更新日： 集計期間:2026年09月16日～2026年10月13日
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温風炉の世界市場は2031年までに105億ドルに達する
2022年に78.1億米ドルの売上を達成した世界の温風炉市場は、着実な成長軌道にあり、2031年には105億米ドルに達すると予測されている。この成長は、2023年から2031年までの年平均成長率（CAGR）3.4％で進んでおり、商業用と住宅用の両方で効率的で信頼性の高い暖房ソリューションへの需要が高まっていることを浮き彫りにしている。 強制空気炉として知られる温風炉は、現代の暖房システムにおける重要なソリューションである。温風炉は空気を加熱し、通気口とダクトのネットワークを通じて建物全体に循環させることで作動する。加熱プロセスは炉の燃焼室から始まり、そこで石油や天然ガスなどの燃料源に点火し、熱を発生させて空気に伝えます。 応募方法は[PDFダウンロード]ボタンからご確認いただくか、関連リンクから直接ご応募ください。
卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲気用メタル炉も製作致します。
◉ 卓上サイズ 省スペース：258(W) x 360(D) x 363(H)mm（*2inch用チャンバー本体設置寸法） ◉ カスタマイズ自在なヒーター構造： - 円筒状ヒーター：るつぼ内サンプル焼成（固形物、粉体、粒形、ペレット形状サンプル用） - 面状ヒーター：Φ2"〜Φ4"ウエハー、小片チップ焼成用 ◉ 昇温時間最速約15分（1500℃）、降温1500℃→100℃まで最短約40分（真空、およびガス置換雰囲気） ◉ ハイスペック&ハイコストパフォーマンス ◉ シンプルな構成、優れた操作性 実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単な操作で行えます。 本体は小型でありながらよりさまざまな分野の研究開発にお使いいただけます。
焼成・熱処理・脱脂・還元に適した電気炉を整理
焼成・熱処理・脱脂・還元の違いを整理できていますか？ 同じ「加熱処理」でも、目的が変われば、必要な温度域、雰囲気、排ガス対策、安全対策、温度分布、サンプル回収方法が変わります。 例えば、焼成では反応完了や温度分布、脱脂では発生ガス・タール・急反応、還元ではH₂濃度・置換管理・爆発下限、熱処理では均熱性・冷却条件・高純度雰囲気が重要になります。 本資料では、焼成・熱処理・脱脂・還元について、代表条件、主な雰囲気、重視点、向く炉種、事前確認項目を一覧で整理しています。 ■処理目的に合う電気炉・雰囲気炉の選定に ■設備導入前の条件整理に ■焼成テスト・条件探索の事前検討に ■見積依頼前の社内確認資料として活用可能
プロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できます。
真空はんだ付けバッチ炉 「PH-224-S型」は、小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。 加熱源に薄型ヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。 温度コントローラーは、専用タイプによりプロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できます。 【特徴】 ○観察窓により、ワークの状態が視認できる ○空冷にて、最高温度400℃対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
アニール炉のOEM、ODM、受託製作実績例
