CVD装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

旋盤加工／アルミ加工／精密部品加工

• CVD装置
• スパッタリング装置
• アニール炉

金属加工/大阪/ステンレス

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• エッチング装置

A5056加工品・単品・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• アッシング装置
• 半導体検査/試験装置

CNC旋盤加工・アルミ精密切削・半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• イオン注入装置

A5056／旋盤加工／アルミ加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

アルミ切削／A5052／旋盤加工／大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• スパッタリング装置
• 半導体検査/試験装置

プラズマCVD装置

• CVD装置

これまでの加工実績をベースに行ったGaNのトレンチ加工をご紹介します

• CVD装置

GaNマイクロLEDメサ加工の結果、GaNマイクロLEDメサ加工中の発光分光データなどを掲載！

• CVD装置

プラズマCVD装置

• CVD装置

ブレードダイシングとプラズマダイシングの比較などを掲載しています

• CVD装置

シリコンのノンボッシュプロセスの新しいデータを掲載しています

• CVD装置

Aqua Plasmaの効果として、ESCAによる表面の深さ分析結果などを掲載しています

• CVD装置

3.0x3.0mmから10.0x10.0mmまでのサイズをラインアップしています！

• CVD装置
• その他

3.0x3.0mmから10.0x10.0mmまでのサイズをラインアップしています！

• CVD装置
• その他

・標準サイズの製品が多数・Easy installation 簡単設置 ・精密焼結拡散接合 （ 同時焼結 ） ・高い流量

• CVD装置

アルミ加工　アルマイト処理　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• 蒸着装置

ステンレス加工　フライス加工　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

横の許容は+0.2/0-0mm、厚さの許容は+/-0.05mm！電子グレードCVDについてご紹介します

• CVD装置
• その他

3.0x3.0mmから10.0x10.0mmまでのサイズをラインアップしています！

• CVD装置
• その他

側面粗さRaは、研磨済み、Ra＜5nm！光学グレード単結晶をご紹介します

• CVD装置
• その他

0.25mmと0.50mmの厚みをラインアップ！多結晶メカニカルのご紹介です

• CVD装置
• その他

1,000W/mKから2,000W/mK以上までの熱伝導率を設計！多結晶サーマルをご紹介します

• CVD装置
• その他

商業的使用に好適！非常に安定性があり、予測可能な特性と挙動を持っています

• CVD装置
• その他

横の許容範囲は+0.1/0-0mm！単結晶メカニカルをご紹介します

• CVD装置
• その他

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

• スパッタリング装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

真空チャンバーを製作いたします

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

アルミ五軸加工　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• 加熱装置