更新日： 集計期間:2026年03月25日～2026年04月21日
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イオン注入後のアニール条件の違いによる差異を確認
酸化ガリウムGa2O3は、SiCやGaNよりもバンドギャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。デバイスの開発には、特性を左右する不純物濃度や結晶性の制御が重要です。本資料では、イオン注入による結晶構造の乱れから生じるダメージ層及び表面粗さの変化を、アニール条件毎に観察した結果を示します。 測定法：TEM・AFM 製品分野：酸化物半導体・パワーデバイス 分析目的：形状評価・構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
Csコレクタ付STEMにより原子レベルでの観察が可能です
パワーデバイス・光デバイスとして実用化されているGaNは六方晶ウルツ鉱構造をとり、c軸方向に結晶学的な非対称性（Ga極性とN極性）が存在します。Ga極性とN極性ではエピタキシャル膜の成長プロセスが異なるほか、結晶の表面物性・化学反応性も異なります。 本資料では、GaNの極性を環状明視野(ABF)-STEM観察により評価しました。その結果、Gaサイト・Nサイトの位置を特定することができ、視覚的にGa極性、N極性の様子を明らかにすることができました。 測定法：TEM 製品分野：パワーデバイス・光デバイス 分析目的：形状評価・構造評価・膜厚評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
活物質の粒径・結晶方位評価、原子レベル観察が可能
リチウムイオン二次電池は充放電によるイオンの脱離・挿入などで電極活物質に成分や結晶構造の変 化が生じます。正極活物質として用いられるLi（NiCoMn)O2（NCM）の構造評価として、EBSDにより一次粒子の粒径や配向性を評価しました。更に、方位を確認した一次粒子について高分解能STEM観察を行 い、軽元素（Li、O）の原子位置をABF-STEM像で、遷移金属（Ni、Co、Mn）の原子位置をHAADF-STEM像で可視化した事例を紹介いたします。 測定法：SEM・EBSD・TEM 製品分野：二次電池 分析目的：形状評価、構造評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
⾼輝度電⼦銃による緻密なSEM画像！表⾯情報に敏感なインレンズSE検出器を装備
ZEISS製の「FE-SEM ULTRA55」は、GEMINIカラムを搭載しており、 極低加速電圧で高分解能観察が可能な装置です。 検出器も複数搭載されており、さまざまなサンプルの観察が可能。 2種類の反射電⼦検出器による組成情報の把握ができ、低加速電圧でも ⾼分解能なEDX分析ができます。 【特長】 ■⾼輝度電⼦銃による緻密なSEM画像 ■極低加速電圧による極表⾯分析 ■表⾯情報に敏感なインレンズSE検出器を装備 ■2種類の反射電⼦検出器による組成情報の把握 ■低加速電圧でも⾼分解能なEDX分析 ■無蒸着による観察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
TEM：透過電子顕微鏡法
球面収差補正機能(=Csコレクタ)つきSTEM装置では、原子レベルでの高分解能観察･高感度分析が可能です。分解能は約0.10nmです。
小型広視野のフォトルミネッセンス（蛍光発光）顕微鏡
375～1060nmの励起波長を選択可能。ピコ秒のタイミング分解能で寿命検出範囲は数psから数ms。太陽電池材料とペロブスカイトの研究、ディスプレイ、LEDの材料との特性評価に最適です。
透過型電子顕微鏡(TEM)でサンプルの微細構造がナノレベルで観察が可能に！
弊社では、高精度なTEM観察用薄片サンプル作製と高度なTEM観察技術から鮮明なサブナノオーダーの構造観察が可能です。
超高分解能STEMによるCdS/CIGS接合界面高抵抗層の結晶構造評価
Csコレクタ付STEM装置を用いてCdS/CIGSヘテロ接合界面を直接観察しました。 TEM像・高分解能HAADF-STEM像および第一原理計算を用いたシミュレーションから、CIGSとCdSがヘテロエピタキシャル接合している様子が確認されました。
ナノオーダーの形態観察・元素分析が可能
透過型電子顕微鏡（TEM）はμm～nmオーダーの形態観察・元素分析が可能です。 アイシャドウは固体粒子の集まりなので、そのままTEMによる分析を行いました。 TEM観察後、視野内の特定箇所についてEDX分析を行い、構成元素から材料を推定しました。 さらに、EELS分析により結晶型を区別することが可能です。
微細なクラックが見やすい！導電処理が不要で、すばやく詳細な観察が出来ます