会社設立以来、繊維機械メーカーとして、精練機、連続減量加工機、染色機など、さまざまな装置を開発・製作してきました。 近年は繊維機械で培った、染色・洗浄・乾燥・塗工などのコア技術と、高圧容器・真空容器・撹拌槽などの製造技術を用い、多品種少量生産のモノづくりを行っています。 今後も提案型企業として、時代のニーズやお客様のご要望にこたえて参ります。 【製作実績例】 機械スピード ：常用40～120m/min 機械構成 ：炉体、加熱装置、循環ファン、吹出ノズル、ファンヒータ収納チャンバ、炉体前保温開閉装置
均一ガスマネジメントで炉内のネットフローを抑え、N2消費は最大40％減！
当社で取り扱っている、リフロー炉『MK7シリーズ』について ご紹介いたします。 均一ガスマネジメントで炉内のネットフローをなくし、 N2消費を最大40％削減します。 エネルギー管理ソフトは、待機時に排気・ゾーンブロワーと コンベアを絞り、電力とN2を抑えます。 【スタンバイモードの結果】 ■最大50％kW削減 ■N2を最大60％削減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
小スケールでは見えにくい排ガスリスクを、炉・排気・除害設計でスケールアップ対応
当社では、NH3・CO・NOxなどの有害ガス発生を伴う焼成に対応した「マルチ雰囲気炉」を取り扱っております。 有機物を含む原料、樹脂系材料、触媒担体、電池材料などの焼成では、昇温・保持中にNH3、CO、NOx、HCN、炭化水素系ガスなどが発生する場合があります。 小型管状炉や小スケール試験では問題にならなかった発生ガスも、トレイ段数や処理量が増えることで、排気濃度・発生量・腐食性・安全対策が大きな課題になることがあります。 当社のマルチ雰囲気炉は、真空置換、雰囲気制御、加熱、排気、除害設備との連携まで含めて、焼成プロセス全体を設計できます。 【特長】 ■ NH3・CO・NOxなどの発生ガスを想定した炉設計 ■ 真空置換により処理前後の炉内ガス置換が可能 ■ N2、Ar、Air、NH3など各種雰囲気に対応 ■ スクラバー、触媒酸化、熱酸化など除害方式を検討可能 ■ トレイ段数・処理量増加を見据えたスケールアップ検討に対応 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
温度管理に放射温度計を導入！生産効率が向上した事例をご紹介
当社にて、自動車部品メーカーを対象に、取鍋の加熱炉を製作した事例を ご紹介いたします。 要望は、経験測で温度を目視で確認していたが、温度を数値化して品質向上 させたいといったもの。 放射温度計を導入し精度の高い温度管理で省エネ化を実現。放射温度管理 により、生産効率があがりました。 【事例概要(一部)】 ■対象業界：自動車部品メーカー ■工程：溶解工程 ■機械装置区分：アルミ溶解炉 ■導入先情報：鉄鋼メーカー ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
真空炉の温度・振動・圧力などをリアルタイムに監視し故障の予兆を事前に監視。熱処理炉の予定外の停止時間を短縮できる熱処理炉です。
『PdMetrics』は、リアルタイムに炉を監視し、メンテナンスや更なる 措置が必要な場合はユーザーに通知するシステムです。 当ソフトは、重要なデータや、温度・振動・圧力などを監視できます。 加熱室・排気システム・冷却システムなどの保全性と整合性が向上します。 不必要なメンテナンスとコストの削減、重要なシステム要素の リアルタイム監視で、機器性能の確保に貢献。 事前に必要在庫を決定することができたり、問題が致命的になる前にその 問題を是正できるので、予定外の停止時間を短縮することができます。 【特長】 ■複数の炉体を統合してスクリーンに表示可能 ■使用時間と損耗具合に基づいたパーツ交換時期の通知 ■ユーザーへのメール、テキストメッセージの送信 ■設置エリアの気象情報やリーク診断、真空レベル等をアクセスして取得 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
処理量やワークサイズ、用途、前後工程などご要望をお聞きし、周辺領域も含めて、好適な雰囲気炉をご提案いたします。
