能。 放電針のクリーニング警報、及び高圧異常時の アラーム機能を搭載しております。 【特長】 ■ゴミの付着を防止し、静電気に弱いデバイスを保護 ■バー寸法は300mm～2500mmまで1mm単位で製作が可能 ■個々のバー単体でのイオンバランス調整が可能 ■FFU（ファンフィルター）のダウンフローのみで除電が可能 ■放電針のクリーニング警報、高圧異常時のアラーム機能搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MODEL 307R』は、高圧異常を検知すると、高圧出力を遮断する 安全回路を搭載したクリーンジェットガンです。 エアー吹き出しノズルはワイドエリア用とスポットエリア用の 2種類を標準装備しております。 0.01ミクロンのカートリッジ式中空糸フィルターを搭載しているため、 クリーンなエアーで除電、除塵が行なえます。 【特長】 ■吹出しノズルはワイドエリア用、スポットエリア用の2種類を標準装備 ■高圧出力を遮断する安全回路を搭載 ■放電針は交換の容易なピンコネクタ方式を採用 ■0.01ミクロンのカートリッジ式中空糸フィルターを搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当カタログは、ワーク表面に付着したミクロン径の異物を 超音波振動エアーにより吸引・回収する非接触方式の洗浄システム 「超音波ドライクリーナー」などを掲載しています。 フラットパネル用の超音波エアー基板クリーナーをはじめ、 バキュームクリーナーや、スポットクリーナー等を取り揃えています。 【掲載内容（抜粋）】 ■フラットパネル用 超音波エアー基板クリーナー ■フラットパネル用 超音波エアー両面クリーナー ■バキュームクリーナー ■スポットクリーナー ■超音波エアーウェブクリーナー ■イオナイザー主要製品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MP-1』は、イオナイザの性能測定・メンテナンス用としてご使用頂ける チャージプレートモニタ（CPM）です。 現在、使用されているイオナイザの「±除電時間⇒イオンバランス」を フルオートで計測することも可能です。 大型タッチパネルによるスムーズな操作が可能で、日々のイオナイザ メンテナンスが格段に簡素化。 計測データはリアルタイムによるグラフ表示なので、一目でイオナイザの 動作状態を確認する事ができます。 【特長】 ■チャージプレートでの2箇所同時測定が可能 ■大型（10.4インチ）タッチパネルを採用し、視認性・操作性を向上 ■狭小エリアでも測定可能な小型プレートも接続可能（オプション） ■計測データは、USBメモリーに保存可能（CSV形式） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『HS-7600/HS-7800』は、常にフィルムにテンションを掛けた状態で マウントする独自の構造により、ウェハとフィルム間に気泡を 入れる事なく、完璧なマウントを行ないます。 また、特殊仕様に対応可能な各種オプションも完備。 各種デバイスや工程に対応した製品を豊富に取り揃えております。 （UV硬化タイプ、ノンシリコンタイプ、帯電防止UV硬化タイプ、BGタイプ等） 【特長】 ■ウェハ表面の損傷に十分配慮した特殊ステージ ■オペレーターのスキルを必要としない組込み式ローラー ■各種ダイシングフレーム使用可能 ■ウェハ表面ヘの損傷防止の為の特殊ステージ採用 ■ステージ温度調整 MAX 100℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『HS-1810』は、長年に亘るノウハウの蓄積と多くの販売実績をもとに、 顧客の立場に立って開発されたウェハ拡張装置です。 使い易さ、精度、汎用性に優れるほか、モーター駆動の採用により 1mm単位のステージストローク設定が可能になり、より高精度な拡張を実現。 リングサイズの変更は、治具交換のみで対応でき、アルミ製拡張リング、 グリップリング、特殊仕様リング等、ニーズに合わせた改造も可能です。 【特長】 ■1mm単位の高精度設定が可能 ■フィルム予備加熱機構 (タイマー付) ■ステージ加熱 (Max. 100℃) ■ステージストローク調整機構 (Max. 90mm、1mmレンジ) ■ステージ上昇速度可変機構 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MODEL4100V』は、フレキシブルAC方式を採用したエアバーです。 新制御方式でイオンを発生し、周波数を切替える事により搬送中などの 近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く除電します。 また、電源部バー内蔵型となっており、省スペースでの設置が可能です。 【特長】 ■フレキシブルAC方式を採用し、高速かつ緻密な除電が可能 ■放電針ホルダ構造を3Dシュミレーションで好適化 ■従来品と比較し、メンテナンス期間が5倍に ■外部気流を巻き込むことで、低消費流量を実現 ■高輝度7セグLEDパネルを採用 ■多彩な表示が可能、各種設定が簡単 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MODEL1900』は、マイコン制御式オートコントロール機能付き イオン送風機です。 超薄型、小型設計による省スペース化を実現し、装置内などの 狭い場所への設置にも配慮したフリーレイアウト設計。 LED表示により自身の動作状態・クリーニング時期・アラーム警告が 一目で判断できるほか、放電針清掃ブラシの搭載により、メンテナンスが より簡単になりました。 【特長】 ■厚さ48mmの超薄型設計 ■省スペース化を実現 ■装置内などの狭い空間にも容易に設置 ■放電針清楚ブラシの搭載 ■イオンバランスオートコントロール機能（マイコン制御） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超音波エアー式 基板ウェブクリーナー「USW-102（標準圧）」と 「USW-103（高圧力）」のご紹介です。 当システムは、クリーニングヘッド・PVブロワーユニット・HEPAフィルター・ 配管用ホース・除電器から主に構成され、二次電池の製造プロセスに おける除塵対策などに使用されています。 【特長（USW-103）】 ■粒子を強力に振動励起して除塵効率をより高めたウェブ用クリーナー ■独自の超音波発生方式により、効果的な音圧 (振動波) が得られる ■非接触で製品表面を傷めない ■接触式のような静電気の発生やファイバーの付着もなし ■より高速走行のウェブにも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
