日本フッソ工業の製品・サービス一覧

ESD対策用途で推奨される中抵抗（１E＋6Ω≦ Rs（表面抵抗） ＜１E＋10Ω）を実現したフッ素樹脂コーティングです。 優れた静電気拡散性で放電・帯電による電子デバイスの破損を防止します。 ＜主たる用途例＞ ・半導体製造装置向けハンドアーム類 ・真空チャック ・リフトピン ・ウェハ搬送設備　　　　　　　　　など ※詳しくはお問い合わせ、またはPDFをダウンロードしてください。

• 表面処理受託サービス

フォトレジスト液製造設備にフッ素樹脂ライニングをすると以下のようなメリットが期待されます。 １．高純度性向上：金属イオンの溶出を防ぎ高純度性の向上が期待されます。 ２．液切れ性向上：撥水性が高いことから、製品および洗浄液の残留が少なくなり、品質向上、生産コスト削減が期待されます。 ３．耐薬品性：薬液から基材の腐食を守り、基材の寿命延長が期待されます。 ４．摩耗粉混入防止：弊社のノンメタルPEC仕様を選定することで、撹拌機の軸封部から発生する摩耗粉の混入防止が期待されます。 その他に帯電防止仕様があり、絶縁皮膜であるフッ素樹脂の漏洩抵抗値を下げ、攪拌の際に発生する静電気を体積方向に逃がし、静電気による爆発、皮膜及び機器の損傷防止効果が期待されます。

• レジスト装置

石英にフッ素樹脂コーティング・ライニングをすると以下のようなメリットが期待されます。 １．コスト削減：薬液から製品を守り石英基材の寿命延長が期待されます。 ２．パーティクル防止：ウエハの接触による石英の摩耗をなくし、パーティクル防止効果が期待されます。 ３．石英、ウエハの破損防止：柔らかい素材なので石英とウエハの接触による破損防止効果が期待されます。 ４．液切れ性向上：撥水性が高いことから、薬液の残留が少なくなり、洗浄コストの削減は勿論、洗浄液が汚れにくくなるのでコスト削減が期待されます。 ５．高純度性向上：石英基材から発生する金属イオンの発生を防ぎ高純度性の向上が期待されます。

• その他半導体製造装置

【特長】 〇メタル溶出防止性能に優れたフッ素樹脂ライニング 〇１ｍｍを超える膜厚で安心 〇負圧条件でも使用OK。ベントホール不要。 〇シームレスな皮膜 〇複雑形状に対応 ＰＦＡ樹脂は半導体産業で多用され、ＰＦＡ樹脂のコーティングやライニングも多く採用されています。そこには耐薬品性の他、メタル溶出防止の為の高純度性も求められます。 当社のコーティング/ライニングは負圧での使用に耐え、シームレスな皮膜であることが特長ですが、このたび、１ｍｍを超える高純度ＰＦＡ樹脂の厚膜ライニング『リチルピュア』を開発しました。 ・ＰＴＦＥやＰＶＣ成型品では強度が足りない ・負圧下でも安心して使用したい ・ＰＦＡコーティングでは膜厚が足りないと感じる 高純度要求に対するこれらの課題を『リチルピュア』で解決します。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧下さい。

• バルブ
• レジスト装置

薄膜で比較的硬度があり、施工処理自由度の高いフッ素コートを開発しました。ショットブラストも不要ですので、基材の表面性を活かすことが可能です。細径パイプ内面や微細な加工品など、さまざまな基材に適用可能と考えています。 ＜用途例＞ ・細径配管内面　（針、ノズル） ・複雑形状基材　（微細加工品） ・高精度金型　（メタルマスクなどの薄板） ・セラミック材、樹脂材、ゴム材　　　など ※詳しくはお問い合わせ、またはPDFをダウンロードしてください。

• 加工受託
• 表面処理受託サービス

CFRPの特徴として、軽量かつ歪み・たわみが生じづらい材料であることが挙げられます。 その為、金属の代替材料としての採用が進んでいますが、CFRPからのパーティクルの発生といった課題があります。 弊社フッ素樹脂コーティング技術と組み合わせることで、 パーティクル抑制、防食、非粘着性の付与といった効果が見込まれます。 幕張で2月より開催される『機械要素技術展』にて実物をご覧いただけます！ ※実績についてPDFにて紹介しておりますので、 　下記よりダウンロードしてご覧ください。

