半導体製造装置の製品一覧
- 分類：半導体製造装置
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アイソレーターをお持ちの方へ。高い薬品耐性と作業性を実現。低価格、短納期も実現可能なグローブボックス・アイソレーター用グローブ
- 作業用手袋
【2026年5月20日(水)～22日(金)】「インターフェックスWeek東京」出展のご案内
株式会社イトーは、幕張メッセで開催される「インターフェックスWeek東京」に出展致します。 当展示会は、世界25の国と地域から医薬品・化粧品・再生医療の研究・製造に関するあらゆる製品・サービスが出展する展示会として、日本最大の規模で開催。 世界中から医薬品・化粧品メーカー、再生医療企業が来場します。 当社ではTron Power社製「グローブボックス/アイソレーター用グローブ」を出展致します。皆様のご来場をお待ちしております。
【2020年1月15日～17日】第34回 ネプコン ジャパン -エレクトロニクス 開発・実装展-いたします
株式会社ルックス電子は、東京ビッグサイトで開催されます 「第34回 ネプコン ジャパン -エレクトロニクス 開発・実装展-」に 出展いたします。 当ブースでは、開口部の付着半田を大気中に飛散させず回収する メタルマスク半田飛散防止ユニット『LMC-SAM1』。 クリーニング後の目詰まり、異物付着、潰れ半田を自動で判定することが できるメタルマスク検査装置『LMJ-SAM3-T』を展示いたします。 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド・ニッチプロセスへ個別対応のプロセス＆ハードウェア
- スパッタリング装置
- プラズマ表面処理装置
枚葉基板からRoll to Rollによるフレキシブル基板まで対応！レジスト残渣が残りません
- その他半導体製造装置
- その他表面処理装置
- 基板加工機
バキュームエッチング技術により高精細なパターン処理を実現！面内バラツキ無く仕上がります
- 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
- 基板加工機
- エッチング装置
大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、豊富な経験と実績を柔軟なハード対応とサンプルテストで提供
- アニール炉
- 酸化/拡散装置
- 加熱装置
ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレートをスパッタで。高い結晶性とＣ軸配向性を持つＡｌＮ膜をスパッタで作成可能。最新型成膜装置
- スパッタリング装置
- プラズマ表面処理装置
再研磨・再コーティングによって切れ味を蘇らせ、コストダウンに貢献します！
- ウエハ加工/研磨装置
- その他研磨材
- その他
ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置
- エッチング装置
- アッシング装置
- プラズマ表面処理装置
弊社装置は(1)ＵＶ＋オゾンで空気・空間・表面殺菌、(2)オゾン水はウイルス対策の洗浄殺菌、スプレー噴霧等にも使用できます。
- 紫外線照射装置
- その他半導体製造装置
- その他加工機械
ハンディ・卓上・ユニット・LED・コンベア型まで、様々なご用途に対応できる充実のラインナップをご用意しています。
- 紫外線照射装置
- コーター
- 刻印機
特殊硝子加工の製作事例をご紹介！産業機械のタッチパネルから特殊硝子のケミカル強化まで硝子の事なら弊社にお任せ下さい！
- ガラス
- ウエハ加工/研磨装置
- 車体系部品
高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現
- プラズマ表面処理装置
- プラズマ発生装置
- CVD装置
耐プラズマ性に優れたイットリア（Ｙ２Ｏ３）膜をＰＶＤ法で形成。 新開発イオンプレーティング法で厚膜（１０μｍ）を実現
- その他工作機械
- その他加工機械
- その他半導体製造装置
緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載 ＣＶＤ代替高密度イオンプレーティング装置
- プラズマ表面処理装置
- その他加工機械
- 蒸着装置