「SPS-10（基板用）」は、有効長10～70mmまで対応可能な スポットクリーナーです。小型部品やセルのTAB付けリード部の除塵に好適。 「SPW-20（ウェブ用）」は、スリッター後のフィルムエッジ部の 切断粉除去や、幅狭フィルムの表面クリーニングに好適なクリーナーです。 シャフトに堆積する切粉対策にも有効にご利用頂けます。 【用途（SPS-10）】 ■CD/DVD/Blu-Rayなど光ディスクのクリーニング ■セルの TAB 付けリード部のダスト除去 ■小型基板の表面クリーニング ■タッチパネルの除塵 ■パレット・トレイ上の部品クリーニング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『UPC-12500 SORA』は現代の半導体製造には不可欠な高品質・ 高スループット・省エネをコンセプトに改良された全自動FOUP洗浄システムです。 SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠。 自動搬送システム（AMHS）対応、通信プロトコルはGEM300に 対応しており、オンライン管理にも相応しい装置です。 【特長】 ■スループットの向上 ■省エネ対策 ■省フットプリント設計 ■GEM300対応 ■メンテナンス性の向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『System DE35-ST』は、良品チップのトレー詰めを主に、 チップの外観検査、エポキシダイボンダー、フリップチップ及び表裏 検査(オプション)仕様等、汎用性に富んだセミオートマチックダイソータです。 試作ライン、少量多品種の生産に好適で、様々なチップサイズへの対応も ツールの交換にて対応可能です。 【特長】 ■少量多品種の生産に適している ■様々なチップサイズへの対応もツールの交換にて対応可能 ■オペレータのスキルを必要としない操作性に優れた装置 ■作業終了後電源スイッチをOFFにしても次回作業時の再調整不要 ■使用トレー番号の入力のみで、自動的にアウトプットステージの動きが決定される ※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『System650』は、ウインドウズベースのソフトウェア 「ボンドテストマネージャー」により容易なデータ管理を実現できる ユニバーサルボンドテスターです。 シェアテスト後の破断状況をモニターで確認することができるイメージ キャプチャー機能を搭載。 300mmウェハ上のバンプシェアテストに対応しております。 【特長】 ■モジュールの交換によりワイヤープル、ボールシェア、ダイシェア、 スタッドプル、ツィーザープル及びボールプルの各種テストを行う事ができる ■測定レンジごとのモジュール交換を不要とする高い精度と分解能もっている ■様々なパッケージスタイルに対応することが可能 ■ネットワーク接続により、容易にデータ管理を行なう事も可能 ※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MODEL860Eagle』は、フリップチップ、共晶、超音波、熱圧着、 エポキシボンディングと、目的に合ったボンディングがヘッドの交換を 行うだけで可能なユニバーサルダイボンダーです。 ハーフミラービューイングシステムを使用する事で実現した高い プレースメント精度、抜群の操作性を持った製品です。 【製品概要(抜粋)】 ■ハーフミラー式ビューイングシステム ■高精度サーボモーター使用 (Z駆動) ■自動制御温度コントロール (ステージ / コレット温度) ■ボンド加重選択 (15 g ～ 700 g または 50 g ～ 10 kg) ■超高精度リニアスクラブボンドヘッド (スタート位置再現性 ± 1 ミクロン以内) ※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『PFA製インラインヒータ／PVDF製インラインヒータ』は、半導体・液晶 いずれの分野の装置にも容易に搭載可能な製品です。 小型でユースポイントの近くに設置可能。 使用条件に合わせて細かに製品仕様を選択いただけます。 【特長】 ■小型でユースポイントの近くに設置可能 ■使用条件に合わせて細かに製品仕様を選択ができる ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
『AQUARIUS CDIシリーズ』は、Teflon材またはPVDF材の インラインヒーターが内蔵された温水器です。 加熱前後での純度や比抵抗値は維持した温純水を供給します。 温純水の利用によりプロセス溶媒の消費量を低減し、洗浄品質向上に貢献。 酸・アルカリなどのケミカル溶媒加熱にも利用可能であり、 その信頼性、品質により業界全般で広く採用されています。 【特長】 ■連続大流量の高純度な温純水供給 ■溶解力の増強 ■乾燥時間の短縮 ■接液部はTeflonとPVDF仕様 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
『65／67シリーズ』は、純水や酸・アルカリ水溶液を加熱するための ヒーターです。 ヒーター加熱時の熱損失が最小限となるよう製造されています。 2000種類を超える豊富なバリエーションの中から、ご希望のサイズ、 電力、電圧を選択できます。 【特長】 ■小型 ■高ワット密度 ■大表面積 ■2000種類を超える豊富なバリエーション ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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