『卓上型SEM(電子顕微鏡)によるクラック観察』についてご紹介です。 製品の信頼性評価において、クラックの断面観察は欠かせません。 光学顕微鏡観察では見落とす可能性がある微小なクラックもSEM観察では 明確に確認することが可能です。 しかも卓上SEMなら、導電処理が不要で、すばやく詳細な観察が出来ます。 【特長】 ■蒸着不要 ■簡易的に結晶粒が見える ■微細なクラックが見えやすい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Csコレクタ付STEMによる原子レベル分解能EDX分析
TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例ではCIGS薄膜太陽電池の光吸収層の高分解能(HR)-STEM観察とEDX元素分布分析を行ったデータを紹介します。4種類の元素からなる多結晶構造を持つCIGSにおいて、原子分解能レベルのEDX分析を行うことで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができました。
GaNなどのパワー半導体の転位やステップ(微小な段差)、微小方位差が観察可能です。
GaNなどのパワー半導体において、原子レベルの欠陥は性能の劣化に影響を及ぼします。EBSD検出器を用いた前方散乱電子の評価により、転位に加えてステップ(微小な段差)や微小方位差の観察が可能となります。
雰囲気制御＋冷却下での原子レベル観察
MSTでは、雰囲気制御（＋冷却）下で原子レベルのTEM分析が可能です。 本資料では、リチウムイオン二次電池から大気非暴露で解体して取り出した正極材料のLiCoO2粒子を、雰囲気制御＋冷却下でFIB加工・TEM分析した事例をご紹介します。-174℃に冷却しながらSTEM観察とEDX分析を行い、視覚的に原子配列を確認しました。 熱的安定性の低い材料や、大気下で変質する結晶材料の高分解能分析に適用できます。
真空下での走査型広がり抵抗顕微鏡（SSRM）による局所抵抗分布評価
CIGS薄膜太陽電池のZnO/CdS/CIGSの多結晶へテロ接合界面をSSRM法で分析し、局所的な抵抗分布を計測しました。真空環境下で測定することで、測定表面の吸着水を除去し、高空間分解能を得ることができます。測定結果から、ナノメートルレベルの空間分解能で各層の抵抗値を計測できていることが分かります。各層の抵抗値が数桁異なり、これがキャリア濃度の違いを示しています。CIGS層はi-ZnO層よりも高抵抗であること、CdSはこれらの層よりもさらに高抵抗であることが分かりました。
PE中のCNF(セルロースナノファイバー)分散状態観察事例をご紹介しております！
当社ホームページでは「透過型電子顕微鏡(TEM)によるCNF複合材料の 観察」についてご紹介しております。 高分子の結晶構造、ポリマーアロイのモルフォロジーの観察で培った、 染色を含めた超薄切片の作製技術、TEM観察技術を用いることで、樹脂に 複合されたCNF(セルロースナノファイバー)の観察が可能となりました。 PE中のCNF分散状態観察の写真や、拡大写真なども掲載しております。 ぜひ、ご覧ください。 【掲載写真】 ■PE中のCNF分散状態観察 ・PE/CNF分散状態観察 ・PE/CNF拡大写真 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 LIB正極活物質LiCoO2について、TPD-MSによるガス分析とin-situ 昇温TEM法の2つのin-situ 昇温手法を用いて、昇温時におけるLiCoO2粒子の発生ガスと形態・組織・構造変化の関係性を調査した。その結果、ガス発生は構造変化と密接な関係にあることが示された。充放電挙動と酷似した変化も認められ、温度をパラメータにした一連の測定結果は、実材料を解析する上でも重要な知見になること、また、高分解能（40nm角程度の視野）でないと検出できない微視的構造変化（ドメイン構造の形成など）について、ASTAR＊（＊ASTARはNanoMEGAS社の登録商標）を用いることで1μm角以上の視野で可視化でき、定量的に解析できることを示した。 【目次】 １．はじめに ２．実験方法 ３．TPD-MSを用いたガス発生挙動の観測 ４． in-situ昇温TEM法による組織変化の観察 ４-１． STEM像における形態・組織変化の観測 ４-２． HRSTEM像における結晶構造変化の観測 ４-３． 650℃以上の形態・組織・構造変化の観測 ５． まとめ
最大200nAの照射電流は、各種マイクロアナリシスに対応！分析能力も強化
広視野全体像から表面微細構造まで、短い時間で多くの情報を取得できる 「FE-SEM」を導入した事例をご紹介いたします。 表面微細構造、組成、結晶学的情報、形状情報など多彩な イメージング能力を装備。 複数の二次電子信号や反射電子信号が同時に取得でき、これまでより 短い時間で多くの情報を得られるようになりました。 【事例概要(抜粋)】 ■導入製品：HITACHI製SU7000 ・電子源：ZrO/Wショットキータイプエミッター ・二次電子分解能：0.8nm(加速電圧 15kV)、0.9 nm(加速電圧 1kV) ・加速電圧：0.1～30kV ・倍率：20～2,000,000倍(装置スペック) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
