プラズマ/の製品一覧
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フォトマスクの新規開発に携わる方必見!コンパクトな設計で、様々なサイズのフォトマスク・ウエハの処理が可能なドライエッチング装置
- エッチング装置
電源一体型により、機動性向上。ハンディタイプのため、大きな対象物の部分処理、立体物へのプラズマ照射も可能
- プラズマ表面処理装置
自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成の実績豊富な各タイプ 眞空プラズマの高い効果を量産ラインに
- プラズマ表面処理装置
- エッチング装置
- アッシング装置
ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界中のMEMSや半導体等のファブで使用されております。
- アッシング装置

ペン型大気圧プラズマ装置!表面改質¥348,000-
表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージなし常圧プラズマ装置! 微細な加工やスポット処理に最適!低温・電荷ダメージ無しのペン型大気圧プラズマ装置です!!溶剤不要のドライ洗浄で環境にも優しい表面処理が期待できます♪ 樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決!プラズマ装置は高価格なものが主流でしたが、ペン型大気圧プラズマ装置は、機能を絞り込む事で優れたコストパフォーマンスを実現。さらにHeやArを用いず窒素ガスのみをプラズマ化するためランニングコストも大幅カット! まずは無償デモ処理にて処理効果を確認下さいませ。 ※処理動画はYOUTUBE検索【ペン型大気圧プラズマ装置】
多機能型プラズマクリーニング装置。 サンプルテスト受付中 クリーニング・親水化対応、半田濡れ性向上、実装前処理に最適
- その他実装機械

【2020年1月15日~17日】第34回 ネプコン ジャパン -エレクトロニクス 開発・実装展-に出展いたします。
神港精機株式会社は、東京ビッグサイトで開催されます 第34回 ネプコン ジャパン -エレクトロニクス 開発・実装展-に出展いたします。 当社は、リニューアルした真空リフロー装置の実機を展示致します。 従来よりもパワーアップした装置を生でご体感頂けます。 他にも、SiC、GaNといった次世代デバイスにも対応したICPエッチング装置や、 次世代接合材に対応した還元雰囲気対応熱処理装置のパネル展示を予定しております。 皆様のご来場を心よりお待ちいたしております。 【出展製品】 ■プラズマクリーニング装置「POEM」(プラズマクリーナー) ■インライン式真空半田付装置 ■バッチ式真空半田付装置(フラックスレスリフロー 真空リフロー)
ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。
- エッチング装置
- アッシング装置
- その他半導体製造装置
様々な素材の親水化、メッキ、塗装、 コーティング、接着など品質向上、付着有機物の除去、化学変化促進など様々な用途で効果あり
- プラズマ発生装置

表面改質展2023に出展します
東京ビッグサイトにて2023年11月29日(水)~12月1日(金)まで開催される「表面改質展2023」に出展します。関東学院大学ブースにて、実機を持ち込んでのAETP大気圧プラズマ装置の展示をしております。デモンストレーションもご覧いただけますので、是非ともご来訪ください。
【「におわない」分煙、はじまる】用途に合わせて選べるプラズマ脱臭機(設置工事不要)プラズマ放電で分煙を促進!
- 換気・排気
何かと物であふれてしまう実験室のちょっとしたスペースでも本格的な大気圧プラズマテストが可能!(教育現場・研究室向け)
- プラズマ表面処理装置
『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
- その他解析
高い処理能力と安全性を両立させた大気圧プラズマ装置
- プラズマ表面処理装置
H2(水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効果で親水性・濡れ性向上。ドライ・常温処理の新表面洗浄技術
- アッシング装置
- プラズマ表面処理装置
- その他表面処理装置
曲面・凹凸のあるワークへの照射が可能!従来の大気圧プラズマでは出来なかった高さからプラズマを照射することが出来ます!
- その他電子部品
- その他FPD関連
- ファインセラミックス
微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応 省エネ・短タクトプロセスを実現 リフロー動画掲載
- その他半導体製造装置
大気圧Plasma装置の開発・製造・販売累計1200台以上の実績(2021年)! 高密度プラズマ発生が可能な大気圧プラズマ装置
- プラズマ表面処理装置
大気圧プラズマ処理で品質と効率を同時に!表面の濡れ性の調整、接着性の向上に好適 【2023年10月機械技術要素展[大阪】に出展】
- プラズマ表面処理装置

プラズマ・サーモ・ヨーロッパ、医療部品の3次元洗浄の開発
共同研究開発プラットフォームとなる、「TSIAS」プロジェクト(Innovative Surface Treatments for Health Applications)が ECP社(フランス)主導で立ち上げられました。 このプラットフォームの目的は、特に医療および製薬分野に特化した、重要な部品の洗浄に関するテストと専門知識を提供することです。 プラズマ・サーモ社のKayen HDRFを使うことにより、この重要な部品の表面の3次元処理・洗浄が可能になります。
様々な付着対策として効果あり!高い離型特性と耐久性を併せ持つプラズマコートで、製造ラインの課題を解決します。
- 加工受託
プラズマ処理効果の「見える化」を実現!プラズマインジケータ(TM) PLAZMARK(R)で是非ご体感下さい!
- そのほか消耗品