高濾過精度低圧力損失PTFEガスフィルター
安定した濾過性能
濾過膜はPTFE製2層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって0.003μmのパーティクル捕捉試験を実施しております。
- 企業:株式会社ピー・ジェイ
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
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安定した濾過性能
濾過膜はPTFE製2層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって0.003μmのパーティクル捕捉試験を実施しております。
濾過膜はPTFE製2層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。
全数疑縮核式パーティクルカウンターによって0.003μmのパーティクル捕捉試験を実施しております。
圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルターに求められる特性面も優れています!高純度アルミナを使用
クアーズテック社のインライン・ガスフィルター『CEPURE』に採用したエレメントは、耐食性に優れた99.9%以上の高純度アルミナで、均一にコントロールされた2層もしくは3層からなる微細な細孔を有しています。 幾何学的に圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性などガスフィルターに求められる特性面においても非常に優れており、理想的なフィルターメディアです。 【特徴】 ・優れたガス置換特性 ・高耐食性 【仕様】 材料:アルミナ多孔体(エレメント部)/SUS/ニッケル/PTFE 【用途】 各種半導体プロセス用インラインガスフィルター ※詳しくはお問い合わせください
システムに接続したままメンテナンス可能
液体やパーティクルなどの不純物は、水平に取り付けたSwagelokフィルターで除去することができます。 Swagelokフィルターは、システムに接続したままメンテナンスを行うことが可能です。 FC シリーズ ■ 液体除去用/パーティクル除去用 ■ オンライン・プロセス分析システム用に設計 ■ エレメントの交換が容易 ■ エンド・コネクション・サイズ:1/8 インチ、1/4 インチ、6 mm
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
【選定ガイド進呈中】4ステップで簡単選定!様々なガスフィルターからご状況に適したモデルを選定できます!
サヤマトレーディングではPorvair社の多様なガスフィルターを取り扱っています。 TEM 高性能ガスフィルターの選定ガイドの手順1~4を参照し、TEMからはじまるシリーズ名と、継手をご指定ください。 <選定手順> ・ステップ1 ガスの温度 ・ステップ2 ガスの種類 ・ステップ3 ガスの流量 ・ステップ4 継手のサイズと形状 →ご状況に適したガスフィルターの選定が簡単4ステップで完了します! ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。
高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現!
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。 従来のPGFシリーズと全く同じ外形寸法で約2倍の流量を処理できます。
SPCシリーズは超小型(φ21×84mm)、軽量(90g)に設計されております。
取り付けスペースの狭いシリンダーキャビネットや装置などに最適です。
流量500L/minから3 000L/minまでの一次側バルク・ガスラインでの使用に適しています。
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。
歩留まりを大幅に向上
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 フィルター構成部材全てにSUS316Lを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく高耐熱性を発揮致します。窒素ガス(N2)をフィルターIN側圧力0.2MPaで流したときのOUT側圧力損失は△0.05MPaで90SLMの流量を実現しました。また、定常流・脈動下において濾過精度0.003μmをCNCで確認、サブミクロンULSI製造で歩留まりを大幅に向上致します。
幅広い濾過精度に対応
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 定常流・脈動下において濾過精度0.1〜10μmまでの幅広い濾過精度に対応。フィルター構成部材で腐蝕性材料は使用しておりませんので腐蝕や二次生成物の恐れはありません。専用のベーキングヒーターの併用によりAPIMSの測定で脱ガス(水分量)1.2ppbを達成しました。継続使用により0.1ppbレベルまで可能です。
コンパクトサイズでより高流量のガスを処理
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 全ての材質にSUS316Lを使用。高流量・高差圧下においても0.003μm以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。10L/min程度の少流量から250L/min程度の中流量までの幅広いラインナップをご用意しております。