更新日： 集計期間:2026年09月16日～2026年10月13日
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熱源(溶射装置)×溶射材料×溶射膜×基材の多彩なパラメータで、機械・生産設備等のお困りごとにお応えする表面処理技術です。
『溶射』とは、目的に応じて調整した溶射材料(金属やセラミックスなど)を 電気やガスなどの熱源により溶融、軟化させ、微粒子状にして対象物表面に 衝突させて、偏平につぶれた粒子を凝固・堆積させることにより皮膜を 形成する表面処理技術の一種です。 生産設備の部品の長寿命化や形状復元によるコスト軽減、部材の 表面改質による生産性向上など多くの機能を付与することが可能。 お客様の様々な課題に対し、当社の溶射技術でご提案、解決してきた事例が 多数ございます。まずは試作からご依頼ください。 【特長】 ■材料選定の自由度が高い ■膜設計の自由度が高い ■材料・膜設計に応じた溶射プロセスが選べる ■さまざまな基材・形状に皮膜形成できる ■製品ニーズに対応したオーダーメイド仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
様々な付着対策として効果あり！高い離型特性と耐久性を併せ持つオグナスで、製造ラインの課題を解決します。
『オグナス(超非粘着処理)』は、金属、サーメット、セラミック等 の溶射皮膜の高硬度、耐久性とシリコーン樹脂の極度に高い非粘着性を有し、 高グリップの摩擦特性も持ち合わせています。 オグナスはアルミ、ステンレス、鉄などの金属系部品はもちろん、 CFRP部材へのコーティングも可能です。
研修・勉強会用に好評！ ステンレス鋼の基礎知識と表面処理（電解研磨、フッ素樹脂コーティング）の基本がわかる解説書
「ステンレス鋼と表面処理（電解研磨・フッ素樹脂コーディング）の情報満載マル秘ノート」は、日東金属工業で使用しているステンレス鋼やステンレス容器の電解研磨、フッ素樹脂コーティングについてご紹介する資料です。 ステンレス鋼については、記号でSUS304、SUS316、SUS316Lを解説しています。 弊社ではこのステンレス鋼板で容器を作り、主に製薬メーカー様や化粧品、食品、化学薬品製造メーカー様などにご提供しております。 電解研磨については、弊社で使用しているステンレス鋼（SUS304、SUS316L）の電解研磨を行なう場合の方法や、電解研磨を行なうことにより示す特性などをご紹介しています。 また、フッ素樹脂コーディングについては、フッ素樹脂コーディングの特性や材料の選定について解説しています。 ※本資料は【ダウンロード】よりすぐにご覧頂けます。
ガラスや金属などに容易に成膜が可能なコーティング剤
『SAMLAY(R)』はフッ素などを含まないハロゲンフリーにも関わらず、 優れた撥水性を有したコーティング剤です。 各基材（ガラス、金属、シリコン、金属酸化物等）へ適応が可能です。 また、SAM（自己組織化単分子膜）を形成するため、非常に薄膜で外観に 影響を与えません。 【特長】 ■ウエット法：真空装置が不要。大基板への成膜も容易 ■高速成膜：数分でSAM形成が完了 ■安定性：繰り返し使用可能で長期的な活性を保つ ■ハロゲンフリー ■適用基材：シリコン、ガラス、金属、金属酸化物 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
お預かりする加工部品は一品一葉、ご依頼頂く際の注意ポイントをまとめました。
■薄い板もの、肉薄のロール ・前処理のショットブラストや焼成時の熱処理により反りや歪みが出ることがあります。 材質、形状、サイズにより影響度が異なりますので事前にご相談ください。 ■溶接部 ・溶接部はスポット溶接の場合、歪みが出たり破損してしまう場合がありますので 可能な限りビード溶接を施してください。 ■中空構造(ロールなど) ・熱処理が伴う工程がありますので、中空ロールの場合はエア抜き用の穴が無いと ロール中の空気が膨張し、ロール溶接部の破損、焼き嵌め部の脱落などが発生する事が ありますので中空ロールの場合、必ずロール側面等にエア抜き穴加工をお願いします。 ■基材の焼け色 熱処理を行ないますので金属基材表面に焼け色が付く事があります。 ■治具保持部 塗装・乾燥工程上、基材を専用治具(フック等)で吊り下げたり固定し加工するため、 治具と接する部分は皮膜がのらない箇所が発生いたします。 ※全面コートの場合穴加工が必要になります。 ■マスキング 溝部や穴部のマスキングは形状や大きさにより困難な場合がありますので、 事前にご相談ください。
