スパッタリング装置 | イプロスものづくり

【新人設計者必読】電池の仕組みと種類がわかる基礎知識マスター講座

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株式会社NALSEC

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電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

電池・バッテリー
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オイルミストコレクター『ミストール』＜デモ受付中＞

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東洋空気調和株式会社

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静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

空調

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【装置制作事例】成膜装置

株式会社シナノ精機

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スパッタリング装置

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【装置制作事例】設計製作装置

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装置の設計からアフターサービスに至るライフサイクルすべてをサポート！

スパッタリング装置
プラズマ表面処理装置

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【蒸着装置・加熱/冷却装置など】真空装置はお任せください！

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「顧客満足と技術力を限りなく追求し、社会に貢献する」という経営理念のもとに事業を展開

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スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

テルモセラ・ジャパン株式会社本社

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高機能コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式スパッタリング装置

その他半導体製造装置
スパッタリング装置

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4元マルチスパッタ装置【MiniLab-S070】

Φ2inchカソード x 4搭載同時成膜：3元同時成膜（RF150W or DC780W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF150W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャンバー）基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート）基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整）デポレート・膜厚レート制御寸法：1,120(W) x 800(D) ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。