窒素や水素以外でも特殊な雰囲気下の熱処理に対応可能です。サンファーネスでは処理量やワークサイズ、用途、前後工程などご要望をお聞きし、周辺領域も含めて最適な雰囲気炉をご提案いたします。 【雰囲気一覧】 窒素 / 水素 / 酸素 / アルゴン / メタノール分解ガス / アンモニアガス 一酸化炭素 / 二酸化炭素 /AXガス / DXガス / RXガス / 三フッ化窒素 省エネ化、自動化、環境への配慮、安全性など新しい課題やご相談がございましたらお気軽にお声がけください。 ※詳しくはPDF資料をダウンロードいただくかお気軽にお問合せください。
充填する雰囲気ガスは、材料の性質や熱処理の目的によって多岐にわたります！
鋼は大気中で熱処理を行うと酸化や脱炭が起こるため、表面仕上げなどの 加工が必要になる場合があります。 そのため、後加工の手間を省いたり、酸化や脱炭を抑制したりするなどの 用途に応じて雰囲気ガスを炉内に充填させて加熱処理する『雰囲気炉』が 多く用いられています。 充填する雰囲気ガスは、窒素やアルゴンなどの不活性ガスをはじめ、 水素やAXガスなど、材料の性質や熱処理の目的によって多岐にわたります。 【特長】 ■熱処理中にガスの切替が可能 ■バッチ型や連続式などのさまざまな形状の炉の取扱いがある ■粉末冶金向け脱脂炉の取扱いがある ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
塗膜品質向上・省エネ・安全性を実現する 排熱回収型熱風乾燥炉【技術シンポジウム情報あり】
こんなお悩みはありませんか？ ✓ 焼きムラや色ムラが発生する ✓ 黄変や白化などの塗装不良を改善したい ✓ 乾燥炉の燃料コストを削減したい ✓ 水性塗料への切り替えを検討している ✓ 危険物塗装工程の安全性を向上したい ✓ クリーンルーム内で使用できる乾燥設備を探している ✓ 防爆対応の乾燥設備を探している ✓ 将来の増設・移設にも対応したい その課題、DRYTEC（ドライテック）が解決します！ DRYTEC（ドライテック）は、独自の熱交換器システムと間接加熱方式を採用した塗装専用熱風乾燥炉です。 燃焼ガスや火種を炉内へ持ち込まない高安全設計により、危険物塗装にも対応。排熱エネルギーを再利用することで、ランニングコストの削減と環境負荷低減を実現します。 炉内温度を均一に保つことで塗膜品質の安定化に貢献。黄変・白化・カブリ・ガスチェッキングなどの塗装不良低減にも寄与します。 溶剤塗料・水性塗料・粉体塗料の乾燥に対応。クリーンルーム設置や移設・拡張にも柔軟に対応できる高性能乾燥炉です。 塗装乾燥炉、焼付乾燥炉、省エネ乾燥炉、水性塗料乾燥設備をお探しのお客様にも好適です。
自動車部品の軽量化に貢献！酸化物抑制で、清掃回数を大幅削減。
自動車業界では、燃費性能向上と環境負荷低減のため、部品の軽量化が不可欠です。アルミ鋳造部品は軽量化に貢献しますが、製造過程での酸化物の発生は、品質低下や歩留まりの悪化につながります。SMHシリーズは、酸化物の発生を抑制し、高品質なアルミ鋳造部品の製造をサポートします。 【活用シーン】 ・自動車部品メーカー ・アルミ鋳造工場 ・軽量化を追求する企業 【導入の効果】 ・保持室の清掃回数削減 ・フラックス処理の削減 ・溶湯品質の向上 ・材料ロスの削減による歩留まり向上 ・省エネによる燃費向上 ・作業環境の改善
AMS規格（米国航空宇宙規格）にも対応可能な技術でお客様に合わせてオーダーメイドで製作します。
アルミは軽くて強くて錆びにくい金属で、電気や熱を伝えやすいなど優れた特性がありますが、熱処理をすることによりその特性を強化することができます。焼鈍、T6処理（エイジング処理）なども製作可能です。サンファーネスは処理量やワークサイズ、用途、前後工程などご要望をお聞きし、周辺領域も含めて最適なアルミ熱処理炉をご提案いたします。 【特長】 ● AMS規格（米国航空宇宙用熱処理規格）に対応可能です。 ● 精密な温度分布を出すことが可能です。 ● バッチ連続式の炉の取扱いがあります。 【課題解決】こんな課題を解決しました ■ 溶体化時間を自動記入させたい ■ 建屋内に炉（溶体化+時効）が収まるようにしたい ■ 溶体化→時効工程への移動をフォークリフトで行っていた 省エネ化、自動化、環境配慮、安全性など新しい課題やご相談がありましたら、お気軽にお声がけください。