プロファイルやケーブル、射出成形部品の処理に使用可能！高電圧放電の原則に基づいています
『SpotTEC』は、低い投資コストとランニングコストで、3次元成形／ 押出プラスチック部品の表面やプロファイルなどの前処理を簡単に 実行できる高周波スポットジェネレータです。 高周波数領域における高電圧放電の原則に基づいています。 放電ヘッドに組み込まれた2つの電極間で発生した放電をブロワーが 処理対象基材に押し付けるため、カウンター電極の用意が不要。 当システムにはシングル電極ヘッド仕様とデュアル電極ヘッド仕様があり、 その他のバージョンはご要望に応じて提供します。 【特長】 ■使用が簡単 ■メンテナンスが容易 ■シングルヘッドまたはデュアルヘッド構成 ■エアフロー制御 ■LEDによる作動状況の確認 ■処理の柔軟性 ※詳しくは関連リンクページをご覧ください。 ※お問合せは下記リンクからお願いいたします。 https://www.plastic-surfacetreatment.com/contact/
従来のTiNやAlCrNコーティングよりも飛躍的な長寿命化を実現！
ICSのコーティングは、設備のメンテナンス工数の低減などに寄与いたします。 ■Hi-Coat γの特長 ・高硬度 ・低摩擦 ・高密着 ・表面粗度を大幅低減 ・耐熱性 1000℃以上 ホブ、ピ二オンカッター等の寿命が約3倍向上！ カタログには他表面処理との特性の比較のデータもございます。 詳しくは資料ダウンロードまたは、お問い合わせください。
ユニックスならではのオリジナリティを追求！ユニックスのウレタン
ユニックスのポリウレタンコーティング『ユニレタンシリーズ』は、高い特性と機能を確立した多品種の「スプレー式コーティング技術」で常温により施工いたします。 金属をはじめ、ゴム、プラスチック、コンクリート、木材など幅広い素材の様々な形状の機器、装置、施設、部品への施工が可能で、その耐用期間を大幅に伸ばすだけでなく、機能の維持、保護による大幅な経済効果が期待できます。 【特徴】 ○自社内製工場によるウレタンコーティング ○現場出張コーティング施工ができる ○研究・開発に力点を置き様々な分野に最適な原料を選択 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ものづくりを支えるコーティング！幅広い業界で採用されています
「DLC」は、〈Diamond Like Carbon〉の略で、炭素(カーボン) を主体とした薄膜を、金属の表面などにコーティングする表面処理技術です。 切削工具・金型をはじめ、自動車部品や機械部品、医療部品など、 ものづくりを支えるコーティングとして、幅広い業界で採用。 ダイヤモンドとグラファイトなどの構造が混在するDLCは、チタン系や クロム系などの一般的なセラミックコーティングと比べ、硬くて滑りがよく、 「耐摩耗性」「非鉄金属の耐凝着性」などの特性に優れています。 【特長】 ■数ミクロンの膜厚 ■硬さのバリエーションがある(1000～7000Hv) ■滑りのよさに優れる ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
一個、少数ロッドからでも請け賜ります。
＜特徴＞ ● 耐摩耗・防音性に優れ、加工場所を選びません。 ● 素材や機材をコーティングで守ります。 ● 常温で硬化するため素材を選びません。 ● ご希望のカラーが必要な場合は、ご相談に応じます。 ● 基材を選びません（水と空気以外はすべて加工できます）。 ＜メリット＞ ● 自社加工ができますので納期が自由自在です。 ● 自社加工することにより外注加工費送料を節約することができます。 ● 材料が安価のため、経費を節減することができます。 ※ 自社加工が不可能な大型基材、その他多量の場合の加工は、引き受けいたします。 ＜グレード＞ CD9000：食品、衣料品、電子部品等の搬送機器、その他の表面処理に最適。 CD9100：CD9000よりも約10％高度をアップさせ、鋭利な形状にも適用できる。また滑り性能も向上したタイプ。 CD9000NE：CD9000に静電気対策を付加したタイプ。 なんにでも挑戦する企業です。海外進出にもお手伝い致します。（海外輸出実績各種あり） ※現地施工及び国内外問わず加工指導も行います。HPまたは電話でご相談下さい。
