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モールドをワークに転写する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置。
対象ワーク 材質 シリコン，GaAs， サイズ 最小φ１２．５mm 最大φ１００mm 固定方法 抑え部品により機械的に固定可能とすること レプリカモールド 材質 PDMS熱可塑性樹脂 サイズ φ１２．５mm 固定方法 押さえ部品により，機械的に固定可能とすること 転写機構部 駆動源 パルスモータ 荷重センサ 圧電素子 (分解能1 N) 荷重 最大 １kN まで設定可能とすること 荷重設定 パラメータ入力 （最大１KN） 加圧分解能 0.1 μm
モールドをワークに転写する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置
・表裏アライメントマーク用光学系500万画素カメラ。 ・オリフラ用光学系200万画素カメラ。 ・XYZアライメント軸分解機能0.1µ。 ・θ軸分解機能8秒。
大学や研究機関、電機メーカーに多数納入実績！研究開発機器の製造販売を行う企業
明昌機工は、レーザー機器やナノインプリンターなどの製品の 製造販売を行っている兵庫県の会社です。 他にも、放射線測定機器や各種超高真空機器、ナノテク機器、 半導体・液晶パネル製造機器、各種電子応用機器などを取り扱っています。 大学の研究所や研究機関、電機メーカーなどに納入実績が多数あります。 【事業内容】 ■中性子・放射光・レーザー・赤外線関連機器の設計・調達・製造・納入 ■半導体製造装置の設計・調達・製造・納入 ■ナノテク機器の設計・調達・製造・納入 ■各種超高真空機器の設計・調達・製造・納入 ■産業省力化機器の設計・調達・製造・納入 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
製造の短納期化に準拠した測定システムを導入
木型・樹脂型不要の3次元ダイレクトプリントで、お客様の初期投資リスクを低減します。 更に、3次元データから直接砂型をプリントアウトすることで、納期を大幅に圧縮します。 【特徴】 ○レーザー照射測定による自由曲面評価の実現 ○3次元モデルとの比較が可能 ○出図前でも評価ができる ○非接触スキャニングによる測定の超短納期対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ライズワンの精密転写技術を盛り込んだ装置のラインナップです。
弊社では、お客様の自動化、省力化、既存設備のアップグレードというご希望に対応すべく製作しております。 ◆ロール加圧式インプリント装置：大面積モールドからガラス基板へのUVインプリントを行う装置(転写方式 - 転写ローラーによる加圧方式、転写速度 - 0.1mm/秒～50.0mm/秒) ◆インプリント装置：モールドからウェハに転写する装置(つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修) ◆ミニマルインプリント装置：モールドをワークに転写する装置(つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修) ◆インプリントステッパー：ナノ単位の高精度な位置決めを行い、モールドからウェハに複数回に分けてUVインプリントを行う装置(つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修)
