SUSS MicroTec 手動マスクアライナMJB4
最大4インチ角基板対応 手動露光機
ズースマイクロテックMJB4は最大4インチ角基板まで対応可能な手動式マスクアライナ(露光装置)です。 シンプルな操作性、高精度アライメント、高い露光解像性が特徴です。 研究開発用途以外に少量生産用途でもご使用頂けます。
- 企業：兼松ＰＷＳ株式会社
- 価格：応相談
アライナ - メーカー・企業14社の製品一覧とランキング
更新日： 集計期間:2025年07月02日～2025年07月29日
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アライナのメーカー・企業ランキング
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- ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社 神奈川県/光学機器
- 兼松ＰＷＳ株式会社 神奈川県/産業用機械
- 株式会社三明 静岡県/産業用電気機器
- 4 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ 埼玉県/電子部品・半導体
- 5 株式会社ナノテック 東京都/試験・分析・測定
アライナの製品ランキング
更新日： 集計期間:2025年07月02日～2025年07月29日
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- マスクレスアライナー『MLA150』 ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
- マスクレスアライナー『uMLA』（マイクロ・エム・エル・エー） ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
- SUSS MicroTec 手動マスクアライナMJB4 兼松ＰＷＳ株式会社
- 4 マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』 株式会社三明
- 5 両面マスクアライナー ウシオライティング株式会社
アライナの製品一覧
16～30 件を表示 ／ 全 33 件
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ファイバアライナ『FA1000S_FP』
光ファイバ結合効率98%達成！東京大学古澤明研究室コラボレートモデル
『FA1000S_θ』は、自由空間伝播のレーザビームを非球面レンズを通した後に光ファイバに結合させるためのデバイスで、東京大学古澤明研究室の 全面的なご協力の基に開発されたファイバアライナです。 2軸のθ調整機構を持ち、特殊加工技術により光ファイバの入射ポイントを球体の中心から動かすことなく直交する2方向の回転軸を独立に調整することが可能です(球体ジンバル機構)。この新機構により従来非常に困難であったアライメントが簡単に行えるようになり、長期間の安定性も保てるようになりました。 【θ軸調整機構の特長】 ■球体ジンバル機構（特許取得済み 第5888775号） ・特殊加工技術により球体回転素子の中心にファイバの入射ポイントが一致する構造 ・角度調整を行っても入射ポイントはほとんど位置ズレを起こさない ■高い操作性と長期安定性を実現 ・調整ネジはバックラッシの非常に少ない0.15mmのファインピッチネジを使用 ・調整後に高い保持力を得られる当社独自のソフトロック機構を採用 ※詳しくはPDF（英語版）をダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：株式会社ファーストメカニカルデザイン
- 価格：応相談
卓上型アライナー『AA2568』
2相ステッピングモータを使用！5、6、8インチシリコンウェハ対応アライナー
『AA2568』は、5、6、8インチウェハ対応アライナーです。 ウェハセンタリングはポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持。 スピンドルで吸着、光センサによる位置決めが可能です。 2相ステッピングモータを使用しています。 【特長】 ■ウェハセンタリング：ポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め スピンドルで吸着、光センサによる位置決め ■コンパクト、クリーンなボディで清浄度アップ ■RS232C通信制御またはI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アテル株式会社
- 価格：応相談
卓上型アライナー『GA2400』
極単純構造で製造コストを削減！4インチウェハ対応エッジグリップ仕様アライナー
『GA2400』は、PEEK樹脂製クランプでウェハ外周を把持する エッジグリップ仕様アライナーです。 ウェハ外周を把持し、光センサによる位置決めが可能。 極単純構造にすることにより、製造コストを大幅に削減できます。 また、2相ステッピングモータを使用しています。 【特長】 ■ウェハセンタリング：PEEK樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め ウェハ外周を把持し、光センサによる位置決め ■2相ステッピングモータ使用 ■RS232C通信制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アテル株式会社
- 価格：応相談
HIWINウエハアライナー
高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現！ 2-12インチ対応の【HIWINウエハアライナー】
ハイウィンウエハアライナー(HIWIN Pre – Aligner)のHPAシリーズは3軸制御の製品で、 HIWIN単軸ロボットモジュールを採用し、高速、高精度、高剛性、高効率および省スペースを実現できます。 内蔵式コントローラーの設計(オールインワン)で、外にコントローラー配置及び配線スペースが不要で、同スペックのものでは、容積は業界最小です。 インテリジェントな透光性レーザーセンサーを搭載し、透明、半透明及び不透明等の物の輪郭が検知できます。直径最小2インチから、最大12インチまでのウエハ、ガラス等の対応ができます。
- 企業：ハイウィン株式会社
- 価格：応相談
UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー
光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、完全非接触ギャップ管理、オートアライメント機能搭載です。
