バッチ式プラズマ処理装置
【高速・均一・両面処理】メッキ前処理、高速通信用低伝送損失基盤等の貼付け前処理に。
「バッチ式プラズマ処理装置」はLCP・PTFE等の貼付け前処理、デスミア・ドライフィルムの残渣除去に使用可能です。 世界各国の量産工場で200台以上稼働実績があります。 <製品特長> 1.高速、高均一 両面処理 2.豊富な実績 3.面内均一冷却 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。
- 企業:株式会社日立ハイテク
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年05月28日~2025年06月24日
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【高速・均一・両面処理】メッキ前処理、高速通信用低伝送損失基盤等の貼付け前処理に。
「バッチ式プラズマ処理装置」はLCP・PTFE等の貼付け前処理、デスミア・ドライフィルムの残渣除去に使用可能です。 世界各国の量産工場で200台以上稼働実績があります。 <製品特長> 1.高速、高均一 両面処理 2.豊富な実績 3.面内均一冷却 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。
導電性・非導電性を問わず、強力で均一な表面改質/表面洗浄を実現します
『PlasmaDyne Pro』は、プラスチック・ゴム・エラストマー・繊維・ 金属・ガラス・セラミックなど様々な素材の印刷/接着/濡れ性の問題を 解決する大気圧プラズマビーム式表面処理装置です。 強力な表面処理能力が、品質の改善や不良率の削減に寄与。 射出成型や押出成形品の溝や小さい空隙、容易に接触しにくい部分も 処理できます。 【特長】 ■放電ショックの危険が無いポテンシャルフリーのプラズマビームを生成する ■空中放電によるショック、感電の危険が無く、オゾンも発生しない ■手動でも使用できる ■インライン化も容易 ■処理ヘッドは静止型、回転型から用途に合わせて選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大気圧でフィルム・基板等の高速連続処理が可能!【サンプルテスト受付中!】
エア・ウォーターの「大気圧プラズマ表面処理装置」は工業ガス会社の知見から、様々な表面改質に提案が可能です。処理対象を電極の間に挿入するダイレクト方式と、電極間で発生したプラズマを対象に吹き付けるリモート方式をラインナップしています。 【特長】 ◆工業ガス会社の知見から、様々な表面改質に提案が可能 ◆窒素を主としたガスの使用で、低ランニングコストを実現 ◆G8サイズまでの大型基板対応 【主な用途】 ◎液晶基板の洗浄 ◎フィルムの濡れ性改善、接着性改善 ◎プリント基板前親水処理 ◎樹脂基板塗工前処理等 ◎プリンテッドエレクトロニクス関連材料...など多数実績あり 【受付中】 ☆リモート型・ダイレクト型共にサンプルテスト可能 ☆1250mm幅までのフィルム両面受託処理可能 【詳しくはカタログダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください】
アジア有力企業において多数の実績あり。
プラズマ発生部と処理部を完全に乖離します。 処理はラジカル成分のみで実施します。 ■処理対象 対象ワーク表面の改質(接合強度の向上、密着性の向上) 対象ワーク表面の有機物除去 【特徴】 ■電子・イオンのアタックがなくラジカルのみでの化学的な処理のため処理膜へのダメージを低減 ■電極形成後の導電フィルム・ガラスの処理に最適 ■各種反応ガスの使用が可能: CDA(Clean Dry Air) N2 O2 Ar等 詳しくはお問い合わせください。
ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置
本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング(灰化除去)や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。
高性能卓上システム!簡便な操作のタッチスクリーンと判りやすい指示表示
『V6-G』は、少量量産から研究開発までの広い製造範囲をサポート可能な 真空プラズマ表面処理装置です。 装置は表面処理、高度クリーニング及び活性化に用いることが可能。 内蔵の専用制御PLCは、自由に設定を行うことの出来る各プロセスと 各パラメーターを保存しておくことができます。 【特長】 ■高性能卓上システム ■少量量産から研究開発までの広い製造範囲をサポート可能 ■装置は表面処理、高度クリーニング及び活性化に用いることが可能 ■内蔵の専用制御PLCは、自由に設定を行うことの出来る各プロセスと 各パラメーターを保存できる ■簡便な操作のタッチスクリーンと判りやすい指示表示で簡単操作 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行う事が出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置。
WLPは多様化したアプリケーションに対応する為、RFパワーを下部電極に印加(RIE方式)又は、上部電極に印加(DP方式)を実現しております。 6~8インチのSi、Poly-Siなどのエッチングやポリミド系樹脂のエッチング及びフォトレジストのアッシングなど多種多様なプロセスに御利用頂けます。
プラスチックフィルムの濡れ性・接着性改善など多用途で活躍。コロナ処理より高い表面エネルギーが得られ、経時劣化なく長期間性能を保持
『Protean1』は、食品包装フィルム、光学フィルム、不織布、 金属コイルなど多用途で活躍する大気圧プラズマ表面処理装置です。 窒素ベースの混合ガスにより、基材の表面に反応性の高い官能基を形成。 フィルムの濡れ性・接着性向上、不織布の親水性・通気性効果改善などが可能です。 国内にテスト機がございます。 お客様のワークに応じて適した条件・ガスをご提案致します。 【特長】 ■窒素やアルゴンガスをベースに、ワークに応じた混合ガス雰囲気化で処理することにより表面改質を行います ■PPフィルムに対して70ダイン程度の濡れ性向上実績あり ■経時劣化が抑えられており、印刷・ラミネート前に再度処理する必要がありません ■ロールtoロールにてインラインで連続処理可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
裏抜けの心配がありません!カウンター電極が不要なコロナ処理機、厚みがあるものでも処理可能!
