歩留まり向上に寄与する外観検査装置「AURCAシリーズ」
歩留まり向上に寄与する外観検査装置「AURCAシリーズ」
「AURCAシリーズ」は単に検査を行うだけではなく、その後の分析→フィードバック→工程改善というサイクルを回し続けることで お客様の工場全体の歩留まりの最大化に寄与する、AI搭載の外観検査装置です。 また、「なぜその欠陥が発生したのか」という真因を分析することにより、製造コストの低減と、不良品減による製品信頼性の向上にも貢献します。 ■特徴 ・フルカラー高速ラインスキャン ・オートフォーカス機構搭載（反りによるボケ防止） ・AI＋従来アルゴリズム統合検出（ハイブリッド検査） ・見逃し率・過剰検出率を極限まで低減 ・欠陥の自動分類・定量測定（長さ・幅・面積・位置） ・検査時間30%以上短縮（高スループット量産対応） ■検査項目例 ・RDL欠陥検査：オープン、ショート、ノッチ、金属残渣、CD変動 ・バンプ欠陥検査：表面異常、寸法偏差、欠損／位置ズレ ・TSV欠陥検査：金属・異物コンタミネーション、変形、寸法偏差 ・その他外観欠陥：エッジチッピング、接着剤残り、へこみ、異物、スクラッチ、酸化、腐食、フィルムクラック、ブライトスポット
