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【半導体製造向け】ウエハー・ポリマーのコーティング試験考察

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ナノビア社

最終更新日:2026年02月03日

アイ・ティー・エス・ジャパン株式会社
アイ・ティー・エス・ジャパン株式会社
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半導体の強度検査・表面検査・環境試験など、歩留まり向上に貢献

半導体製造業界では、歩留まりの向上が重要な課題です。ウエハーの金属コーティングの品質は、製品の信頼性と歩留まりに大きく影響します。コーティングの接着強度や基材との相性が悪いと、様々なトラブルの原因となり、歩留まりを低下させる可能性があります。ナノビア社のインデンターなどの試験機を活用することで、これらの問題を早期に発見し、対策を講じることが可能になります。 【活用シーン】 ・ウエハーの金属コートの機械強度検証 ・ポリマーコーティングの接着破壊、凝集破壊、臨界負荷の評価 ・多層薄膜のスクラッチ耐性試験 ・自己洗浄ガラスコートの摩擦評価 ・高温環境下でのスクラッチ試験 【導入の効果】 ・コーティングの品質評価による歩留まり向上 ・製品の信頼性向上 ・不良品の削減 ・研究開発の効率化

    ウエハーその他半導体半導体検査/試験装置
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【半導体製造向け】ウエハー・ポリマーのコーティング試験考察

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基本情報

【特長】 ・圧痕試験、スクラッチ試験、往復スクラッチ試験など、様々な試験に対応 ・ポリマーコーティングの接着破壊、凝集破壊、臨界負荷などを評価 ・多層薄膜の接着破壊、凝集破壊、基材への影響を評価 ・自己洗浄ガラスコートの摩擦評価が可能 ・高温環境下での試験に対応(最大1,100℃) 【当社の強み】 世界トップクラスの企業が導入している製品を取り扱っています。海外製品でも国産メーカークラスの迅速なサポートを提供します。

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用途/実績例

半導体の強度検査・表面検査・環境試験など

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ウエハー金属コート材(インデンター)

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シリコンウエファーコート剤への微小ひっかき試験(インデンター)

シリコンウエファーコート剤への微小ひっかき試験(インデンター)

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多層薄膜コートの評価(インデンター)

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透明基板上の透明フィルム測定(3Dプロファイラー)

透明基板上の透明フィルム測定(3Dプロファイラー)

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マイクロスフィアの表面検査(3Dプロファイラー)

マイクロスフィアの表面検査(3Dプロファイラー)

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リアル3D表面検査で歯の摩耗を検証(3Dプロファイラー)

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加工部品とCADモデルの照合検証 (3Dプロファイラー)

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1000℃ブリネル硬度試験(トライボメータ)

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弊社では、世界トップクラスの企業が導入している製品を取り扱っております。日本の製品には見られない最先端の技術が採用され、製造や開発の現場で合理化の促進やコストダウンを可能にし、導入された企業様へ必ずメリットをもたらす製品です。また弊社では海外製品でも国産メーカークラスの迅速なサポートで対応させて頂いております。 ◎動的粘弾性測定装置 ◎応力緩和測定装置 ◎落錘式衝撃試験機 ◎多彩色光3光学プロファイラー ◎ナノ/マイクロインデンター ◎トライボメーター ◎ポリマー用水分計 ◎溶融物性材料開発機器ツインキャピラリーレオメーター ◎流動解析ソフト ◎成形解析ソフト ◎超精密フィーダー ◎質量式定量フィーダー ◎自動調整 重量式ブレンダー ◎ポリマー用除湿乾燥機 ◎カラースペクトロメーター ◎成形サイクル短縮機器 ◎ゴム測定関連機器  動的測定+加硫試験機  レオメーター  カーボン分散計  ムーニー粘度計  硬さ・密度計  密度・比重計  未加硫ゴム用かさ比重計  硬度計  耐久・疲労試験機  リバウンドテスター  摩耗試験機 ◎バルブ総合メーカー

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