膜厚計の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

センサ

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直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

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株式会社エナテック東京本社

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

その他半導体
加工受託
ウエハー

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分光干渉式ウェーハ膜厚計 SF-3　　

各種ウェーハの厚み測定や、各種研削・研磨・貼り合わせなどへのプロセスへの組み込みに！　

膜厚計

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【2026年12月9日(水)～11日(金)】「SEMICON Japan」出展のお知らせ

当社は、東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan」に出展いたします。半導体製造プロセスからアプリケーションまでを網羅し、先進技術を体験できます。大塚電子では、ラインスキャンのモックアップ、スマート膜厚計などを展示予定。ぜひ当社ブースにて実機をお近くでご覧ください。皆様のご来場をお待ちしております。

ロードポート対応膜厚測定システム　GS-300　

半導体工場の膜厚ニーズに合わせたインテグレーションが可能！

半導体検査/試験装置
膜厚計

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【2026年12月9日(水)～11日(金)】「SEMICON Japan」出展のお知らせ

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ラインスキャン膜厚計　オフライン（ウェーハ対応タイプ）　

ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面検査を実現！

膜厚計

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ラインスキャン膜厚計　オフラインタイプ　

全面を高速かつ高精度に膜厚測定可能！

膜厚計

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ラインスキャン膜厚計　インラインタイプ　

ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現！

膜厚計

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顕微分光膜厚計　傾斜モデルを用いたITOの構造解析

傾斜モデルを用いたITOの構造解析

膜厚計
その他検査機器・装置
光学測定器

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【2026年12月9日(水)～11日(金)】「SEMICON Japan」出展のお知らせ

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【半導体成膜管理向け】SM-100 series

持ち運び可能なハンディタイプの膜厚測定装置！サンプルを傷つけずに測定

膜厚計

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【太陽電池向け】スマート膜厚計 SM-100 series

太陽電池製造の効率化に貢献！非破壊で膜厚測定

膜厚計

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【光学部品向け】SM-100 series 膜厚測定装置　

反射防止膜の膜厚測定に！ハンディタイプの膜厚計

膜厚計

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【自動車コーティング向け】スマート膜厚計 SM-100

自動車コーティングの膜厚測定を、手軽に、正確に。デモ機無料貸し出し中！

膜厚計

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【医療機器向け】膜厚測定装置 SM-100 series

生体適合性材料の膜厚測定に。ハンディタイプの膜厚計　

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【航空宇宙向け】SM-100 series 膜厚測定装置

耐熱コーティングの膜厚測定に！非破壊で測定可能

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【精密機械向け】膜厚測定装置 SM-100 series

表面処理の膜厚測定を、手軽に、高精度に。デモ機無料貸し出し中！

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【電子部品向け】スマート膜厚計 SM-100 series

持ち運び可能なハンディタイプの膜厚測定装置！絶縁膜の膜厚測定に

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【包装業界向け】膜厚測定装置 SM-100 series　