ロボットを停滞させないための摺動性や耐摩耗性に優れるコーティングで搬送の課題を解決します。
・ロボットでの搬送ライン自動化にはスムーズなラインの稼働が必要になります。 ■表面処理が求められている現場 ・製造効率アップのため、高速化を目指している工場 ・高速で動くロボットに対応して搬送ラインが高速化し、搬送物の詰まりや流れ にくさが懸念される現場 ■革新のポイント ・搬送ラインのガイドやシュートなどに、すべりを良くする表面処理を施すこと で、搬送物が詰まったり、流れにくくなるようなトラブルを防ぎます。 ・例えば、不安定な形状のものをガイドで支えながら送るラインや、グリップ力 のある製品の搬送工程では、コーティングによって接触面のすべり性を変える ことで、搬送をスムーズにし、突然のライン停止が起きる可能性を低くします。 ■ロボット搬送トラブル改善コーティング ・バイコート(R) 「すべり性＋耐摩耗性」 ・接触面積低減凸面コーティング 「すべり性＋接触面積低減」 ・テフロン(TM)フッ素樹脂コーティング 「すべり性＋製品傷つき防止」 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くかお気軽にお問い合わせください。
耐薬品性が優れたフッ素樹脂を流動浸漬でコーティング！
優れた耐薬品性を発揮し、従来にないロングライフ、基材処理工程のある現場で最大限に能力を発揮します（最大膜厚1ｍｍ製造可能） フッ素樹脂ロールは近年高速化が進む中、機能性フィルムや金属箔等の前後工程ラインの酸やアルカリ溶液等の処理工程において、従来「ガイドロール」「液切りロール」「搬送ロール」としてメッキロール・硬質ゴムロール等が多用途に使用されておりました。しかし、各工程において搬送ロールからの基材への汚染(特にゴムロールからの配合物質の抽出)、液切れ不足による溶液の持ち出し、擦り傷防止の改善を目的とする事に使用されるロールとして製作致しました。また仕様用途に於いて導電性フッ素樹脂塗料を使用した「導電性フッ素樹脂ロール」も取り揃えております。 フッ素樹脂ロールとしてロングライフを目的にフッ素樹脂塗布膜厚を0.3mm〜1mmとし、使用する工程ではロール表面の粗面を任意に調整出来ます。（表面粗面Ra-0.2〜0.01）フッ素樹脂被膜ロールは、擦り傷防止や基材へのストレス低減を計り、生産工程における高速化に対応出来る様ロールとして設計しております。
耐熱200℃まで！金属ロールやCFRPロールにも加工可能な『G-1137』
大阪ガスケミカル株式会社で取り扱う『G-1137』の事例をご紹介いたします。 ロールへの接着剤等の付着を防止したい際は、粘着テープが全く付着しない 当製品が適しています。 大きさは直径2,000mm、面長9,800mmまでのロールに施工が可能なので、 金属ロールはもちろん、CFRPロールにも施工ができます。 シリコーンコーティングには数メニューあり、用途によって下地処理・膜厚・ 表面粗度に違いがございます。 好適な組み合わせをご提案いたしますのでまずはご相談ください。 また当社では、ご希望の方は60×40程度のサンプルを郵送させていただきますので お気軽にお問合せください。
表面粗さ0.004μm！優れた表面平滑性を実現したコーティング
『DLC-GTコーティング』は、アークイオンプレーティングの弱点である ドロップレット（マイクロメートルレベル）を大幅に低減し、優れた 表面平滑性を実現したコーティングです。 基材の表面粗さを損なうことなく、金型やアルミニウムなどの軟質金属の 加工工具に効果を発揮します。 ガラスレンズ成形金型のような超鏡面への適用も可能です。 【特長】 ■アルミ、銅加工の耐凝着対策に有効 ■高硬度 ■膜厚0.7μm以上 ■表面粗さに優れる ■切削工具、マイクロドリル、レンズ金型、刃物、金型に最適 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
WPC処理との複合処理で、密着性や潤滑性、オイル保持力アップ