短時間に、簡単操作で、高コントラスト・高分解能の画像を取得
日本電子株式会社 CRYO ARM300 II は、タンパク質に代表される電子線照射に弱い試料の観察に特化した、クライオ電子顕微鏡です。単粒子構造解析やトモグラフィー、電子線結晶構造解析などの各手法に対応しています。 〇特長 ・顕微鏡の安定性とスループットの更なる向上 ・操作性もよりシンプルに ・サンプルのスクリーニングから画像データ取得までを一体化 ・ユーザーに合わせた運用を可能にする高い自由度 ・簡単な操作で質の高い顕微鏡写真が取得 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
![[EMS]エミッション顕微鏡法](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/ebd/387108012/IPROS78188100613521420358.jpeg?w=280&h=280)
故障箇所を迅速に特定
EMSは、半導体デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出することで、故障箇所を迅速に特定できる手法です。EMMS、PEM、EMIとも呼ばれます。 ・測定波長領域（可視域から近赤外域）に対して透明な材料のみ評価可能 ・クラック・結晶欠陥・ESDによる酸化膜破壊・Alスパイクによるショートなどの内部の欠陥を低損傷で捉えることが可能
ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測
AFMは、微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 ・金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能 ・接触圧力が弱いタッピングモードを用いることで、試料ダメージを最小限に抑えることが可能
超高温の世界を、高解像度でin-situ観察！最高1800℃の超高温環境下での鮮明なミクロ観察画像を集めました。
米倉製作所を代表する加熱観察IRイメージ炉に、デジタルバイオレットレーザー顕微鏡を搭載した『超高温レーザー顕微鏡システム』は、加熱中のin-situ（その場）観察を鮮明に撮像・記録することが可能なシステムです。 画像集では、鉄鋼、非鉄金属等の金属材料の、最高1800℃の超高温環境下での鮮明なミクロ観察画像をご紹介しています。 米倉製作所の公式 YouTube チャンネルでは、動画も公開しております。 カタログのQRコードからは、in-situ（その場）観察動画をご覧いただけます。 ★:: 「オーステナイト成長からベイナイト相転移」 ☆:: 「溶融金属からのスラグ結晶の遊離」 ★:: 「高温引張過程のその場観察」 など、8つの観察画像を掲載しています。 『超高温レーザー顕微鏡システム』は、鉄鋼、非鉄金属、セラミックス、二次電池等の高温下における微細構造挙動の研究、材料にご利用いただいております。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高倍率観察(30万倍程度まで)が可能
SEMは、電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です。 ・簡単な操作で高倍率観察(50万倍程度まで)が可能 ・二次電子（Secondary Electron;SE）像、反射電子（BackScattered Electron;BSE）像、透過電子（Transmitted Electron;TE）像の観察が可能 ・加速電圧0.1～30kVの範囲で観察が可能 ・最大6インチまで装置に搬入可能（装置による） ・SEMにオプションを組み合わせることにより、様々な情報を得ることが可能 EDX検出器による元素分析が可能 電子線誘起電流（EBIC）を測定し、半導体の接合位置・形状を評価 電子後方散乱回折（EBSD)法により、結晶情報を取得可能 FIB加工とSEM観察の繰り返しにより、立体的な構造情報を取得可能（Slice & View） 冷却観察・雰囲気制御観察
【技術資料進呈中】高感度性能と高波数精度を両立！コンパクトかつ堅牢な分散型顕微ラマンシステム
