【用途例】スパッタリングターゲット 複合材料SiC/Si
SiC/Si複合材料をターゲット材としてご使用頂いております。
Si合金にSiCセラミックス粒子を含有させた複合材です。 結晶性Siよりも曲げ剛性が高く、使用途中の割れ、チッピング等の発生がなく最後まで安定した成膜が可能となります。 結晶性Siターゲットの1.3倍の成膜レート(成膜速度)により、効率的な成膜が可能です。
- 企業:日本ファインセラミックス株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年11月19日~2025年12月16日
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SiC/Si複合材料をターゲット材としてご使用頂いております。
Si合金にSiCセラミックス粒子を含有させた複合材です。 結晶性Siよりも曲げ剛性が高く、使用途中の割れ、チッピング等の発生がなく最後まで安定した成膜が可能となります。 結晶性Siターゲットの1.3倍の成膜レート(成膜速度)により、効率的な成膜が可能です。
JFC独自の金属セラミックス複合材料MMCによる問題解決の事例を実績より紹介します。カタログ(PDF)を参照ください。
アルミの軽さと鉄の剛性を併せ持ち、高熱伝導、低熱膨張を特長とする複合材料MMC。SiCとSiの複合材料はポアレスでパーティクル防止効果があり、ウェハチャックに適した材料です。 【主な特長】 ■軽量 ■高剛性 ■高熱伝導 ■低熱膨張 ■耐摩耗 【採用効果】 軽量・高剛性による装置性能向上やエネルギー効率向上、高熱伝導・低熱膨張による熱問題解決、鋳造製法で部品一体化による組立工数削減など、多くの効果をもたらすJFC独自の複合材料MMC(Metal Matrix Composites)は様々な分野で採用が拡がっています。 ※詳細はPDFダウンロードボタンから資料をご覧下さい。お問合せボタンからの質問、お問合せもお待ちしております。
複合材料MMCが半導体製造装置の性能を引き上げる~高熱伝導・低熱膨張・軽量・高剛性・高精度のMMC部品が装置性能を高めます
■MMC採用効果 冷却ジャケットをアルミ製から複合材料MMC(SA701)へ変更 ・アルミナESCとの熱膨張差低減→アルミナ同等の熱膨張率7x10^-6/K ・熱伝導性向上→アルミの15%UP(熱伝導率:160W/m・K) ※MMC接合技術により冷却ジャケットに内部流路を形成します。 ■開発情報 SiC/Si-Al複合材料を開発中。 次々世代『 窒化アルミESC 』との熱膨張差を最小化します。 ■高精度加工 高精度加工技術に新設備が加わり、より高精度の大型MMC製品の提供が可能になりました ○国内最大級の測定範囲を誇るレーザー干渉計(Zygo社製)導入 ○超高精度平面研削盤(ナガセインテグレックス社製)導入 ◆「SEMICON Japan 2025」日揮グループとして出展 ◆ 会期:2025年12月17日(水)~19日(金)10:00-17:00 会場:東京ビッグサイト(西1ホール) ブース:日揮ホールディングス(小間番号W1165) 複合材料、セラミックス、半導体・環境・エネルギー領域に向けた技術開発等を展示します。来場をお待ちしております。
適宜求められる特性を考慮し、源材料選定、混合~焼結条件を最適化し、開発・製造
アルミナセラミックはガラスのように溶着方式による封止が不可能な為、 その代わりに、フリットガラスを融解させ、それを、電極とバルブの 僅かな隙間に流し込み封じる方法が一般に取られます。 その為、封じ部の電極材料には、導電性、耐高温性、耐ハロゲン性が 求められる上に、フリットガラスとアルミナバルブと電極の間に熱膨張係数の 適当な傾斜関係になるような性能も求められます。 アルミナ粉とMo粉、(又はW粉)を適宜求められる特性を考慮し、 源材料選定、混合~焼結条件を最適化し、導電性素材を開発・製造。 融解フリットガラスが僅かな隙間(キャピラリー)を毛細管現象により 流れ込む際に影響する、開発材料の表面粗度なども考慮し、 センタレス研磨などを行って仕上げています。 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
金属より柔らかく、形状寸法の自由度が高い!当社が開発した新素材をご紹介します
『CZ-80』は、超熱拡散系セラミック複合体で構成された活性材料です。 "熱伝導速度の速さ""熱膨張率は限りなくゼロ""自由な設計"という優れた 特性をもち、これまで多くの研究機関・製造工場・加工工場を保有する企業様の 困難なご要望に、製品・OEM提供・部品という形で貢献してまいりました。 今後も、当素材の特性を活かして、従来では実現できなかった、企業様の ご要望を実現できるよう努力してまいります。 【特長】 ■急熱急冷の耐性が強く、耐熱衝撃性が高い ■熱膨張、熱収縮がほとんどない ■導電低抵抗体 ■電磁波を遮蔽できる ■有害物質を含まず、環境に配慮している ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アルミの軽さで鉄の剛性、低熱膨張、高熱伝導で放熱性に優れた複合材料です