気密性が高い炉を仕様要件に沿って、オーダーメイドで製作します
バッチ型では真空加熱後の冷却時に炉内に雰囲気ガスの投入と熱交換器の使用により処理物を早く冷却することが可能です。 【仕様】 ● 温度：100～600℃ ● 雰囲気：真空 / 窒素 ● 用途：脱脂 ● 処理物：鉄系粉末成形品 ● 処理量：910Kg/ch ● 電気容量：195kW 【製品例】真空炉でつくられる身近な製品例 ■ ステアリングギア ■ チェーン部品 ■ 自転車変速ギア ■ 工具 ■ ベアリング 【その他のおもな真空炉】 ■ 真空光輝焼鈍炉 ■ 真空窒化炉 ■ 真空浸炭炉 ■ 真空焼戻し炉 ■ 真空ろう付け炉 省エネ化、自動化、環境への配慮、安全性など新しい課題やご相談がございましたらお気軽にお声がけください。 ＊詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
「電気炉内熱流動解析」や「バッチ炉内電熱解析」など！ご相談は無料です！
当社は、経験豊富な専門スタッフが、線形・非線形・マルチダイナミクス・ 流体などの解析ツールを活用して、お客様の様々な問題を解決に導きます。 規模の大きい解析を必要とする場合は、インドに設立したCAE専門の子会社の リソースを活用し、厳しい品質チェックのもと、低コスト、短納期、高品質の 各種CAEモデルの作成にも対応。 『プラント 工業炉』では、「溶解炉の熱変形、熱応力解析」をはじめ、 「運搬装置部品の応力解析」や「ローラー溶接部の熱応力解析」などを 承ります。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【サービス内容(一部)】 ■電気炉内熱流動解析 ■バッチ炉内電熱解析 ■溶解炉の流体解析 ■加熱炉の伝熱過渡解析 ■電熱炉の非定常輻射伝熱解析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アルミ溶解保持炉で、リサイクル工程におけるアルミの品質と作業効率を向上。
リサイクル業界では、アルミスクラップの再利用において、溶解・保持工程での品質維持と効率化が重要です。特に、異物混入や酸化による品質劣化は、製品の歩留まりを低下させる大きな要因となります。当社のアルミ溶解保持炉【SMHシリーズ】は、酸化物の発生を抑制し、高品質なアルミ溶湯を安定的に供給することで、リサイクル工程における課題解決に貢献します。 【活用シーン】 ・アルミスクラップのリサイクル工程 ・アルミ鋳造部品のリサイクル ・アルミ製品製造における歩留まり向上 【導入の効果】 ・保持室の清掃回数削減 ・フラックス処理の削減 ・溶湯品質の向上 ・材料ロスの削減による歩留まり向上
お客様のお悩みを解決し、温度分布が良くなった、漏れなくなった、など喜んで頂いております！高性能な工業炉をお探しの方は必見です！
サンファーネスは工業炉メーカーで設計、製作、据付、メンテナンスやアフターフォローまでトータルでサポート致します。据付時はもちろん、そのあともお客様が納得されるまで”とことん”お付き合いします！ お客様より高性能な製品だと喜んで頂いております。その喜んで頂いた事例をご紹介します。 【事例：温度分布が良くなった】 お客様によって加熱範囲や処理時間は様々ですが、何故か一部の温度が高いなどの現象に対して、ヒータの配置を変えたり、ファンの容量を適切なものに変えたり、扉から漏れる熱やガスを封止する方法などを考えて実行したことで、温度分布が良くなりました。 【事例：自動化できた】 今まで仕方なく手作業でやっていたものを自動化したことで、使用する人の負担が減り喜んで頂きました。 【事例： 漏れなくなった】 ガス、液体が漏れて困っているお客様に対してシール構造の改造をお手伝いしたり、新規でサンファーネスの炉を導入された際に、当社のシール構造に性能の良さを見出して頂きました。