• 表面処理受託サービス

表面に凸凹をつける表面処理には、 優れた付着防止、離型効果を得ることが期待されます。 タックフリーコーティングは、凸凹の表面を作り、 シリコーン系やフッ素系のコーティングを施工する 高粘度粘着物専用の表面処理です。 粘着テープやゴムタイヤの製造ラインで多くのご採用実績があります。 【タックフリーコーティング「NFX-8084WS」の特徴】 〇緻密に凹凸形成を行うことが可能 〇凹凸が緻密に形成されているため従来よりも高耐久性を実現 ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧下さい。 【動画公開中】 タックフリーコーティング「NFX-8084WS」の非粘着性・耐久性の実験動画をご用意しました。ぜひご覧ください。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス
• その他表面処理装置

CFRPの特徴として、軽量かつ歪み・たわみが生じづらい材料であることが挙げられます。 その為、金属の代替材料としての採用が進んでいますが、CFRPからのパーティクルの発生といった課題があります。 弊社フッ素樹脂コーティング技術と組み合わせることで、 パーティクル抑制、防食、非粘着性の付与といった効果が見込まれます。 ※実績についてPDFにて紹介しておりますので、 　下記よりダウンロードしてご覧ください。

• 表面処理受託サービス

「Aμcoat(エーミューコート)」は硬質及び非梨地表面で、 尚且つ高い離型性を有する非フッ素樹脂のコーティング技術です。 フッ素樹脂コーティングは撥水性・耐食性・非粘着性など 優れた特性を有している一方、施工上必須の高温処理及び ショットブラストによる母材の歪みが懸念される場合があります。 「Aμcoat(エーミューコート)」は、上記の施工上の問題点を解決し、 フッ素樹脂では対応できなかった母材への施工が期待できます。 【特長】 ○高い離型性と高硬度 ○200℃以下の低温焼成 ○ショットブラスト不要 ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

薬液、廃液などの輸送コンテナにも使用されています。 【特徴】 ○酸、アルカリを問わずほとんどの薬液を安全に貯蔵できる ○洗浄性に優れ、残液が少ない ○高純度薬品を貯蔵できる ○帯電防止グレードで防爆対策が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

“リチルライニング”は、１～３mmを標準膜厚とした画期的な「厚膜焼付けフッ素樹脂ライニング」です。 従来工法のシートライニングでは得られない母材金属との密着性や、継目のない皮膜を実現し、その用途と可能性は無限です。 安全性で選ぶなら“リチルライニング”、それが日本フッソ工業の提案です。 【特徴】 ○３次元回転焼成で、厚膜ライニングを実現 ○負圧条件でもОＫ ○皮膜に継目がない ○複雑形状に対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

昨年、弊社はセラミックとフッ素樹脂の融合により高硬度かつ非粘着性に優れたNFX-5490を開発しました。従来のフッ素樹脂コーティングと比較して、この皮膜の耐摩耗性や耐傷付き性は格段に高いですが、絶縁性であるため有機溶剤雰囲気での使用では帯電または引火・爆発等の可能性が懸念されていました。 そこでNFX-5490の特性を保持した上で、帯電防止性を兼ね備えたNFX-5490ECを新たに開発しました。帯電防止性を有するため、有機溶剤雰囲気での使用が可能となり、NFX-5490よりも幅広い分野での適用が期待されます。 ※サンプル等もご用意しております。 　詳細はカタログをダウンロードしてご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。

• ミキサー・攪拌器
• 粉体供給装置
• ふるい・振とう器

日本フッソ工業(株)は、タイに現地法人を設立しました。 世界最大級の大型焼成炉を設置し、大型基材の施工も可能です。日本と同品質のフッ素樹脂コーティング・ライニングをご提供します。 日本人スタッフも駐在しており、タイのみならず、ASEAN地域の企業様で表面処理でお困りのことがございましたら、お気軽にお問合せ下さい。

• 表面処理受託サービス
• 加工受託

フッ素樹脂そのものは、ほとんどすべての化学薬品や溶剤に対して不活性で良好な耐食性を示します。腐食や割れなどで補修が困難なグラスライング製のマンホール蓋・プロテクションリングをフッ素樹脂焼付ライニングで再生します。 日本フッソ工業は長年の実績によるデータベースから、最適なライニング仕様をご提案します。

• 表面処理受託サービス

プレート式熱交換器は、付着物洗浄(開放洗浄）の頻度や、洗浄溶剤廃液量で課題があり、多数ご相談頂いておりました。しかしこの度、日阪製作所様と共同開発で、特殊フッ素樹脂コーティング技術を開発し、伝熱プレートへの施工が可能となりました。 【特徴】 １．優れた非粘着性能と洗浄性向上 ２．下地ブラスト処理が不要（歪みの懸念の解消） ３．熱伝導性の確保 ４．優れた耐食性 ５．鉛筆硬度５H ※詳細はカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。

