半導体製造装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

ウエハのポストCMP洗浄に最適！特殊洗浄で高度なクリーン度を実現。

• ウエハ加工/研磨装置
• ブラシ

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

• CVD装置
• その他半導体製造装置

マルチヘッドで連続熱圧着　安定した温度プロファイルを実現

• ボンディング装置

マルチヘッドで連続熱圧着　キャリア搬送で効率的なハンドリング

• ボンディング装置

複数ワークへ連続貼り付け　キャリア方式により後工程へスムーズに移行

• その他半導体製造装置
• その他実装機械
• その他組立機械

R&Dや小ロット生産に最適　長さ100mmまで貼り付け可能。

• その他実装機械
• その他組立機械
• ボンディング装置

R&Dや小ロット生産に最適　長さ60mmまで貼付可能。

• その他実装機械
• その他組立機械
• ボンディング装置

R&Dから量産まで、幅広いプロセスに対応するACF熱圧着装置

• ボンディング装置

大型マシニング加工、精密機械部品加工のことならお任せください。

• その他半導体製造装置
• 加工受託
• その他機械要素

乾式で『粉体や固体全面』の『表面改質(親水・洗浄・密着強化)』を一括処理できる回転プラズマ装置！新技術開発・コスト削減に貢献

• その他半導体製造装置

あらゆるスラリーに適合し、難削材の両面同時研磨に最適です。

• ウエハ加工/研磨装置

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

• 真空機器
• 半導体検査/試験装置
• 蒸着装置

電熱機器のエキスパートとしてお客様の加熱工程をトータルサポート

• その他ヒータ
• 加熱装置
• その他半導体製造装置

CCDカメラによる画像処理自動整合システムを搭載

• ステッパー

全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ

• ステッパー

両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能

• ステッパー

光源と光学系技術の開発・応用力の粋を集めた各種ランプのご案内です。

• ステッパー
• ランプ・発光素子
• その他光学部品

フレキシブルプリント基板（FPC）の回路形成を行うための装置

• ステッパー

搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能！

• ステッパー

フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。

• ステッパー

平行光露光装置のラインナップのご案内です。

• ステッパー

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度片面露光装置

• その他半導体製造装置
• レジスト装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度両面露光装置

• その他半導体製造装置
• レジスト装置

FPD製造工程で威力を発揮するフィルム用整合付半自動露光装置

• その他半導体製造装置
• レジスト装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

• レジスト装置
• ステッパー
• その他半導体製造装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

• レジスト装置
• ステッパー
• その他半導体製造装置

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行えます！

• スプレー
• コーター

限られたスペースを有効活用！卓上型自動スピン洗浄機です。

• その他半導体製造装置

イニシャルコスト、ランニングコスト激減！　逆浸透膜方式の純水装置

• その他半導体製造装置
• 水処理装置
• その他環境機器

イニシャルコスト、ランニングコスト激減！　逆浸透膜方式の純水装置

• その他半導体製造装置
• 水処理装置
• その他環境機器