DLCは薄膜（数ミクロン）であり、低摩耗抵抗性（高硬度）、低摩耗係数耐凝着性、赤外線透過性、デザイン性、生体親和性、ガスバリア性、耐腐食性など、様々な機能を持つため、多くの分野で注目されています。しかし一方でDLCはアルミとの密着性が低く、あまり相性は良くないとされていました。弊社では、エンジンピストンなどに使用されているアルミ製パーツのフリクション低減のため、DLCを適用可能とする技術の開発に着手。神奈川県産業技術センターとの共同開発によって、アルミと相性の良い高密着型DLCを完成させました。
様々な金属構造物の重防食を目的とした耐食性、耐久性を有する 丈夫なＰＶＣライニング加工技術です
パイプなどの金属表面を樹脂で覆い、防蝕加工します。ピンホール、エアーの抱き込みがなく、強度を維持。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『オグナス』はあらゆる粘着物に有効！くっついて困るをコーティングで解決します。
『オグナスOGNAS(超非粘着処理)』は、金属、サーメット、セラミック等 の溶射皮膜の高硬度、耐久性とシリコーン樹脂の極度に高い非粘着性を有し、 高グリップの摩擦特性も持ち合わせています。 『G-1137』はセラミック溶射とシリコーンの複合コーティングです。 ガイドローラー、受け台等の様々な部品の非粘着として実績があります。 プラズマコートはアルミ、ステンレス、鉄などの金属系部品はもちろん、 CFRP部材へのコーティングも可能です。 ※動画は音楽が出ますのでご注意ください。
指紋や各種汚れの付着が低減され、付着した汚れの拭き取りが簡単になります。高密着性の撥水撥油処理剤 低価格タイプ ※サンプル進呈
カップリング剤タイプ（素材と結合反応するタイプ）の比較的安価な、防汚･指紋付着低減コーティング剤。 ガラスや金属に高密着で耐久性のよい撥水撥油表面を形成いたします。 PFOA対策品です。従来のC８シランカップリング剤の環境対策品として開発されました。 【特徴】 ■指紋や各種汚れの付着が低減され、付着した汚れの拭き取りが簡単になります。 ■高密着性皮膜のため、ティッシュなどで拭き取りした後も機能は継続的に得られます。 ■表面の動摩擦係数(μ=0.12以下）が低く、ドライ潤滑面が得られます。 ガラス、プラスチック、金属などの各種素材に常温乾燥で化学結合し 高密着性・高硬度（鉛筆硬度6H～9H)の透明防汚性皮膜を形成 ■プラスチックなど、ガラス･金属以外の素材に塗布する場合は 前処理として付属の専用プライマーコートをコーティングすることで 同じような高密着･高硬度防汚皮膜を形成される ■溶剤にIPAを使用しており比較的低価格です。 ※無料サンプルご希望の方は、お問い合わせ内容に「サンプル希望」とご記載下さい。
30年を超え、受託薄膜加工一筋！豊富な経験と確かな技術に培われた加工実績
東邦化研株式会社の表面処理薄膜コーティング受託加工サービスの加工実績を紹介いたします。 単金属膜をはじめ、酸化膜、炭化膜、窒化膜、合金膜、光学膜、またこれらの多層膜（積層膜）と様々な膜種に実績を残しています。 【適用分野】 ■電気・電子部品：電極膜・絶縁膜・表面保護膜・透明導電膜など ■真空装置部品：汚染防止・絶縁膜・ボンディングメタルなど ■航空宇宙関連：軽量化・防蝕・固体潤滑など ■機械部品・金型：耐摩耗性・離型性・防蝕・表面硬化など 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【フィルム搬送の品質と安定稼働を両立】導電性コーティングで静電気を逃がす！フィルムの蛇行・シワ・擦り傷を防ぎます。
各種プラスチックフィルム、光学シート、包装材などのコンバーティング・製造工程で使用される、金属製搬送ロール（ガイドロール、パスロールなど）向け導電性帯電防止コーティングの技術事例です。 ロール外周面に対して均一な膜厚で焼き付け処理を施し、高速搬送時に発生する静電気トラブルを根本から解消します。 【導入による主な改善効果】 ● 吸着（貼りつき）の抑制と搬送安定化 ロール表面に確実なアース経路（導電性）を付与。静電気の蓄積を防ぎ、電荷を速やかに逃がすことで、フィルムの引き連れ、蛇行、シワ、スリップなどの搬送不良を未然に防止します。 ● スタチックマーク・塵埃付着の防止 静電気放電によるフィルム表面の外観キズ（スタチックマーク）や、周辺の微細な塵・ホコリの引き寄せを防止。クリーンルームでの光学フィルム・電子部品用シートの品質・歩留まり向上に直結します。 ● 相手材への攻撃性抑制（擦り傷防止） 帯電防止機能に加え、適度な表面滑性と硬度を兼ね備えた塗膜を形成。フィルムとの摩擦ストレスを和らげ、デリケートな製品表面の引っかき傷や擦り傷を防ぎます。
