更新日： 集計期間:2026年01月14日～2026年02月10日
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0.1μmの分解能！熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。最大135mm×85mmのトラベルレンジ
『U-780』は、静止時にセルフロックし、低ノイズな PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージです。 熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。 10μm/sから120mm/sまでとダイナミックレンジが広く、 ジョイスティックとソフトウェアによる理想的な操作です。 【特長】 ■高い水準の安定性 ■0.1μmの分解能 ■最大135mm×85mmのトラベルレンジ ■倒立顕微鏡に適したタレットの自由回転 ■適合するZサンプルスキャナーあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
中央に貫通孔を配置、透過タイプ顕微鏡にも使用可能です。
顕微鏡用ヒートステージ PH133型は顕微鏡用の極薄セラミックヒータステージです。プレートの熱容量も小さいので、周辺への熱影響が少なく、中央に貫通孔を配置、透過タイプ顕微鏡にも使用可能です。プレートはアルミ合金、白アルマイト処理、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。OME対応いたします。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
材料の研究開発、評価に最適です！
顕微鏡用ヒートステージPF-121型は、ガラスチャンバー窒素ガス封入式ホットプレートです。従来、効果で導入が難しかった工程にも低額な投資で、顕微鏡高温観察が可能となりました。 ガラス面と、ホットプレート面の距離が3.5mm高倍率での顕微鏡観察に対応します。シンプルな構成により、安価な価格で提供いたします。 各種コントローラーとの組合せが可能です。 ・PCC-100E（標準）PCC100FL（流量計付き）、 ・PCC-107（温度プログラムタイプ） ヒータには、セラミックヒータを採用しておりますので、高速昇温が可能。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
三脚ネジで取り付け可能な顕微鏡サーモグラフィ用XYZステージ
顕微鏡サーモグラフィ用XYZステージです。 横・奥行・上下に±15mm（or 20mm）移動させることができます。 標準的な取り付け規格のないサーモグラフィでは各カメラのマウントに合わせてステージやマウントを購入しなければなりません。 しかし三脚ネジ（1/4"）のタップが切ってあるカメラなら、本機を用いることですぐにお使いになれます。
ドイツ・メルツホイザー社製の高精度電動ステージです。 顕微鏡のみならず検査装置などへの組み込みもおすすめです。
ドイツ・メルツホイザー社の顕微鏡用自動XYステージは装置の自動化と高精度位置決めを必要とするアプリケーションの為に開発されました。ほとんどのメーカーの正立/倒立顕微鏡へ取り付けが可能です。 最小移動範囲は75mm x 50mm、最大移動範囲は600mm x 600mmまでご用意致します。電動Zフォーカスドライブを組み合わせれば3軸制御可能です。ソフトウエア作成用のAPI & DLLを使用すれば簡単にオリジナル装置に組み込むことができます。
最大速度120mm/s、10nm分解能で高速・高精度走査を実現
U-781は、PILine(R)ピエゾリニアモータを採用したXYステージで、自己保持機能による安定性と潤滑不要の静音設計が特長です。 コンパクトかつフラットな設計で、顕微鏡下へのサンプルアクセスを妨げません。 LabVIEWやMATLAB、µManagerなど各種ソフトウェアに対応し、装置組込みや自動化に柔軟に対応できます。 サンプルホルダやZステージなどのオプションも豊富です。
平坦度5 nm・分解0.3 nm、共振周波数500 Hzで高速＆高精度動作を実現
P-734はパラレルキネマティクス構造によるXY軸ナノポジショニングステージです。 高精度フレクシャーガイドと静電容量式センサにより、0.3 nmシステム分解能と0.03 %リニアリティを実現。 動作量は100 µm×100 µmで、耐荷重は20N。 56 mm×56 mmの大開口により、光学顕微鏡などにも最適。 半導体マスク位置決め、走査型顕微鏡、表面粗さ計測など“平面度×高速”が求められる装置に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に好適！透過照明にも対応できるXY軸ステージ
『PTシリーズ』は、顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に適した 高精度・超薄型タイプの顕微鏡用XYステージです。 各社顕微鏡への搭載が可能で、透過照明にも対応できます。 またポジションコントローラCP-500、アナログジョイスティックCP-5Jを用いて、 拡大観察に関連する幅広い用途に対応することができます。 【特長】 ■すべての自動ステージに検査成績書を無償添付 ■仕様に合わせたフルカスタム対応可能 ■すぐに使える簡単アプリケーションをご用意 ■アプリケーションシステムとしても提案可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
半導体の製造／検査向け、顕微鏡向けの位置決めステージシステムを展示します