当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。 弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。 露光方式としてプロキシミティ、ソフト、ハードコンタクトにも対応。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 【特長】 ■i線（365nm)、H線（405nm)に対応！（g線はご相談ください） ■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光 ■オートアライメント機能 ■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能 ■省スペース&簡単メンテナンス ■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適 ■超精密UVWステージ搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
- 価格：応相談
マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』
露光光源照度分布は±5％以内！デスクトップ型と自立型のモデルをラインアップ
『BA100/160/200』は、上下両面に高位置精度パターニングするマニュアル型の両面マスクアライナーです。 デスクトップ型でウェハサイズ4inの「BA100」と6inの「BA160」に加え、 自立型でウェハサイズ8inの「BA200」をラインアップ。 また、アライメント精度はTop-sideにて±2μm、Bottom-sideにて±5μm としております。 【仕様（抜粋）】 ■ウェハサイズ：4in/6in/8in ■露光光源照度分布：±5％以内 ■露光解像度 ・ソフトコンタクト：L/S 3μm ・ハードコンタクト：L/S 1μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社三明
- 価格：応相談
マスクアライナー
セミカスタムで最適なシステム構成にできます
汎用マスクアライナーES20シリーズ以外にウェハ両面同時露光タイプや裏面観察式マスクアライナーなど各種ラインアップしております。 フォトリソグラフィ関連装置およびMEMS研究開発支援装置など、お客様の仕様に合わせたカスタム装置開発製作も承っております。
- 企業：株式会社ナノテック
- 価格：未設定
光学式アライナ SAL38C2/SAL3361シリーズ
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応
光学式アライナ SAL38C2/SAL3361シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しており、制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。従来機種SAL46C6、SAL4484に対して約50%の省フットプリント化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
光学式アライナ SAL46C6シリーズ
シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め
150mm～300mm対応光学式アライナ SAL46C6シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
光学式アライナ SAL4381シリーズ
ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応
光学式アライナ SAL4381シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。オプションでGaAsウェーハやガラスにも対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
300mm対応エッジグリップアライナ SAL20C1シリーズ
エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能
300mm対応エッジグリップアライナ SAL20C1シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能です。ノッチサーチ後、指定位置へノッチを移動する為、持ち直し動作が入っています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
300mm対応光学式アライナ SAL30C1シリーズ
ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能
300mm対応光学式アライナ SAL30C1シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。シリコンウェーハのセンタリングとノッチを高速、高精度に位置決めし、薄物ウェーハのアライメントを実現します。薄物、反り、フィルム貼りに対応しますが、ワーク検出可否、位置決め精度につきましてはお問い合せ下さい。ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメントが可能です。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
大気環境用アライナ『OFH-4100シリーズ』
【50～300mmウエハ用】 業界最短アライメント時間を達成する吸着保持式アライナ
■上位コマンドにより、複数サイズのウエハアライメントが可能 ■オリフラ部及びノッチ部を指定位置に停止可能（ウエハID読取り利用） ■石英ウエハにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ダイヘン
- 価格：応相談
顕微鏡用レーザーアライナー
光学系の光軸調整時間を桁違いに短縮！照明部品の光軸中心が高精度にアライメント可能
当社では『顕微鏡用レーザーアライナー』を取扱っております。 倒立顕微鏡等のサイドポート側に全反射（エバネッセント波蛍光）照明等を 研究者が楽に組立てられるよう顕微鏡光軸を可視化し、照明部品の光軸中心が 高精度にアライメントできます。 顕微鏡対物ねじマウントを利用して、一般のレーザー光学系のアライメント用 にも使用可能です。 【特長】 ■光学系の光軸調整時間を桁違いに短縮 ■倒立顕微鏡等のサイドポート側に全反射（エバネッセント波蛍光）照明等を 研究者が楽に組立てられるよう顕微鏡光軸を可視化 ■照明部品の光軸中心が高精度にアライメント可能 ■顕微鏡対物ねじマウントを利用して、一般のレーザー光学系のアライメント用 にも使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社エヌアンドエヌ（N&N）
- 価格：応相談