素材に新たな特性を！各種材料による形成のニーズに応える表面処理受託加工
東邦化研株式会社では、イオンプレーティングや真空蒸着に加えて、スパッタやP-CVDによる各種表面処理の受託加工を長年行っております。 試作開発案件から、中・小ロットの生産案件までと、幅広く対応させていただいております。 単金属、酸化物、窒化物、炭化物等、各種材料による薄膜形成のニーズにお応えいたします。 【サービスの特長】 ■試作、小ロットにも対応 ■各種材料に対応 ■仕様・材料・プロセスに合った装置を使い分け ■環境に配慮 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
品質マネジメントシステムを継続的に改善し、経営基盤の強化に努めます。
冨士レジン工業株式会社は、高分子材料（プラスチック）を使用した耐食技術のパイオニアとして、常に先進の製品を提供し、わが国産業界の環境保全に耐食ライニング／コーティング分野で貢献してまいりました。 独創技術と経験により、新しい耐食技術の提供を使命と考え、皆様から提案頂いたテーマに情熱を注ぎ、ベストパートナーの精神で問題解決に努め、信頼を築いていきます。 【事業内容】 ○合成樹脂ライニングの施工 ○強化プラスチックス（ＦＲＰ）製機器の設計、製作 ○合成樹脂ライニング材料の設計、製造販売 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
加工からコーティングまで一貫して対応致します。
当社では線材加工も行っております。 食器洗い乾燥機のかごなどの加工が得意です。 ※詳しくは、お問い合わせ下さい。
熱的特性に優れた性能を発揮。
ＪＣＣの「ＴｉＡｌＮセラミックコーティング被膜」は、独自のＰＶＤイオンプレーティングる特殊プロセスにより成膜され、高い耐熱性・耐酸化性の特徴を持ち、高硬度材の高速切削、またはドライ切削に高い評価をいただいています。 さらに、耐熱性や色調といった特性により、アルミダイカスト金型や機械部品への応用範囲が広まっています。 【特徴】 ○高硬度で、耐熱性に優れた被膜 ○超硬合金刃物へのコーティングに適する ○熱処理（４０－６３ＨＲＣ）、高粘性材の切削加工に適する ○アルミ合金等非鉄金属切削に適する ○耐熱性と色調等の特性を活かした機械部品、金型等に適する ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、 お気軽にお問い合わせください。
業界の信頼に応える商品群(金属ばね・線材加工)を取り揃えています。【※JIS規格１級以上のものにも対応】
当社は家電製品、自動車向けを中心に、金属ばね（線ばね、板ばね）、綿材加工、組立、表面処理まで一貫生産体制でベストのＱＣＤＥを提供します。 I T化を推進し、ＳＣＭ、ＥＤＩ にも対応、また中 国杭州工場を活用しグローバルベスト コストを追求します。 国内又は中国で製造の場合の見積りの比較が可能です！ 【お客様のお声】 「JIS規格１級以上のものに対しても製造ができ 納期通りに納品させていただいております。」という声を頂いております。 是非、ご相談・お問合せ下さい。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
耐食性に優れたセラミックスコーティング！
▶表面処理・溶射・コーティングならトーカロにお任せください！ SUPER ZACは緻密なセラミックスコーティングで、腐食性のガスや液体、溶融金属から基材を保護します。 耐熱性、耐摩耗性に優れ、従来ガラスライニングや樹脂ライニングでは耐えられなかった温度域での腐食環境下でも優れた耐食性を発揮します。 また、母材の膨張・収縮に対する追随性にも優れ、熱膨張係数の高いオーステナイト系のステンレスなどへも適用が可能です。 同シリーズにCDC-ZACなど、特徴の異なるコーティングもございます。 詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 【資料ダウンロードはこちら】 https://www.tocalo.co.jp/ja/contact/download/tpr024-01.html?source=ipros