• 熱交換器
• 表面処理受託サービス

「ノンスリップコーティング」NFX-8690はグリップ力があり、かつ離型性に優れたコーティングです。 高速で運転されるフィルムやテープではロールの上を基材がスリップしてしまい、ロールの空転やフィルム製品の傷の発生がありましたが、「ノンスリップコーティング」を導入することでこれらの課題を解決できます。粘着テープメーカーからの要望により開発し高い評価を得ています。 【特長】 ■色調：ブラック ■耐溶剤性：アセトン・IPAの拭き取りOK。キシレン・トルエンはやや白濁。 ■耐熱性：200℃ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

• 表面張力計

「ノンスリップコーティング」NFX-8690はグリップ力があり、かつ離型性に優れたコーティングです。 高速で運転されるフィルムやテープではロールの上を基材がスリップしてしまい、ロールの空転やフィルム製品の傷の発生がありましたが、「ノンスリップコーティング」を導入することでこれらの課題を解決できます。 粘着テープメーカーからの要望により開発し高い評価を得ています。 製造業で幅広く採用検討いただけますので、詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。 ※性能実験動画を限定公開中！詳しくはページ下段よりご覧下さい。 【特長】 ■色調：ブラック ■耐溶剤性：アセトン・IPAの拭き取りOK。キシレン・トルエンはやや白濁。 ■耐熱性：200℃ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

• その他表面処理装置

FEP樹脂はフッ素樹脂の中で最も臨界表面張力が低い(17.8dyn/cm)ため、液体によって表面が濡れにくい（つまり、非粘着性が高い）特徴を持ちます。 かつ、最も接着エネルギーが低い(42.0dyn/cm)ため、濡らした液体も離れやすい（つまり、離型性が高い）特徴を持ちます。このため、FEP樹脂は、ゴルフボール等のゴム・樹脂の成形金型からスペースシャトル・アリアンロケットの固体推進燃料の成形型まで、ロールから大型の塗料調合タンクまでといろいろな分野で使用されています。 ※非粘着・離型コーティングの詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

弊社の『剥離帯電防止コーティング』とは、特に液晶・プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ、及びＬＳＩ等の製造工程で発生する剥離帯電を抑制するものです。 たとえば液晶製造工程では、バキュームチャックプレートからガラス基板が離れる時に発生する剥離帯電を抑制し、静電気放電による障害を防止します。 このコーティングには、以下の三つの特徴が有ります。 ●剥離帯電防止性能 ●コンタミネーションレス ●高精度（平面度・平行度の確保） ※剥離帯電防止コーティングの詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

フッ素樹脂の特徴である耐食性・非粘着性等はいろいろなプラント・製造設備において、課題解決の手段として多用されています。その反面、フッ素樹脂表面の静電気帯電によるトラブルも多く発生しています。 たとえば、グラスライニングの体積抵抗値は1012Ωm程度あるということは良く理解され、静電気障災害への配慮がなされていますが、意外にフッ素樹脂の体積抵抗値が1016Ωｍ以上もあるということに配慮されていない場合がありました。 ※帯電防止の詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

一般に、金属を中心とした分野では、摩耗の形態は以下の４つに代表されます 　●凝着摩耗（adhesive wear） 　●アブレッシブ摩耗（abrasive wear） 　●腐食摩耗（corrosive wear） 　●疲れ摩耗（fatigue wear） また副次的な現象として、エロージョン、キャビテーション、チッピングが有るとされています。 しかし、フッ素樹脂コーティングの場合は、どうもこの分類がなじまないため、いろいろな人に聞いた結果では、以下の3つに代表されると考えられます。 　●ひっかき摩耗 　●ざらつき摩耗 　●凝着摩耗 ※耐磨耗性コーティングの詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

フッ素樹脂の耐食用途としては、大きく分けて「シートライニング」と「焼付皮膜」が有ります。 シートライニングの場合は、金属缶体の一部に貫通孔を明け、金属まで達した浸透物を系外に放出することによって、缶体に極端な腐食が発生することを防いでいます。 対して、焼付皮膜は浸透を抑制することによって腐食の発生を防いでいる違いが有ります。 ※耐食コーティングの詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

