半導体製造装置の製品一覧
- 分類:半導体製造装置
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中真空域でのスパッタリング技術を使用し、世界で初めて銅ダイレク成膜によるめっきシード層形成技術を開発! 従来以上の生産性を実現!
- スパッタリング装置
U803/U804シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最小レンジは7?50mL/minから用意されています。
- その他半導体製造装置
- 加工受託
- ウエハ加工/研磨装置
マクミラン 薬液流量コントローラ U802のカタログを新規登録しました
詳細は、カタログダウンロード下さい。
モデル106Fは低粘度の液体を15mL/minの低流量から?50L/minの大きな流量まで測定できるセンサです。
- その他半導体製造装置
- センサ
マクミラン 薬液流量コントローラ U802のカタログを新規登録しました
詳細は、カタログダウンロード下さい。
接ガス部はインコネル600シリーズとSUS316を採用し全溶接構造で堅牢なデザインです。耐圧も69kPaと高く作られています
- その他半導体製造装置
- ガス回収/処理装置
- 液面制御・レベルスイッチ
特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ
- CVD装置
- エッチング装置
- 圧力制御