温度・流量・圧力を同期記録し、電極焼成条件を最適化
当社では、電池電極材の焼成条件検討に適した「管状炉」を取り扱っております。 電極材料の焼成では、温度、圧力、ガス流量、雰囲気条件が、均一性・特性ばらつき・不良発生に影響します。 汎用管状炉では焼成前後の評価に留まり、焼成中の反応挙動や条件変化を把握しにくい場合があります。 本設備では、MFC、圧力計、物温熱電対、サンプリングラインなどを用途に応じて組み込み、焼成中の温度・流量・圧力を同一タイムスタンプで記録できます。 【特長】 ■ 温度・流量・圧力を同期ロギング ■ MFC、圧力計、物温熱電対を用途に応じて実装 ■ サンプリングポート、排気ラインを設計可能 ■ 真空、不活性ガス、H2など各種雰囲気に対応 ■ 電極焼成条件の比較・再現性確認に好適 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
セラミックスと金属の熱膨張差を制御しながら、クリーン雰囲気で強固に封着
当社で取り扱う「メタル炉」は、セラミックスや金属の封着・ろう付け・拡散接合に適した高純度雰囲気炉です。 微量O2/H2O/炭化水素は、濡れ性・界面反応・気密性に影響します。 メタル炉は高真空雰囲気とMo/W系金属ホットゾーンにより、炭素・有機由来の汚染を抑えた熱処理が可能です。 薄膜・電極・光学部材の高純度アニール、封止処理にも適用できます。 【特長】 ■ 高真空雰囲気で残留ガスの影響を低減 ■ 金属ホットゾーンによりクリーン雰囲気を維持 ■ ±1℃以内の温度均一性と長期安定制御 ■ 金属治具や荷重機構との組合せが可能 ■ 試料の小型化・局所加熱試験にも対応 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
真空置換→N2/Ar/H2/NH3/加湿まで、雰囲気を切替えて反応条件を再現
当社では、酸化・還元・窒化・加湿など、複数雰囲気での材料評価に対応した「マルチ雰囲気炉」を取り扱っております。 真空置換後にN2/Ar/H2/NH3/Air/加湿ガスなどを切替え、雰囲気×温度の二軸で反応条件を精密に設計できます。 炉内には真空システムを内蔵し、処理後の真空置換や所定ガス置換が可能です。雰囲気履歴を管理することで、炉内残留ガスリスクを低減します。 【特長】 ■ 真空置換後、各種ガス雰囲気へ切替可能 ■ H2/NH3/加湿ガスなど反応性ガスに対応 ■ 温度と雰囲気をプログラム制御 ■ 排気・除害・安全機器との連携も検討可能 ■ 研究開発からスケールアップ条件検討まで対応 ■設備導入前の焼成テストも可能 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
焼成中の温度・流量・圧力を同期記録し、条件出しを効率化
当社では、セラミックス焼成プロセスの条件検討に適した「管状炉」を取り扱っております。 セラミックス焼成では、温度、圧力、雰囲気ガス、流量条件が焼成結果に大きく影響します。 汎用管状炉では焼成前後の評価に留まり、焼成中の温度変化、圧力変動、ガス流れを把握しにくい場合があります。 本設備では、MFC、圧力計、物温熱電対、サンプリングラインなどを用途に応じて組み込み、焼成中の温度・流量・圧力を同一タイムスタンプで記録できます。 【特長】 ■ 温度・流量・圧力を同期ロギング ■ MFC、圧力計、物温熱電対を用途に応じて実装 ■ サンプリングポート、排気ラインを設計可能 ■ 真空、不活性ガス、H2など各種雰囲気に対応 ■ セラミックス焼成条件の比較・再現性確認に好適 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
最高3000℃の高温焼成と低酸素雰囲気で、航空宇宙向け耐熱部品の開発・製造をサポート