鉄では重く、アルミニウムではたわみが大きくて困ってませんか? 熱がこもって困っていませんか? 温度によって精度が変化して困っていませんか? このような問題をMMCは解決します。 ●MMCの特長 ・高剛性:鋳鉄、鋼並みの剛性 ・軽 量:アルミ合金並みの軽さ ・低熱膨張:アルミ合金の1/2以下 ・高熱伝導:アルミ合金以上 ・制振性:ステンレス、鋳鉄、アルミ合金以上の振動吸収特性 ・低電気抵抗率 導電性! ※複合する物と配合率をかえることによってニーズにあった特性を実現できます。 ※複合材料のほかに各種セラミックスも製造販売しており、幅広いラインナップで皆様をサポートいたします。
軽量高剛性で振動減衰性に優れたMMCが装置の高精度化、高速化を実現します
●MMCの特長 ・軽量:アルミの軽さ ・高剛性:鋳鉄やステンレス以上の高剛性 ・低熱膨張:アルミの1/2以下 ・高熱伝導:アルミ以上 ・振動減衰性:ステンレス、鋳鉄、アルミ以上 ⇒動画をご覧下さい。画面左がMMC(SA301)です。
鉄と同等の剛性を約1/3の軽さで実現した金属セラミックス複合材料は、振動減衰性も良く、装置可動部品に最適。装置性能が変わります。
ベース金属とセラミックス系強化材を組み合わせることで、より良い物性を実現した複合材料 『 MMC(Metal Matrix Composites)』 形状や重量を変えずに剛性をあげたい、剛性を維持したまま軽量化したい、放熱性の優れた材料がほしい等、お客様の様々なご要望にお答えできる材料です。 【特長】 ■アルミと同等、鉄の約1/3の軽さ ■鉄・鋼と同等の剛性を持ち、たわみにくい ■振動減衰性が良い ☞動画を参照ください ■熱伝導性、放熱性が良い ■温度変化による膨張収縮が少ない ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい
アルミのように軽く、鉄のように強い!複合材料「MMC」詳しくは動画やカタログを参照下さい。
「アルミの軽さ」と「鉄の剛性」を両立した金属セラミックス複合材料『MMC』。 高熱伝導、低熱膨張で、振動を吸収する特性を持ち、複雑形状や大型品にも対応可能! ただ今、アルミや鉄からの置き換えに適した複合材料『MMC』の総合カタログを進呈中です! MMCの特長や用途事例は、アニメーション動画を参照ください。 【特長】 ■アルミと同等、鉄の約1/3の軽さ ■鉄・鋼と同等の剛性を持ち、たわみにくい ■熱伝導率、放熱性が高い ■熱収縮が少ない ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
アルミの軽さで鉄の剛性。軽くてたわまないから素早く動いてピタッと止まる。JFC独自の複合化技術が生んだMMCが装置性能を変える。
○弊社独自の複合化技術で作られるMetal Matrix Compositesは、金属とセラミックスの配合比率を、弊社にて好適に組み合わせた複合材料です。 ○アルミの軽さでありながら、鉄のようにたわまないMMCを、装置の可動部品として使えば、装置性能が劇的に変わります。 ○低熱膨張、高熱伝導の優れた熱特性が、装置の熱問題を解決します。 ○MMCの採用をご検討ください。
圧電セラミック複合材料の世界市場:標準、カスタム、自動車、医療、情報通信、消費財、航空宇宙&防衛、その他
本調査レポート(Global Piezoceramic Composites Market)は、圧電セラミック複合材料のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の圧電セラミック複合材料市場概要、主要企業の動向(売上、販売価格、市場シェア)、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を収録しています。 圧電セラミック複合材料市場の種類別(By Type)のセグメントは、標準、カスタムを対象にしており、用途別(By Application)のセグメントは、自動車、医療、情報通信、消費財、航空宇宙&防衛、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、圧電セラミック複合材料の市場規模を算出しました。 主要企業の圧電セラミック複合材料市場シェア、製品・事業概要、販売実績なども掲載しています。
壁を越える”何か”を求めている方必見!アルミの軽さ、鉄の剛性、高熱伝導、低熱膨張、振動減衰性のMMC。その採用効果とは?
問題解決の糸口が見つからない。壁を越える”何か”が欲しい。 弊社独自の新材料「金属セラミックス複合材料 MMC」があなたの「?」を解決します。 【主な特長】 ■軽量 ■高剛性 ■高熱伝導 ■低熱膨張 ■振動減衰性 ■耐摩耗性 【採用効果】 ■部品軽量化による装置高速化/省エネ化 ■部品剛性向上による装置高精度化 ■放熱性向上 ■熱変形防止 装置性能向上、熱問題解決、エネルギー効率向上、鋳造製法部品一体化による組立工数削減等、多くの効果をもたらす弊社独自の複合材料は、様々な分野で採用が拡がっています。 ※詳細はPDFダウンロードボタンから資料をご覧下さい。お問合せボタンからのご質問、お問合せもお待ちしております。