半導体製造装置の製品一覧
- 分類：半導体製造装置
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
2024/4/10（水）～2024/4/12（金）名古屋 ものづくり ワールド 2024出展のご案内
三和式ベンチレーター株式会社は、ポートメッセなごやで開催される 2024ものつくりワールド（名古屋）に出店いたします。 弊社も大型冷風機、涼暖ビエントの展示をおこないます。 日時：2024/4/10～2024/4/12 開場：AM10:00~ 場所：名古屋ポートメッセ（第１展示会場） ※弊社ブース：19-1 お時間が御座いましたら、ご来場頂ければ幸いです。
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板対応、 高真空アニール装置（<5 × 10-7 mbar）
- アニール炉
◆nanoANNEAL◆ ウエハーアニール装置
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"〜最大6"基板対応、 高真空アニール装置（<5 × 10-7 mbar） [nanoANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱処理が可能な研究開発用アニール装置です。 高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により３種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター：Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター：Max1000℃（真空中、不活性ガスのみ） ・SiCコーティングヒーター：Max1000℃（真空、不活性ガス、O2）
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板対応、 高真空アニール装置（<5 × 10-7 mbar）
- アニール炉
- 加熱装置
- 電気炉
4元マルチスパッタ装置 【MiniLab-S070】
Φ2inchカソード x 4搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF150W or DC780W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF150W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャンバー） 基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート） 基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整） デポレート・膜厚レート制御 寸法：1,120(W) x 800(D) ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。
半導体のCMP工程における過酸化水素の濃度をプロセス分析計 / オンライン分析計で常時モニタリング！
- 分析機器・装置
- 半導体検査/試験装置
- ウエハー
最先端レベルのFlashメモリ書込みとセキュアデバイスプロビジョニングにいち早く対応し、国内の幅広い用途に拡販！
- その他半導体製造装置
- マイクロコンピュータ
- 半導体検査/試験装置
最先端レベルのFlashメモリ書込みとセキュアデバイスプロビジョニングにいち早く対応したプログラミング装置などを紹介！
- その他情報システム
- その他半導体製造装置
6/23開催 硅素化学製品の基本と応用セミナー
■タイトル 「よくわかる『硅素化学製品』の基本と応用 ～体系的に学ぶ、シリコンからシリコーンまで～」 半導体や太陽電池に用いられるシリコン、各種表面処理や中間体として活躍するシラン、日用品から先端材料まで幅広く利用されるシリコーン。本セミナーでは、これら硅素化学製品の基礎知識から製法、特性、用途までを体系的に解説します。シリコンとシリコーンの違い、シランの役割、半導体・光学分野での活用事例などを通じて、硅素化学品の全体像を理解できます。 【対象者】 ・硅素化学（シリコン、シラン、シリコーン）に関心のある方 ・硅素化学品関連業務に携わる方 ・半導体、光学、電子材料分野の技術者・研究者 ・基礎から体系的に学びたい方
ウエハ用洗浄槽の水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸の同時分析をインライン近赤外分析計でモニタリング！
- 分光分析装置
- ウエハー
- 半導体検査/試験装置
ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けケミカルフィルターシステム
- その他フィルタ
- その他半導体製造装置
- 半導体検査/試験装置
Au合金をはじめ各種蒸着材料を用途に応じて提供。安定供給と納期短縮で、生産効率とコスト管理を両立する蒸着材料販売サービス
- 蒸着装置
- その他金属材料
SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT社製のマスフローコントローラー。
- 流量計
- その他半導体製造装置
- 流量制御
公式ウェブサイトに、様々なアプリケーション例を掲載致しました。
Alicatの計測機器は、幅広い産業分野における技術革新を可能にします。工業生産、研究開発、など、あらゆる分野において、正確で再現性が高く、拡張性のある流量・圧力計測および制御が不可欠で、あらゆる業界でのアプリケーションに使用されています。 ◆ALICAT ・航空宇宙・防衛 ・バイオリアクターおよび発酵槽 ・校正および計測 ・環境および大気モニタリング ・食品・飲料 ・ガスクロマトグラフィー ・ガス混合 ・ガラスおよび光ファイバー ・水素 ・ラボグロウンダイヤモンド ・漏れ検査 ・石油・ガス ・薄膜堆積 ◆ガスミキシング：Fusion Flow ・MAP包装 ・バイオリアクターおよびバイオテクノロジー研究所 ・チャンバー内のガス試験 ・低メタンフレアガス ・炭素循環硫化物トレーサーモデル ・ガスセンサー校正の基礎 ・溶接シールドガスアーク溶接 ◆背圧レギュレータ：Equilibar +研究応用 +産業用途 +ポンプ制御 +衛生用途 +レベル制御 +真空 詳しくは、カテゴリ別の人気アプリケーションへのリンクよりご覧下さい。
企画からその先まで「イノベーション」でつなぐ。試験と品質のソリューションパートナー
- 半導体検査/試験装置
- 外観検査装置
- その他組立機械
FINEPLACER femto2 は最先端用途向けに設計された高精度・高性能なフルオート・フリップチップボンダ／ダイボンダです
- その他半導体製造装置
切れ味と砥石寿命を理想的に！ドレッシングで砥石のムダづかい、してませんか？
- 砥石
- ウエハ加工/研磨装置
- その他研磨材
電源対策設備不要で盤サイズを削減！電源品質問題を根本から断ち切り半導体製造の歩留まり改善を加速
- コンバーター
- その他半導体製造装置
濾過精度1μmを実現！石英ガラスやセラミックスなどの脆性材を逆洗浄システムという特許技術を使って濾過！技術資料も進呈中！
- ろ過装置
- 水処理フィルター・消耗品
- その他半導体製造装置
17インチ超音波タッチパネルモニター！タッチパネルの耐久性が強い、実績がたくさん持つ商品てあり、品質に安心して使えます。
- その他半導体製造装置
- 画像処理機器
- タッチパネル
17インチ超音波タッチパネルモニター！タッチパネルの耐久性が強い、実績がたくさん持つ商品てあり、品質に安心して使えます。
- その他半導体製造装置
- 画像処理機器
- タッチパネル
17インチ超音波タッチパネルモニター！タッチパネルの耐久性が強い、実績がたくさん持つ商品てあり、品質に安心して使えます。
- その他半導体製造装置
- 画像処理機器
- タッチパネル
17インチ超音波タッチパネルモニター！タッチパネルの耐久性が強い、実績がたくさん持つ商品てあり、品質に安心して使えます。
- その他半導体製造装置
- 画像処理機器
- タッチパネル
先端パッケージへの展開 300×300、510×515等、次世代パッケージ基板向けに各種プロセス装置をご提案いたします
- スパッタリング装置
- エッチング装置
- アニール炉
JASIS2026へ出展します
2026年9月2日（水）から4日（金）まで、幕張メッセで「JASIS 2026」が開催されます。 大塚電子ではゼータ電位・粒子径・分子量測定システム ELSZneo、光波動場三次元顕微鏡 MINUK等の弊社製品を展示します。 ぜひ弊社ブースにて実機をお近くでご覧ください。 皆様のご来場をお待ちしております。