航空宇宙分野では、高温環境で使用される耐熱部品や複合材料の品質安定性が重要です。 タービン部品、ロケット関連部材、C/Cコンポジット、セラミックス系材料などの焼成では、温度条件だけでなく、酸化を抑えるための真空・不活性雰囲気制御が求められます。 弊社のカーボン炉は、最高3000℃クラスの高温加熱に対応し、真空引き後にAr・N2などへ置換することで、低酸素雰囲気での高温焼成が可能です。 耐熱部品の焼成、炭化、黒鉛化、焼結、熱処理条件の検討など、処理物の材質・サイズ・温度・雰囲気に応じてカスタム設計します。 ■ 航空宇宙向け耐熱部品の焼成条件を検討したい ■ 2000℃以上の高温処理を行いたい ■ C/Cコンポジットやセラミックス系材料を処理したい ■ 酸化を抑えた真空・不活性雰囲気で焼成したい ■ 研究開発から試作、量産前評価まで相談したい
さまざまな太さのワークを一度に処理することができます
異なる太さ（径）や加熱パイプを配置して同時に熱処理をすることが可能です。また、個々のパイプごとに窒素や水素などガスの切替や流量の調整も行うこと可能なため、1台で多種多様な熱処理が実現します。 【仕様】 ● 温度：1150℃ ● 有効寸法：10A×L5000×4本、15A×L5000×4本、25A×L5000×4本 ● 雰囲気：水素 / 窒素 / アルゴン ● 用途：軟化焼鈍 ● 処理物：ステンレス鋼線 ● 処理量：線速DV12（D：線径mm、V：速度m） ● 電気容量：48kW 【サンファーネス 線材光輝焼鈍炉の特長】 ■炉体、焼鈍管を自由設計 処理スピードや線径、導入ガス、前後装置との兼合や、設置場所による炉のメンテナンスを考慮した形状等、柔軟に対応することが可能です。 ■コスト低減 通常運転時のランニングコストを抑えられる設備の提案が可能です。 ■品質 ヒーターや熱電対などの消耗品は長く御使用いただける高品質なものを選定します。 ＊詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
温度・流量・圧力・排気を同期記録し、触媒活性化条件を見える化
当社では、触媒活性化や反応挙動評価に適した「管状炉」を取り扱っております。 触媒処理では、温度、圧力、ガス流量、雰囲気切替のわずかな違いが活性や再現性に影響します。 汎用管状炉では焼成前後の分析に留まり、反応開始・終了やガス発生挙動を把握しにくい場合があります。 本設備では、MFC、圧力計、物温熱電対、サンプリングラインなどを用途に応じて組み込み、温度・流量・圧力・排気データを同期ロギングできます。 【特長】 ■ 温度・流量・圧力・排気データを同時記録 ■ 反応開始、終了、ガス発生のタイミングを把握 ■ MFC、圧力計、物温熱電対を用途に応じて実装 ■ サンプリングポート、排気分析ラインを設計可能 ■ 触媒活性化条件の比較・再現性確認に好適 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
温度・流量・圧力を同期記録し、金属・合金の熱処理条件を最適化
当社では、金属・合金材料の熱処理条件検討に適した「管状炉」を取り扱っております。 金属・合金の焼成や熱処理では、温度、圧力、ガス流量、雰囲気条件が、合金組成、組織変化、酸化・還元挙動、品質ばらつきに影響します。 汎用管状炉では焼成前後の評価に留まり、熱処理中の温度変化、圧力変動、ガス流れを把握しにくい場合があります。 本設備では、MFC、圧力計、物温熱電対、サンプリングラインなどを用途に応じて組み込み、熱処理中の温度・流量・圧力を同一タイムスタンプで記録できます。 【特長】 ■ 温度・流量・圧力を同期ロギング ■ MFC、圧力計、物温熱電対を用途に応じて実装 ■ サンプリングポート、排気ラインを設計可能 ■ 真空、不活性ガス、H2など各種雰囲気に対応 ■ 金属・合金の熱処理条件の比較・再現性確認に好適 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
最高3000℃の高温焼成と雰囲気制御で、新材料開発・試作評価をサポート