フッ素樹脂焼付ライニングを安全かつ長期的にご使用いただくには、日常点検が重要です。 異常を発見されたら当社までご連絡下さい。 【日常点検のポイント】 ■皮膜に傷やクラックはないか。 ■皮膜の大きな浮きはないか。 ■ブリスター（小さな膨れ）はないか。 ■変色や脱色はないか。 ■皮膜の磨耗はないか。 ※メンテナンスガイドの詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

セミコン用途としてのフッ素樹脂コーティングの対象は、主に半導体製造装置部品への適用となります。また、製造装置の種類としては、洗浄装置、ＣＭＰ装置、メッキ装置、搬送・固定用途、廃ガス・廃液系に分類されます。 フッ素樹脂コーティングは熱可塑性樹脂のため、溶融焼き付けによって施工されていきます。つまり、表面は溶融によってレベリングしており、パーティクルが入り込める隙間は実質的には存在しません。 同様に、レベリングした表面は、フッ素樹脂の非粘着性を最大とし、洗浄液の付着・持ち出しを軽減し、洗浄効率を上昇させることができます。 以上より、フッ素樹脂コーティングは洗浄装置に適した表面処理と考えています。また、実際にいろいろな装置で使用されています。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

　ＮＦ－５３４０は、高硬度で離型性に優れた新しいタイプの表面処理です。高硬度ゆえに、従来のフッ素樹脂コーティングと比較して、耐磨耗性や洗浄時等の耐傷付き性の大幅な向上が期待されます。 　また、高粘度物に対する離型性はフッ素樹脂コーティングと比較して、より優れた特性を示します。 従来、高粘度物に対する離型性には溶射による表面粗面化仕様コーティング（例：タックフリーコーティング）をご採用いただくケースが多かったのですが、ＮＦ－５３４０は「高離型性」 に加え「（滑らかな）表面性」を実現しています。更に「白系」という色調は洗浄時の視認性に優れます。 【特長】 ○９H以上の高硬度 ○優れた離型性 ○耐磨耗性 ○滑らかな表面性 ○傷がつきにくい ※詳細はカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。

• 食品切断装置
• 冷菓製造加工装置

「Aμcoat(エーミューコート)」は硬質及び非梨地表面で、尚且つ高い非粘着性を有する非フッ素樹脂のコーティング技術です。 フッ素樹脂コーティングは撥水性・耐食性・非粘着性など優れた特性を有している一方、必須の高温処理及びショットブラストによる母材の歪みが問題視される場合があります。 「Aμcoat(エーミューコート)」なら上記の問題点を解決しフッ素樹脂では対応できなかった施工が期待されます。 【特長】 ○再施工時の旧皮膜剥離が不要 ○200℃以下の低温焼成 ○ショットブラスト不要 ※詳しくはお問い合わせいただくか、 カタログをダウンロードしてご覧下さい。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

従来からのシリコーン系のリリースコーティングは、溶剤洗浄の不可と『シリコーンの移行』が大きな問題となっていました。いくら焼き付けのシリコーン系のリリースコーティングでも、１００％移行しないことは有りません。この移行したシリコーンが後加工での密着不良、表面処理のはじき等々で悪影響が発生していました。弊社のタックフリー『ＦＫ』シリーズは、シリコーンフリーでありながら従来のシリコーン系のリリースコーティングと同等のリリース性があり、しかも、全くのシリコーン移行が全くありません。しかも溶剤洗浄が可能です。是非とも貴社の課題をご相談ください。

• その他加工機械
• その他

確実な製品は昼夜を問わない研究開発と最新の設備から生まれます。

• その他

フッ素樹脂は、炭素（Ｃ）とフッ素（Ｆ）の強固な「Ｃ－Ｆ結合」により、極めて安定した分子構造となっています。このため、他の物質と結合（＝付着）せず、撥水性（＝洗浄性）に優れています。

• 加工受託

フッ素樹脂そのものは、ほとんどすべての化学薬品や溶剤に対して不活性で良好な耐食性を示します。ただし、耐食性とは別に有機皮膜の宿命と言える「浸透」という現象があり、ご採用にあたっては使用条件に適したライニング仕様を選択する必要があります。日本フッソ工業は長年の実績によるデータベースから、最適のライニング仕様をご提案します

• 加工受託

一般的に、フッ素樹脂は極めて不活性な材料であり、フッ素樹脂コーティング品においても、金属イオンを嫌う用途で使用されています。

• 加工受託

フッ素樹脂の付着防止性能は、パーティクル防止にも役立ちます。

• 加工受託

フッ素樹脂は、固体の中で最も摩擦係数が小さく、動摩擦係数はＰＴＦＥ（四ふっ化エチレン）で0.1です。

• 加工受託

一般的なフッ素樹脂は、体積抵抗値が10(16乗)Ωcm～10(18乗)Ωcmで、極めて優れた絶縁材料です。帯電が問題となる場合においては、この絶縁性を活かして、絶縁部品や電食防止の用途に使用されています。

