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故障解析アプリケーションに適した真空環境スキャニング
『Park NX-Hivac』は、故障解析および環境の影響を受けやすい材料向けの 高真空原子間力顕微鏡(AFM)です。 高濃度ドープの半導体の正確な故障解析が可能。 また、当社のすでに認められた技術を用いることによって、高分解能で 高い再現性と操作性による低ノイズ計測を可能にした製品です。 【故障解析の為の高真空計測】 ■高速スキャンのための進化したStepScan自動機構とレーザーアライメント機構 ■マルチサンプルチャック ■Park独自の容易なチップ交換機能 ■大型真空チャンバー(300mm×420mm×320mm) ■超長距離観察を実現した直上光学顕微鏡 ■感度が向上された高真空SSRMモード ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
強力なライフサイエンス用走査型プローブ顕微鏡
『Park NX12-Bio』は、1台の革新的プラットフォームに3種類の 高性能ナノスケール顕微鏡を搭載した原子間力顕微鏡(AFM)です。 革新的な液中イメージングが可能な走査型イオンコンダクタンス 顕微鏡(SICM)と高い評価をいただいている原子間力顕微鏡(AFM)技術の 両機能を可能にしています。 【ナノスケール生物学研究のための総合的なソリューション】 ■フレクチャー式の完全独立Z軸スキャナ/XYスキャナを搭載、 完全非接触技術(TM)を備えた高精度Park NX AFM ■倒立型光学顕微鏡技術による超高分解光学イメージング ■スキャニング イオンコンダクタンス顕微鏡搭載により進化した 生体細胞イメージング ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM
『Park NX-3DM』は、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁 イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムの 原子間力顕微鏡(AFM)です。 傾斜Zスキャナを備えた特許取得済みの分離型XYおよびZスキャン システムにより、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の 課題を克服します。 【ウエハファブ用で必須なツール】 ■高度で正確なPark NX技術を用いた完全自動産業用AFM ■アンダーカットやオーバーハング構造のためのチルトヘッドデザイン ■サンプル前処理不要で正確な側壁粗さ計測 ■完全非接触モード(TM)により、装置とサンプルにダメージを与えずに 高品質のイメージが得られる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定 ■真の非接触モードによるコスト削減 ■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【日本版カタログ進呈中】低コスト・高機能・短納期が可能な新製品！当社が取り扱う原子間力顕微鏡をご紹介！
『Park NX7』は、Park Systemsが持つ新技術がすべて搭載されており、 かつお手頃な価格でお求め頂けます。 当製品は細部に至るまで上位モデル同様に設計されており、 研究を促進することが可能。 また、ボーイングのないフラットな直交XYスキャンができます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■拡張性の高いAFMソリューション ■ボーイングのないフラットな直交XYスキャン ■低ノイズZ検出器 ■True Non Contactモードによるチップの寿命、 サンプルの保存、繰り返し精度の向上 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低波数領域（テラヘルツ）測定用ラマン顕微鏡
既存のラマン顕微鏡に簡単に脱着可能なラマン顕微鏡のアクセサリーです．試料の前処理が不要で非接触・非破壊の分析が可能で，有機・無機物の成分の測定が可能であり微量，微小の原薬の結晶形の評価に適しています．錠剤や混合粉末を構成している主薬，賦形剤などの成分のケミカルイメージングにより成分の分散状態を評価することも可能です．
表裏の位置ずれ／寸法測定顕微鏡をご紹介。高精度、低価格化を実現しました
『TOMOS-50』は、水晶振動子、MEMS、半導体等の電子部品の表裏を 同時に撮影、±0.2μm以下の精度で測定できるコンパクトタイプの 表裏位置ずれ計測システムです。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正可能。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売もしております。 お問い合わせください。 【特長】 ■コンパクトタイプ ■約300万画素 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定(条件により異なる) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
XY電動ステージとオートフォーカス機能を搭載！ソフトウェアなどのカスタマイズも対応
