剛性および柔軟性のある基板向けの柔軟な高速生産ソリューションを提供！
『SOLARISファミリー』は、インライン式生産プラットフォームです。 5000台を超える高速光ディスク用システムを納入したノウハウと、 3000台を超える半導体用PVD装置から得られた経験を組み合わせて、 薄膜の大量生産における新しいアプローチを提供。 「完全に自動化された工場」向けに設計されており、スループットを 向上させ、手動処理を排除します。 【特長】 ■「インライン」アーキテクチャを備える ■「完全に自動化された工場」向けに設計 ■スループットを向上させ、手動処理を排除 ■剛性および柔軟性のある基板向けの柔軟な高速生産ソリューションを提供 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【ラインアップ】 ■SOLARIS S151 ■SOLARIS S380 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
日本エバテック株式会社は、業界で最高クラスの顧客価値を提供することを 目指している企業です。 自動車用の高輝度LED照明から携帯電話用の顔認識技術まで、最高クラスの 薄膜製造ソリューションの設計と構築は私たちの日常業務であり、半導体 、 オプトエレクトロニクス等の様々なアプリケーションの先端をお客様に提供。 当社の成膜技術は、新しい材料の成膜を可能にし、新しいレベルの薄膜性能の ための高度なプロセス制御をもたらし、最小レベルの製造コストを達成する 革新的なシステムエンジニアリングを備えています。