『SENTERRA II』は、品質管理等のルーチン分析から先端の研究分野まで対応する ブルカーならではの高性能システムです。 一般的なラマン顕微鏡では、分光器が顕微鏡と分離されたシステムがほとんどで、 性能を維持するために多くの時間を割く必要があります。 当製品は励起レーザー、分光器、顕微鏡が一体となったコンパクトかつ堅牢な 統合システムで、その効率的な光学設計により、高い性能と安定性を達成しています。 また、迅速に結果が得られるようにスムーズかつ的確にオペレーターをサポート。 試料の可視観察からスペクトル品位の確認、測定領域の設定まで、データ測定の 手順をステップごとにガイドします。 【特長】 ■高度に自動化された各種機能と効率的な操作性 ■コンパクト＆堅牢設計 ■効率性と柔軟性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高機能材料などの解析シミュレーション はじめ、さまざまなタイプの材料に対応した材料開発シミュレーションソフトウェア
『Materials Studio』 量子力学(密度汎関数法)、古典力学(分子動力学計算)、 メソスケール(散逸粒子動力学計算など)、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群。 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 業界・分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方にご利用いただけます ■さまざまなタイプの材料に対応 ■一つのGUI画面上で、結晶構造の作成、計算条件設定、計算結果表示の 全てを行うことが可能 【事例】 トライボケミカル(潤滑)反応 CFRP(炭素系素材)などの解析 結晶成長や薄膜形成、燃料電池、潤滑剤などの研究開発 触媒、ポリマーや混合物、金属や合金、電池や燃料電池など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
イオンミリング法によるCP加工でダレのない断面試料を作製します。
イオンミリング法による断面加工で、高倍率の観察に必要な精密試料調整を実施致します。 従来の研磨紙・研磨剤を用いた機械研磨では、研磨時の応力によりダレが発生したり、ボイドが潰れたり、割れが発生することがありました。 そういった現象が起きやすい試料でも、非常に弱いイオンビームで研磨加工を行うことにより、微小領域の高倍率観察・分析や結晶方位解析(EBSD)が実施可能な断面試料を作製するとができます。
なぜ今さら微生物なのか。それは微生物の利用に新たな可能性が見出されたからです
微生物が初めて認識されたのは17世紀後半、オランダの織物商人によって 顕微鏡が発明された時でした。 長い間、微生物に関する研究の流れは大まかに、特定の条件(主に寒天培地)で 培養できる微生物を獲得し、特長を各種解析装置で解析するという流れでした。 光学顕微鏡や電子顕微鏡を利用した形態解析や1977年に開発されたサンガー法を ベースに改良された手法によりDNA配列を読む遺伝子情報解析、タンパク質を 精製したのち結晶を形成させX線を照射しそれにより形成された回折格子から 逆算してタンパク質の構造を明らかにするタンパク質結晶構造解析など様々な 解析技術が開発され、コツコツと地道に研究が進められてきました。 ※ブログの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
フォトニック結晶の評価では照明が重要に！お役に立ちそうな文献情報をご紹介
試料の構造色を示す写真は、デジタルカメラとデジタル顕微鏡 (KEYENCE VHX-500)で撮影しました。 角度依存性には、2種類の照明を使用。 一つ目(拡散光)は、照明光は特定方向からは来ない照明で、試料は いくつかのシーリングライトと壁からの二次散乱で照らされます。 二番目のタイプは、ファイバー経由での照明(Olympus,LG-PS2)。 照明光は通常方向からおよそ50度傾けた方向から照らします。 二次粒子におけるシリカ粒子の配列は、電子顕微鏡で評価しました。 ※記事の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
ご要望に応じた分析用・観察用の断面サンプルを作製致します。
はんだ接合部断面・溶接部断面の観察や、異物断面の分析、ASSY品の内部の確認などに必要な試料の前処理加工、「対象物の切断→樹脂包埋→研磨」までの試料調整を実施致します。 試料調整だけのご依頼はもちろん、調整後の観察や分析まで一括で承ります。 ・ポリエステル樹脂 大きい製品を埋めるときに使用 樹脂中に塩素を含まない ・アクリル樹脂 透明度が高い 傷が付きにくい ・エポキシ樹脂 硬化収縮率が小さく、ヒビが入りにくい（カタログ値0.5％） 耐熱／耐水／耐薬品／耐候性に優れている 非着体に対し、接着力が優れている 樹脂中に微量に塩素が含まれている ・ポリッシャー 断面サンプル作製時間が短い。（鏡面研磨までの工程が少ない） 主に樹脂材／鋼材などの研磨に使用。 ・精密ポリッシャー 研磨圧力、研磨時間を設定することが可能。 超硬・セラミックなどの硬質材を研磨してもダレを抑えることが可能。