工苑が取り扱っているNanomotion社の超音波モータは、位置決めステージの高速移動と精密位置決めを両立できます。 この超音波モータを使ったステージは、電子ビーム／イオンビーム用ステージや、ライトシート顕微鏡などでの実績があります。 これらの位置決めステージは、ユーザ様の仕様からNanomotion社で設計提案を行い、またユニットとして製造供給も行っています。 このたび東京ビッグサイトで開催される「 SEMICON Japan 2023」で、この超音波モータを使ったステージシステムを出展します。 【出展製品】 ■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモ有) ■半導体産業向け4軸ステージ ■ライトシート顕微鏡用5軸ステージ 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
XYステージ上面の突起をなくし、フルフラットにしました！
XYステージ上面の突起をなくし、フルフラットにしたため、従来の自動ステージよりさらに使いやすくなりました。 顕微鏡のXYステージを自動で動かすことが可能です。 付属のコントローラと操作部で、マニュアル動作が可能なジョグ移動、設定した一定量を動かすことが可能なステップ移動、設定した任意の座標へ次々と移動可能なティーチング動作、などが可能です。 ホームページにて無償配布しているアプリケーションにて任意の動作を、比較的簡単にプログラム可能です。 ステージがどのくらい移動したか、表示単位を設定して液晶画面にわかりやすく表示し、作業者が把握することが可能です。 【特徴】 ○イメージングソフトに対応 →対応ソフトウェアをお持ちの方は、さらに便利にご使用可能 ○K規格ホルダに標準で対応 →各社インキュベータやサーモプレートも搭載可能 ○OLYMPUS製倒立顕微鏡、一部正立顕微鏡（ステージ固定式顕微鏡）に搭載可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高価で導入が難しかった工程にも低額な投資で、顕微鏡高温観察が可能に！
「PN-131型」は最高温度400℃ 対応のガラスチャンバー窒素ガス封入式ホットプレートです。 ガラス面と、ホットプレート面の距離が3.5mmと高倍率での顕微鏡観察に対応します。 ヒータには、セラミックヒータを採用しておりますので、高速昇温が可能です。また、シンプルな構成により、安価な価格で提供いたします。 各種コントローラーとの組合せが可能です。 ・PCC-100E（標準） ・PCC100FL（流量計付き）、 ・PCC-107（温度プログラムタイプ） ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
サイズ、天板など、カスタマイズ可能！ カバー付きも人気です。
評価プロセス用ステージなどへの簡易的なホットステージ追加。 また、顕微鏡下などへのホットステージとして。
超薄型で様々なアプリケーションに適合！50-250℃までの設定が可能です。MSA一番人気の製品です！！
評価プロセス用ステージなどへの簡易的なホットステージ追加。 また、顕微鏡下などへのホットステージとして。
超薄型で様々なアプリケーションに適合！
評価プロセス用ステージなどへの簡易的なホットステージ追加。 また、顕微鏡下などへのホットステージとして。
特注システム製品 「リニアスケール付き顕微鏡」のご紹介です。
ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。 光学設計及び検査装置、特注自動（手動）ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作させて頂いております。 また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。 特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。 【特徴】 ○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている ○出来る範囲を明確にすることにより、 製作品の完成度の向上をはかっている ○特注品にありがちな不具合などを 出来るだけ少なくするシステムで製作している 詳しくはお問い合わせ下さい。
最小動作10nmで、最大7mm移動、1kgまでの無電源保持 微細観察を支える高精度Z軸
V-308はボイスコイル直動とクロスローラーガイドを組み合わせたZ軸フォーカスステージです。 最小インクリメント10 nm、調整可能な7 mmストロークにより、光学系の焦点位置をナノレベルで最適化できます。 大口径レンズや長作動距離レンズを使用する多光子・深部組織イメージングで高い信頼性を提供します。 クロスローラーガイドの高剛性構造と10 nm分解能エンコーダが、7 mm全域で滑らかなナノポジショニングを保証。 詳細は PDF をダウンロード、またはお問い合わせください。
顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 不良箇所のNGマーキング】
【ニーズ】 前工程の検査で良否判定したパレットに並んだ部品のうち、不良部品だけにディスペンサーでNGマークを付けたい。 【改善事例】 ディスペンサーとXYステージを連動させて、マップで指定した箇所のみ移動させNGマーキングします。 測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。
各種装置導入後のXY軸後付けに好適！LMガイドの採用によりロングストロークを実現。透過穴も確保し、幅広いご用途で利用可能。
『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する 超薄型XYステージです。 透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても 使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。 また、LMガイドの採用によりロングストロークで、用途が広がります。 【特長】 ■2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現 ■当社Z軸を追加しても全高70mm ■透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、 顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1軸50〜1800 µmのストロークのタイプ、静電容量センサーで高分解能動作
PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造—XY軸、XYZ軸、XYθz軸動作が可能
P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩耗ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能をもち、動作軸は、XY軸、XYZ軸、XYθz軸のタイプがあります。 XY軸は100µmと200µm、Z軸は20µm、θzは2mradタイがあります。耐荷重50Nあり、光学検査、ウェハー検査、ナノポジショニング、計測、顕微鏡などアプリケーションに最適。 50 × 50mmの開口で透過光も可能。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
0.1 nm分解能×0.02 %直線性。50-250 µmを摩擦ゼロで高速サーボ制御
PIHera P-620.Z／P-621.Z／P-622.Zは、垂直ストローク50・100・250 µmを0.1 nm分解能で駆動するZ軸ピエゾステージです。 静電容量センサが移動プラットフォームを直接計測し、リニア誤差を0.02 %に抑制。 ゼロバックラッシのフレクシャガイドは潤滑不要・発塵レスで、1 kHz級共振周波数とサブミリ秒応答を実現します。 アクチュエータはオールセラミック絶縁PICMA(R)で1000億サイクルの長寿命を実証済み。 干渉計、共焦点顕微鏡、半導体検査などサブナノ安定性と高速性を同時に求める装置のZ制御に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
産学連携で実現！ステッピングモーターを用いた高精度なX-Yステージ製作
✅ご依頼内容 茨城大学様から外国製のポイントカウンター（X方向のみに稼働）の修理のご依頼をいただいたことをきっかけに、Ｘ-Ｙ方向に移動するステージを作成しました。 ✅工夫ポイント ステッピングモーターを使用することで、22mm×22ｍｍの試料可動範囲で0.1ｍｍ刻みのステップを可能としました。 また、顕微鏡観察研究において、気泡や砕屑粒子などの量比を高精度に計測するためのシステムとして、パソコンと連動したポイントカウンタープログラムを一緒に開発しました。これにより、作業の手を止めることなく、研究ができるようになりました。 ✅成果 ・高精度な位置決め ステッピングモーターにより、センサーを使用せずに高精度な位置決めが可能 ・薄型設計 偏光顕微鏡の回転ステージに装着しても操作を妨げない薄型設計
ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○LEICA製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○OLYMPUS製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
低価格で、設置面積わずか44 x 44mmのコンパクトな、リニアポジショニングシステム
P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積わずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○Zステージ、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
当社自動ステージ群の製品を組合せリニアスケールを用いてフルクローズ制御位置決めを可能にしました。特注品にも対応いたします。
位置決め装置を総合的にアドバイスし、御客様のニーズに会わせた製品を構築する会社です。 設計、製作、検査、納入まで一環した製品作りに取組みかゆいところに手が届く小回りのきく対応が出来ます。
高負荷ピエゾスタックアクチュエータ、開口部あり。センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備え
PICA(TM) Thruアクチュエータは、ピエゾ空洞積層型アクチュエータです。 センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備えています。 【特徴】 ○透過光アプリケーションまたは機械的与圧に適したセンター開口部 ○10-9サイクルを超えても高信頼性を維持 ○最大断面直径：56mm ○多様な形状を用意 ○サブミリセカンドの応答性、サブナノメートルの分解能 ○真空および非磁性対応バージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの超音波モータ。装置に合わせカスタムメイドにも対応します。
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。 大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました！
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。
高倍率観察時の細かい位置調整に好適！市販の顕微鏡と組み合わせて使用
『3R-XY01』は、XYマイクロメーターを回して位置調整するだけで、 観察したい箇所を簡単に移動させることができるXYステージです。 ワークを手で動かすことで、行き過ぎたり角度が変わったりして見たい箇所が スムーズに見られない、ということも無くなります。 また、下からの光を当てるための穴があるので、透過照明による観察でも ご活用いただけます。 【特長】 ■ワークを直接触らずに位置調整 ■透過照明に対応 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