新材料開発や研究用途では、材料の熱処理条件を幅広く検討できる高温炉が必要です。 特に、2000℃以上の高温焼成、炭化・黒鉛化、セラミックス焼結、粉末材料の熱処理では、温度だけでなく、真空・不活性ガス・低酸素雰囲気などの雰囲気制御が重要になります。 弊社のカーボン炉は、最高3000℃クラスの高温加熱に対応し、真空引き後にAr・N2などの不活性ガスへ置換することで、酸化を抑えた高温処理が可能です。 研究開発用の小型炉から、試作評価・量産前検討用の設備まで、処理物のサイズ、温度、雰囲気、処理量に応じてカスタム設計します。 以下のような研究開発テーマに対応できます。 ■ 新材料の高温焼成・熱処理 ■ 2000℃以上の高温プロセス検討 ■ 炭素材料の炭化・黒鉛化 ■ SiC、AlN、BNなどの非酸化物セラミックス焼成 ■ 電池材料、負極材、導電材の焼成 ■ 粉末成形体、ペレット、焼結体の評価 ■ 真空、Ar、N2などの雰囲気制御下での焼成 ■ 研究室スケールから量産前評価までのスケールアップ検討
Φ6〜8inch超高温ウエハーアニール装置（真空・大気圧ガス置換雰囲気）多目的に幅広く対応するハイパフォーマンス機
◾️Max2000℃ ◾️有効加熱範囲：Φ6〜Φ8inch 枚葉式、又はバッチ式 ◾️ヒーター制御：1ゾーン、又は2ゾーン ◾️ヒーター材質： ・C/Cコンポジット ・SiCコーティンググ ・TaCコーティング ・タングステン ◾️使用雰囲気： ・真空（10-3Pa台@1800℃（*但し空炉、高真空ポンプ仕様の場合）、大気圧ガス置換（Ar, N2, O2）、APCプロセス圧力制御 ◾️PLCセミオート運転 ・真空/パージサイクル、ベントの自動シーケンス制御 ・タッチパネル操作 ◾️ プロセス圧力制御 ・APCコントロール（MFC流量、又は自動開度調整バルブ（PIDループ制御） ・MFC最大3系統流量自動制御、又はフロートメーター/ニードルバルブの手動調整
黒鉛化、炭化、焼結、結晶化など、小型カーボン炉で検討できる用途を紹介
当社で取り扱う「小型カーボン炉」は、低酸素雰囲気での3000℃級高温処理に対応した電気炉です。 炉内に炭素部材を採用し、真空置換後にAr、N2などの不活性ガス雰囲気で処理することで、高温域での酸化・再酸化を抑えた安定した加熱環境を形成します。 本資料では、小型カーボン炉の主な用途として、炭素材料の黒鉛化、セラミックスの炭化・焼結、高融点材料の高温処理、研究開発向けの小スケール試験などをご紹介します。 【主な仕様例】 ■ 設備寸法：1000W×1000D×2100H mm ■ 炉内有効寸法：200W×200D×200H mm ■ 対応雰囲気：不活性ガス Ar、N2、および真空 ■ 炉内材質：グラファイト ■ ドア構造：開き方式 ■ 真空ポンプ：ロータリーポンプ ■ 記録監視：温度、流量、圧力など ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
最高3000℃の高温焼成と低酸素雰囲気で、セラミックスの高密度化・焼結をサポート
セラミックス材料の高密度化では、脱脂・仮焼・焼結・加圧焼結・雰囲気制御など、材料ごとに最適な熱処理条件の検討が必要です。 特に、酸化を抑えながら高温処理を行いたい場合や、一般的な電気炉では到達温度・雰囲気・炉内寸法が合わない場合には、カーボン炉の活用が有効です。 弊社のカーボン炉は、最高3000℃クラスの高温加熱に対応し、真空引き後にAr・N2などの不活性ガスへ置換することで、低酸素雰囲気での焼成を実現します。 セラミックスの高密度化、焼結促進、相形成、脱脂後の高温処理など、研究開発から量産設備まで目的に応じたカスタム設計が可能です。 以下のような課題に対応できます。 ■ セラミックスの密度を上げたい ■ 焼結温度を高温側まで検討したい ■ 脱脂後の焼成・高密度化を一貫して行いたい ■ 酸化や組成変化を抑えて焼成したい ■ Ar、N2、真空などの雰囲気で処理したい ■ 既製炉では炉内サイズや温度条件が合わない ■ ラボ試験から量産炉まで相談したい
