更新日： 集計期間:2025年04月02日～2025年04月29日
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SiO2、SiNxなど様々な下地膜に対しエッチング残渣無く加工可能なITOエッチング液！
『ITO-07N』 は､FPD製造プロセスにおけるアモルファスITO､IZO 等の高精細パターニングが可能な透明導電薄膜エッチング液です。 【特徴】 ■アモルファス ITO､IZO 等のパターニングに最適 ■サイドエッチングが少なく､高精細なパターンニングが可能 ■低発泡性で、破泡性に優れる ※詳細は弊社HP又は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
残渣除去性が高く、サイドエッチングが少ない精細加工が可能な銀合金エッチング液！
『SEAシリーズ』は、LCD やOLED の反射電極､配線形成プロセスにおいて､微細加工可能なAg薄膜加工向けのエッチング液です。 【特徴】 ■低レート化により、μm オーダーの微細パターニングが可能 ■エッチング形状が良好 ■ポリ ITO 下地膜との選択性有 ■パドル、スプレー方式のエッチングに適用可能 ※詳細は弊社HP又は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
Ti/Al/Ti積層膜のウェットエッチングが可能なAl積層膜エッチング液
Al積層膜を一液で処理可能なエッチング液です。 これまでウェットエッチングが困難だったTi/Al/Ti積層膜にも適用が可能です。 【特徴】 ■Ti/Al/Ti積層膜やMo/Al/Mo積層膜を一括でエッチング可能 ■KSMF-100はMo/Al/Mo積層膜の他、Mo単膜やAl単膜の低テーパーエッチング液としても使用可能 ■KSMF-260はTi/Al/Ti積層膜のテーパーエッチングが可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
各種金属材料との選択エッチングが可能なチタンエッチング液
CuやAu電極のバリア層や密着層の除去において、Tiの選択的なエッチングが可能です。 【特徴】 ■TI-8Aは各種金属との選択エッチングが可能であり、TiNやTiWのエッチング液としても使用可能 ■TI-101は過酸化水素水を使用せず、CuやAgとの選択エッチングが可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体デバイスやフォトマスクの材料として使用されるルテニウム用エッチング液
DRAMのキャパシタ電極やフォトマスクに使われるRu膜に対応したエッチング液です。 【特徴】 ■REC-01はRu膜を短時間でエッチングでき、RuO2もエッチング可能 ■REC-11はRuO4ガスの発生を抑制でき、ウェーハの金属汚染が少ない ■REC-11は数nm～のRu薄膜のエッチングに好適 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
・精度密度計により、エッチング液濃度を監視するエッチング液センサー ・エッチング液のモニターだけでなく、液中固形分濃度も
L-Dens 7400/7500 は液体の密度値測定に使用するプロセス測定装置です。 溶液、混合液の密度は、多くの場合濃度に正比例します。したがって、測定した密度値を濃度の測定に利用することができます。様々なサンプルに対する検量線の立ち上げが可能であり、そのために、耐腐食性の接液材質が選択可能です。 小型でコンパクトなデザインのため、質量流量測定システムなどに簡単に組み込むことができ、製薬、飲料、エタノール、化学、石油業界で使用されています。また、日本国内の防爆対応をはじめ、様々な規格に適応しており、高い精度と安定性が評価されております。 エッチング液のリアルタイムモニタリングのほか、剥離剤、洗浄剤のモニターにも使用されています。また、排液の再生・処理にも使用できます。
Al、Al合金膜を腐食することなく、Siを良好に異方性エッチングします。
本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 平滑なエッチング面の形成が可能です。 ・ デバイス表面の金属開口率に依存せずエッチングが可能です。 ・ エッチング液の劣化が少ないです。 ・ 前処理液として、Pure Etch ZE series（ Alダメージレス絶縁膜エッチング液）の使用を推奨します。 キーワード：ウェットエッチング、シリコン異方性エッチング
AlまたはAl合金膜を所望のテーパー角でエッチングします。
本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 所望のテーパー形状（テーパー角）を形成します。 ・ Al、Al合金膜を良好にエッチングします。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、アルミニウム
AlGaInP膜の表面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。
本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 所望の凹凸を形成し、光取り出し効率を向上させることが可能です。 ・ 低温、短時間での処理が可能です。 ・ 凹凸形状の面内均一性が良好です。 キーワード：フロスト処理、凹凸、LED、発光ダイオード、アルミニウムインジウムガリウムリン
Agナノワイヤー膜を良好にエッチングします。フルエッチング用とパーシャルエッチング用を取り揃えています。
本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 低温、短時間での処理が可能です。 ・ 組成や処理条件を調整することにより、フルエッチングすることも可能です。 キーワード：ウェットエッチング、銀ナノワイヤー、AgNW、SNW
Ag単膜、APC（Ag-Pd-Cu合金）などのAg合金膜単膜、またはAg/透明導電膜の積層膜エッチングに最適なエッチング液です。
本製品の特長は以下のとおりです。 ・ エッチングレートが安定しています。 ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、銀、APC
Cu、Cu合金膜を良好にエッチングします。標準的な薄膜のエッチング用とCu/Ti積層膜の一括エッチング用を取り揃えています。
本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 良好な順テーパーを形成します。 ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、銅