表面処理（コーティング）での工程カイゼン事例を紹介！成型時間の短縮により増産に成功！そのヒミツとは！？
【増産に成功したヒミツを一部公開！】 ◆お悩み・ご要望◆ ある自動車部品の成型工程で、増産に対応するため成型時間を短縮したいという要望でした。 従来より早い時間で金型から樹脂を脱型しようと試みたところ、まだ樹脂が十分に固まっておらず、イジェクタピンが刺さってしまうトラブルが発生。 しかしこの金型は、厳しい寸法管理を求められており、熱歪みなどわずかの寸法変化も許されないという条件。従来のテフロンコーティングでは加工温度が400℃と高く、寸法精度も十分ではなかったため、選択できずという状況でした。 解決した表面処理は『バイコート(R)』 ◆採用の経緯・効果◆ バイコート(R)の中でも「NYK-52-T」は、加工温度も200°程度と低く非常に優れた離型性を備え、柔らかい状態の樹脂でも、くっつくことなく滑らかに離型します。 寸法精度も良く、プラスマイナス５μｍの公差でコーティングが可能な製品。精密金型のように寸法が厳しいものにも心配なくコーティングができるのが大きな特長です！ その後の進捗はお問い合わせ下さい。 ※詳細はカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせ下さい。
【ダウンタイム短縮】強粘着ラベルの糊固着を強力防止！溶剤を使った手作業清掃の手間を減らし、設備稼働率と耐久性を大幅向上！
ラベル自動貼り付け工程（ラベラー）において、大きな課題となるのが「搬送・保持部品への粘着剤（糊）の付着・堆積」です。長時間稼働に伴い、受けブロックやローラー等の金属部品に露出した糊が固着し、ラインのチョコ停や長時間の清掃作業を引き起こしていました。従来は有機溶剤やスクレーパーを用いた手作業清掃を実施していましたが、長時間のダウンタイムと作業者の大きな負担が課題となっていました。 この課題を根本解決するのが、"超"非粘着コーティング「NonStick Coating」です。 ●導入による主な改善効果 ・清掃メンテナンス頻度の劇的低減 非粘着性能により糊が堆積しにくく、ウエス等で軽く拭くだけで除去可能に。 ・ライン停止（ダウンタイム）の短縮 清掃や部品交換に伴う設備停止時間を削減し、工場全体の生産性を向上。 ・耐久寿命が3倍以上に向上 過酷な環境下でも非粘着効果が長持ちし、トータルコストを削減。 現場の清掃負担を軽減し、連続稼働時間の最大化に貢献します。
離型済ナシで生産効率が50％改善！離型性に優れたコーティング
下記のような悩みにお困りの方！ ・サビが出て困っている ・腐食性ガスにより部品が破断する ・金属表面が腐食し製品外観に不具合 ・スクリュの寿命を延ばしたい ・カドミメッキの代替技術 等でお困りの方、耐食性コーティング施すことで、お悩みを一気に解決します！！ 械や装置の腐食は事故の原因となることが多いので、耐食性コーティングを施すことで防食効果が得られます。 ◎詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。
【キズ・コンタミ対策】優れた非粘着性でスラリーの乾燥による固着を抑制！高耐食＆高純度被膜で歩留まり向上に貢献。
半導体製造のCMP（化学機械研磨）工程において、ウエハの歩留まり低下を引き起こす大きな要因が「固着スラリーの脱落によるスクラッチキズ」と「薬液腐食によるイオン汚染（金属コンタミ）」です。 ●固着したスラリーによるスクラッチトラブル 装置部品へ飛散したスラリーが乾燥・固着して剥がれ落ちると、研磨面に巻き込まれてデリケートなウエハ表面を傷つけてしまう場合があります。 ●薬液腐食によるコンタミ 強酸・強アルカリ薬液による基材の腐食は、回路特性を破壊する汚染不純物の発生源となります。 ●スラリーの固着防止・部品の耐食性向上に 当社の「フッ素樹脂 PFAコーティング」は、これら品質課題を解決する高機能表面処理ソリューションです。 優れた「非粘着性・撥水性」により、粘度の高いスラリーの付着を防止。万が一乾燥しても固着せず、容易に除去可能です。さらに、薬品に対して不活性な高い「耐薬品性・耐食性」を備えており、金属溶出やイオン汚染のリスクを低減します。高純度かつ滑らかな被膜がパーティクル発生も抑え、CMP工程における良品率の最大化に直結します。