STT社のコロナ処理機は一般的なコロナ処理機と電極の構造が異なります。 通常のコロナ処理機は陽極と陰極の間にフィルムを挟み込む形で処理を行うため、意図せず裏抜けなどのトラブルが発生してしまいますが陽極と陰極が一体になった特殊構造の電極のおかげで、そのような裏抜けが発生せず、また厚みの制限から解放されるため処理基材の厚さ・巾を選びません。 ウェブだけでなく、高低差のある成形品のコロナ処理に最適です。(有効プラズマゾーン=〜10mm) STT社製のコロナ処理装置ならば厚みが数センチある板でも処理可能! 厚みのあるシートの表面を処理したいが、プラズマ処理は値段が高いとお考えの方は、是非STTコロナ処理機をご検討ください。 特殊電極のおかげで裏抜けの心配なくフィルムの処理も可能です。 裏抜けでお困りの方はぜひお声がけください。 デモ機を用意してありますのでお気軽にお問合せ下さい。
表面処理装置の総合商社! 印刷・塗装・ラミネート・接着の前処理としてプラスチックや金属の親水性を向上させます。
表面処理でお困りの方は是非お声掛けください。 プラズマ処理機、コロナ処理機、フレーム処理機、各種処理装置を取り揃えております。 射出成型品等の複雑な形状の表面処理にはフレーム処理装置が一番です。ペンシル型から10mのウェブ用、3D用まで、バーナーを豊富に取り揃えております。 樹脂や金属、ほぼすべての基材に対して有効な処理を高速で行えます。 表面処理装置で迷ったらまずはお声がけください。 接着力、密着力、親水性の向上、表面有機物の洗浄クリーニング効果など。濡れ性を改善し、プライマーレスを実現させます。 接着不良やVOCでお悩みの方は是非ご検討ください。
アジア有力企業において多数の実績あり。
極小箇所をピンポイント処理します。 ■処理対象 対象ワーク表面の改質/粗化(接合強度の向上、密着性の向上) 対象ワーク表面の有機物除去 【特徴】 ■処理幅の狭い面積に最適: 10/20/35mm ■ロボット機構との組み合わせにより立体物への処理が可能 ■各種反応ガスの使用が可能: CDA(Clean Dry Air) N2 Ar O2 等 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
疎水性の試料(カーボン膜・樹脂材料・チタン材など)をプラズマ照射で親水性にする装置です
当社では、主に電子顕微鏡の前処理目的に使用する『親水処理装置』を 取り扱っております。 接触角90°以上の撥水性試料も1min程度の親水処理で接触角15~30°に。 また、操作は全自動機能を搭載し、再現性も抜群です。 【ラインアップ】 ■PIB-10 ・CHサイズ:内径110mm×高さ60mm ・試料サイズ:φ50mm、高さ25mm ■PIB-20 ・CHサイズ:内径149mm×高さ82mm ・試料サイズ:φ130mm、高さ25mm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
研究所に最適なコンパクト型コロナ処理機!導電性及び非導電性基材の処理も可能
『LTC』は、フィルム製膜、加工及び印刷業界で、コロナ処理を応用した 製品開発に最適な処理装置です。 このLTCラボシステムは、生産現場で実用化した場合と、電気的に同様な コロナ処理を実現。このため生産現場で使用される基材に、特有かつ最適な コロナ処理のパラメーターが算定できます。 【特長】 ■再現性のあるテスト結果 ■広い応用範囲 ■完全統合型ステーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
様々なプロセス用途にご利用頂けるバッチ式アッシング装置です!
『WPA800S』は、同軸バレル構造をチャンバーに持つウエハ50枚のバッチ式 プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズ200mm(8インチ)に対応しており、シリコンウエハ上に 形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起によって、 低ダメージアッシング(灰化除去)や表面改質等の多様なプロセス用途に 利用が可能です。 【特長】 ■同軸バレル構造 ■50枚バッチ式 ■ウエハサイズ200mm(8インチ)に対応 ■簡単レシピ入力 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
創業以来80年の燃焼技術で全ての悩みを解決!各種排ガス・廃液処理装置だけでなく、熱風発生装置や廃熱の有効利用のご提案も可能!
サンレー冷熱の環境装置は、バーナーの燃焼技術をベース技術としシステム製品化したものです。 脱臭装置、熱風発生装置、余剰ガス燃焼装置等のシリーズ化した装置はもとより、各種排ガス・有機廃液燃焼処理装置等についてもお客様のご要求に沿って一品仕様に対応しております。 【各種環境装置】 ・触媒燃焼式脱臭装置 ⇒高効率熱交換器を搭載により、ランニングコストの低減が可能 ・直接燃焼式脱臭装置 ⇒安定した高い処理効率を確保でき、廃熱回収にも対応可能 ・パルスプラズマ脱臭装置 ⇒酸化ラジカル類との酸化反応で複合臭を脱臭 ・熱風発生装置 ⇒温度変動のない熱風を安定供給。超低CO(一酸化炭素)燃焼型にも対応 ・廃液燃焼処理装置 ⇒各種様々な種類の廃液・廃油を完全燃焼 ・余剰ガス燃焼処理装置 ⇒バイオマス発電プラント・下水道処理場・し尿処理場の消化ガスを焼却処理 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。