研磨材の製品一覧
- 分類:研磨材
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!
- その他搬送機械
精密なコーティング技術及び高度な樹脂接着技術で、精選された砥粒を摩擦に強い布に塗布した高品質なクリーニングテープです。
- ガラス
- そのほか消耗品
- その他研磨材
切れ味を戻したい!精度を上げたい!などのお悩みを再研磨で解決!最短2日で仕上げることも可能!当社が再研磨を行った製作事例をご紹介
- ウエハ加工/研磨装置
- その他研磨材
- 表面処理受託サービス
【技術情報】CMP研磨パッドの溝加工 2
前回、研磨パッド表面の溝加工によってスラリーの拡散が変わることをご説明しました。 溝によるスラリーの拡散効果を可視的に検証した事例をご紹介します。 半導体用などでデファクトスタンダートとなっている研磨パッド「IC1000」に異なる溝加工を6種類サンプルとして準備。 ・Circular Groove(同心円溝) ・Perforated Groove(貫通穴溝) ・Radial Groove(放射溝) ・Spiral Groove(螺旋溝) ・XY Groove(XY溝) ・Acr Groove(円弧溝) 青色に着色した液体を同条件下で滴下すると、溝加工によって液体の拡散が異なることがよく分かります。同心円溝や螺旋溝はスラリーの保持性が高く、放射溝や円弧溝はスラリーの排出性が優れることが確認できます。 このように同じ研磨パッドでも溝加工によってスラリーの拡散が異なり、ウェーハなどワークに介入するスラリーの作用に影響しますので、溝加工の選定は大変重要です。 当社ではお客様でのプロセス条件やターゲットを考慮して、溝加工の選定のお手伝いもさせて頂きますので、ぜひご相談下さい。
サイズはサブミクロンから1 0μmまであります。シリコンチップ、光学デバイス、金属加工品などの異種材料に使用しています。
- その他研磨材
強力で研磨作業に最適!長時間研削にも適したフレキシブルシャフト専門メーカーのフレキシブルグラインダー!
- 塑性加工機械(切断・圧延)
- 研削盤
- 砥石
高圧高温単結晶ダイヤモンドスラリーは、水性製剤です。水性液に高圧高温単結晶ダイヤモンド粒子を分散させたスラリー
- その他研磨材
QPD とQPH はポリマイクロダイヤモンドパウダーで、QPD は爆発法で作られ、QPH は高温高圧で作られています。
- その他研磨材
独自の表面処理を施したラウンド モノマイクロ パウダーです。球状のQMR合成ダイヤモンドは、表面が粗く、純度が高い。
- その他研磨材
高圧高温合成法で作られたモノマイクロパウダーで、硬度と結晶構造の特徴から、さまざまな素材の切断、ラッピング、研磨に人気の素材です
- その他研磨材