スパッタリング装置の製品一覧

  • 分類:スパッタリング装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案!デモキット無料貸出。

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  • その他安全・衛生用品

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柔軟性、コンパクトな設計、および低い投資コスト!少量生産に理想的な選択肢

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業界で非常に低いRcのシステム設計と最高レベルのウェーハ間再現性!

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PLP向けにより高い生産性!より多くのプロセス可能性。アドバンストパッケージング向けに最適

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「有機EL用GB付きスパッタリング装置」や「研究開発用IBS装置」などの実績を保有!

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基板温度900℃を実現!基板ステージに3軸機構を搭載し、均一な膜厚分布を実現

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半導体、MEMS、電子部品等に!単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能!

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省スペースで大容量!各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能!

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CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です!

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  • スパッタリング装置

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立体物成膜での高いカバレッジを実現! 最大3台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です!

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相談だけでも歓迎!設計から製作、組立まで自社で一貫して対応!各種装置製造でお困りの方は是非ご相談ください。※製作事例資料進呈中

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リアクティブスパッタ、合金スパッタを自在にコントロールしての成膜を実現します

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PlasmaQuest社製 リモートプラズマ イオンビームスパッタリング装置のページを更新いたしました

ご紹介開始より、各社様からご好評を頂いております、PlasmaQuest社製 リモートプラズマ イオンビームスパッタリング装置のページを更新いたしました。 リモートプラズマ ターゲットバイアス スパッタリングの動画を掲載いたしました。 ご質問、ご要望等ございましたらお気軽にお問い合わせください。

誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜

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MEMS Engineer フォーラム 2025 出展いたします

MEMS Engineerフォーラムは、21世紀のキーテクノロジーとされるMEMS技術のキープレイヤーの中でもエンジニアを中心に運営されるユニークなフォーラムです。 世界中のMEMS研究者、開発者、技術者が一堂に集うこのフォーラムの技術展示会にて、Plasma Quest Ltd.社製 リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置のご紹介と技術展示をいたします。 弊社展示のみならず、MEMSに関する最先端の技術をご覧いただける絶好の機会でございます。ぜひ足をお運びいただきたくご案内申し上げます。 会場: 国際ファッションセンター ホール 〒130-0015 東京都墨田区横網1-6-1 国際ファッションセンタービル アクセス https://www.tokyo-kfc.co.jp/access/ 展示製品: Plasma Quest Ltd. 社製  リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置 https://mono.ipros.com/product/detail/2001148974 https://www.plasmaquest.com/

耐摩耗性コーティング業界のエンジニアに!膜応力の精密なコントロール性

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