• 加工受託

高純度フッ素樹脂コーティングは、金属イオン溶出によるデバイスの汚染を防ぎます。

• 加工受託

“ECシリーズ”は静電気帯電を防止できる画期的なフッ素樹脂焼付けコーティング／ライニングです。 フッ素樹脂の特性はそのままに、さらに防爆対策が可能となりました。 静電気災害を発生させない安全性。それが日本フッソ工業の提案です。 【特徴】 ○非粘着性と耐食性で、さらに高まる帯電防止効果 ○安全に管理された漏洩抵抗値 ○体積方向への導通 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

“リチルライニング”は、１～３mmを標準膜厚とした画期的な「厚膜焼付けフッ素樹脂ライニング」です。 従来工法のシートライニングでは得られない母材金属との密着性や、継目のない皮膜を実現し、その用途と可能性は無限です。 安全性で選ぶなら“リチルライニング”、それが日本フッソ工業の提案です。 【特徴】 ○３次元回転焼成で、厚膜ライニングを実現 ○負圧条件でもОＫ ○皮膜に継目がない ○複雑形状に対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

フッ素樹脂の分子構造には、炭素(C)とフッ素(F)の強固な「C-F結合」が含まれています。 このためフッ素樹脂は、極めて安定しており、さらに他の物質と結合(＝付着)せず、撥水性(＝洗浄性)に優れています。 フッ素樹脂の対水接触角は110°で、その付着防止特性は、ステンレスのバフ仕上げ等と比べて格段に優れています。 【特徴】 ○機器の洗浄性向上 ○ロット間のクロスコンタミ防止 ○フィルムや機器の帯電防止 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

FPD製造では、静電気対策の重要性が増し、これまで以上の剥離帯電対策が必要不可欠なものとなっています。 日本フッソ工業の「剥離帯電防止コーティング」は、アルマイトなど従来のステージ表面処理に比較して大幅に剥離帯電発生量を抑止することができ、しかも非常に長寿命です。 また、いち早く大型ステージにも対応するクリーンルーム内施工を実現。 更に長年の経験と実績に培われた独自の施工技術の確立により「高品質」「高精度」「大型」ステージにも対応し、FPD製造工程の歩留まり向上に貢献します。 【特徴】 ○静電気対策 ○歩留まり向上 ○真空環境（低湿度環境）下でも安定した性能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• コーティング剤
• 表面処理受託サービス

日本フッソ工業は接液接ガス部すべてにフッ素樹脂焼付ライニング「NFX-7970」を施工した熱交換器を開発しました。 耐食性、高純度性を求められる製造設備での熱交換器は、従来、加圧・減圧ができないフッ素樹脂成型品が使われていました。 「NFX-7970」焼付ライニングは、細い伝熱管の内面を高純度のフッ素樹脂で焼付ライニングし、かつ、正圧・負圧にも対応できる特殊仕様です。 熱交換器本体は木村化工機株式会社様製です。 【特徴】 ○高純度性が優れている ○衝撃に対しても割れない ○スケールが付着しにくい ○正圧・負圧下での使用が可能 ○耐酸、耐アルカリ性に優れているため、多目的の使用が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• コーティング剤

近年、特に電子材料・医薬をはじめとするファインケミカル製造プロセスにおける反応槽・撹拌槽・乾燥機などの機器は、耐食性・洗浄性・金属イオン溶出防止などの機能が要求され、そのレベルは年々厳しくなっています。 さらに、大きな問題は異物対策（コンタミネーション対策）です。 タンク類における異物対策はフッ素樹脂焼付コーティングなどを施工することでほとんど解決してきましたが、撹拌装置軸封部からの摩耗粉などによる異物対策は不充分でした。 当社では、日本ピラー工業株式会社と共同で開発した軸封構造「ノンメタルＰＥＣ」を用いることにより、従来困難であった槽全体でのコンタミネーション対策を可能にしました。 「ノンメタルＰＥＣ」は厳格なクリーン度が要求されるフッ素樹脂焼付コーティング撹拌槽に最適です。 【特徴】 ○装置全体のノンメタル化 ○汚染物質を発生させない独自シール機構 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• シール・密封
• その他理化学機器