『TOMOS-60XY』は、ワークの複数箇所を自動測定できる6インチ電動 XYステージ 両面顕微鏡システムです。 あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、 MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークの ずれを自動測定することが可能。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載し、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【特長】 ■円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを 自動検出し、中心座標同士のずれを測定 ■XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数個所を自動測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定します！
『TOMOS-50/60/80/XY』は、表裏両面を同時撮影、寸法計測、 位置ずれ計測が可能な両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 電動制御及び自動計測となっており、両面露光パターンズレや 半導体ウエハー、4インチ、6インチ、8インチウエハー、MEMS、 水晶振動子などの表裏位置ずれ計測、観察に利用可能。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正します。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能です。 【特長】 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定 ■表裏2chオートフォーカスユニット組み合わせ可能(オプション) ■電動XYステージ制御システム開発中 ■装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。
電動ＸＹステージとオートフォーカス機能を搭載！
『TOMOS-60XY』は、表裏両面を同時撮影、寸法計測、 位置ずれ計測が可能な両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 【用途】 ■観察：電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、フィルターなどの表裏同時観察 ■表裏位置ずれ計測：水晶振動子、ＭＥＭＳなどのアライメントマーク、貫通穴の表裏位置ずれ計測 ■表裏寸法計測：水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。
撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能！(視野9mm x 7mm）
『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴など、電子部品の表裏を 同時に撮影が可能です。 また、表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度 ±0.010mm精度で測定できます。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
電子ペーパーやMEMSの観察・位置ずれ・寸法計測を一台で実現。両面同時観察と自動計測で、測定の効率と精度を大幅に向上。
当社のTOMOSシリーズ は、電子ペーパー、MEMS、水晶振動子、半導体線幅パターンなどの 精密デバイスを対象に、表裏同時観察・計測を実現する両面顕微鏡システムです。 落射・透過照明対応で粒子・流体・フィルターなど両面同時観察の可能で、 位置ずれ・寸法計測も自動化し高精度・効率化を実現します。 TOMOSシリーズは用途に応じた複数モデルをラインナップしており、観察・計測の目的や対象に最善な選択が可能です。 研究・解析・製造・検査の現場で、高精度・高再現性・効率化を追求する方に好適なソリューションです。 【ダウンロードカタログ内容】 ■コンパクトタイプ 表裏位置ずれ計測システム TOMOS-50 ■6インチステージ 表裏位置ずれ計測システム TOMOS-60 ■リング照明付き低倍率両面顕微鏡システム TOMOS-50R1 ■6インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム TOMOS-60XY ■8インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム TOMOS-80XY ■高速オートフォーカスユニット Mimic II-AF/CL ■高感度近赤外線カメラ FS-1700IRP
教育・農林・医療・衛生防疫等の各領域で使用されています
当社では、生物顕微鏡、工業顕微鏡、デジタル顕微鏡、蛍光顕微鏡等 多くのシリーズの顕微鏡を取り扱っております。 各顕微鏡製品は月産15000台以上の生産体制で、教育、農林、医療、 衛生防疫等の各領域で使われており、全ての原材料と製品はCE、CMD、 CQC、RoHSの認証を取得しております。 【ラインアップ】 ■医療顕微鏡 ■生物顕微鏡 ■デジタル顕微鏡 ■児童顕微鏡 ■金属顕微鏡 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
暗視野 生物顕微鏡【UT503-DK】です
★高性能な暗視野顕微鏡です。 ★眼視観察、写真・ビデオ撮影のいずれにも高性能を発揮する、Planアクロマート型対物レンズを標準装備。 ★明視野、位相差、偏光観察等の豊富なオプション。
★研究用生物顕微鏡としてお勧めできる高性能顕微鏡です。 ・一般的な研究開発 ・教育用 ・ハイアマチュア用です。
・研究用、ハイレベルアマチュア用として好適な生物顕微鏡です。 ・光学的性能、機械的性能とも優れています。 ・システム顕微鏡ですので、位相差、暗視野、偏光観察などのオプションも豊富です。 ★眼視観察、写真・ビデオ撮影のいずれにも高性能を発揮する、Planアクロマート型対物レンズを標準装備。 ★暗視野、位相差、偏光観察等の豊富なオプション。
