Last Updated： Aggregation Period:2025年11月19日～2025年12月16日
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気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「フロートチャックSAC型」
ソーラーリサーチ研究所にて発明開発した気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績をもとにオーダーメイドにて製作します。 ・ウエハ非接触搬送装置 ・ガラス基板非接触搬送装置 ・非接触ピンセット ・太陽電池ウエハ非接触搬送装置 ・ウエハチップ非接触搬送装置 ・レンズ非接触搬送装置 ・フィルム非接触搬送装置 ・プリント基板、FPC非接触搬送装置 ・不織布非接触搬送装置 ・エア浮上高精度検査テーブル ・シート枚葉送出装置
弊社静電チャックは共働ロボットや高速搬送にも各種対応しており、工場の自動化、省人化をサポートします。
弊社静電チャックは、近年の世界的な自動化・省人化の流れの中で把持、搬送ツールとして選ばれる機会が増加しており、通常ロボットはもちろん、共働ロボットや、高速搬送等、幅広く対応しています。 クリエイティブテクノロジーでは、弊社で取り扱っているロボットはもちろん、お客様のロボットに合わせた、各種静電チャックのオーダーメイド設計が可能です。 また専用電源を用いた、外部信号入力による電源のON/OFF、および印加電圧の設定も可能です。
超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置
◎特長 １．超薄反りウエハ・板状体を非接触にて把持、搬送 ２．ウエハに損傷を与えない ３．汚れを付けない ◎ 適応 １．反りのあるウエハ ２．GaSaウエハ ３．極薄ウエハ ４．表面処理ウエハ
濡れているソフトコンタクトレンズを搬送します。
水和工程の含水したソフトコンタクトレンズを搬送します。 「ソフトコンタクトレンズ移載装置」は、空気を噴出することによりエゼクタ効果・ベルヌーイ効果・コアンダー効果による負圧の発生によるレンズの吸引把持と圧力室式エアクション効果による正圧の発生によるレンズの離反のバランスにより把持接触力を弱めてコンタクトレンズを把持し搬送します。 全ての操作を空気流の作用により行っております。柔軟なコンタクトレンズに損傷を与えることなく搬送します
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています。
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています。 外周裏面及びエッジ部が接触可能なウェーハ等の搬送用チャックです。 ウェーハの自重によってテーパ状のガイドを利用し、一定範囲にウェーハを落とし込み保持します。 外周から接触制限のあるウェーハをお求めやすい価格で搬送 オプションで基板有無センサを付ける事によってウェーハの有無を確認（大気使用時）
裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。
搬送時にウェーハのセンタリングが可能なため、落とし込みのステージなどへの搬送に適しています。 ウェーハの前後方向をエアシリンダによりガイドを前後させ保持します。 ウェーハの裏面を接触する事なく、ウェーハの外周を挟み保持 外周を挟む事により、ウェーハのセンタリングが可能 高速搬送が可能 ガイドの動作量によってウェーハの有無を確認
空気でつかむ
●非接触にて吸引保持、搬送する。 ●きず、汚れ、パッド跡を付けない。 ●クリーンルームにて使用可能 ●通気性ワーク、穴あきワーク、極薄柔軟ワークも可能 ●手操作にても使用可能
微小レンズを非接触にて搬送する。
カメラ付き携帯電話のレンズ、デジタルカメラ、医療用カメラ、工業用小型カメラの微小レンズを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送します。傷、汚れを付着させません。
ローダワーク搬送のチャックにおける使用時のポイントについてご紹介！
ワークを搬送する場合、どの部分をクランプするかで 使用するチャックの形状、保持力が決定します。 ローダー用チャック設計のポイントについてご紹介致します。 【ポイント】 ■ツメはなるべく短くする ■傷を付けないための配慮が必要 ■重心を保持できない場合は保持力をアップ、または複数個のチャックを 使用する必要がある ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Y型の真空吸着チャックです。
ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。（ランダムアクセス対応） 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。
加工用、搬送用の他、精度を要する測定用に好適なエアチャック！
『NPC-4FS-33』は、ウェッジ方式の据置型エアチャックです。 爪ストロークφ3mm、繰返し精度2μの精密仕上げ。 加工用、搬送用の他、精度を要する測定用に適しています。 当社のエアチャックは、パーツの一点一点を、丁寧にハンドラッピングで 仕上げ、組立てることで高精度と耐久性を実現いたしました。 【特長】 ■据置型 ■ウェッジ方式：4inch / 3fingers ■エアポート位置：側面2ヶ所 ■爪ストロークφ3mm ■加工用・搬送用など精度を要する測定用に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ばすことなく非接触でつかみ移載します。
ソ－ラ－リサ－チ研究所では、5.0ｍｍ□～ 微小ワークのチップを非接触にてチャックし 搬送する「クリーンルーム対応小型ベルヌーイチャック」を 開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と 圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく 裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触） 状態にてチャックし、所定の場所に搬送します。 この新機構として吸着パッドの周囲に排気路を変更する 回路を設けており、排気方向を変更します。そのため排気 が周囲のチップを吹き飛ばすことはありません。
1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック
□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、トレーに収納します。 搬送、反転、傾斜することが可能です 汚染、損傷、パッド跡の付着がありません。 ウエハ・チップ非接触コレットチャック ◎特徴 １．１〜１５ｍｍ□の微小ウエハチップを非接触にて懸垂把持、トレーに収納、ハンドリングが可能。 ３．トレーよりチップを非接触にて取り出し可能 ３．チップに傷、汚れを付着させない。 ４．チップにパッド跡をつけない。
ロボットが走行する時代！接続が簡単なモジュール化により10～20m以上の長尺ラインが可能
当社で取り扱う、ロボット搬送(電磁誘導給電)システム『RHLS80160V』 をご紹介いたします。 HIDインバータから高周波電流を誘導線に流し、電磁誘導作用で誘導線に 接触することなくピックアップコイルに電力を受け渡し、その電力を 受電ユニットで整流し安定した電力を供給します。 また、ロボット搬送(バッテリー給電)システム「RHLSI65H」や、パレット 矩形循環搬送(バッテリー給電)システム「PHLSI35V」などもご用意しています。 【RHLS80160V 仕様】 ■駆動方式：ラックピニオン ■最大可搬質量：2000N ■最高速度：1000mm/s ■モーメント Mx：3210Nm ■モーメント My：4070Nm ■モーメント Mz：4070Nm ■基本動定格荷重 C：25490N ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック
新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。「フロートチャック」は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、ワークを空中に浮遊した無接触（非接触）状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜することが可能です。
