真空乾燥・真空ベーキング 実験装置
お客様からの実験依頼（真空乾燥・真空ベーキング処理など）にお応えしております。
佐藤真空社では、従来の設備に加え、高真空（×10^4Pa）/高温（Max 500℃）での 処理を可能とする実験装置を新たに導入し、お客様のワークサンプルテスト用 として常設しております。
真空ポンプ(10pa) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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真空ポンプの製品一覧
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ラボ用に最適！高真空油回転式 真空ポンプ CRV-pro
大容量オイル、耐食コーティング、高冷却効率デザインにより、オーバーヒートを防ぎ、オイル劣化を遅らせ、ポンプの寿命を延ばします。
(1)クール･ランニングオペレーション 冷却効率の良いデザイン・大容量のオイルによって競合品と比べ、10℃低い運転温度を実現しました。 (2) 耐食性コーティング ポンプモジュール部には黒色酸化コーティングを、オイルケース部にはPTFEコーティングを処理しています。 (3)一般的なロータリーポンプと比較し、約40％オイル容量をUP。腐食性のあるガスを希釈し、ポンプへのダメージを低減します。また、静穏や熱の吸収にも効果を発揮します。
DVP社製 油回転式真空ポンプ
ユーザー様の用途に合わせて選択できる油回転式真空ポンプ！
当社は、一般産業等の様々なアプリケーションに数多く採用されている DVP社製の『油回転式真空ポンプ』を取り扱っております。 大気圧から中真空（105～10-1Pa）程度までの真空状態を簡単に作る事ができ、 ユーザ様の用途に合わせて選択が可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■排気速度：25m3～350m3/h ■到達真空度：10Pa～1kPa（abs） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：有限会社スコットプランニング 工場
- 価格：応相談
スクリュー式ドライ真空ポンプ
低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易
当社では、独自のスクリュー形状（Queen Bee Screw）により 驚くべき低速（3600min-1／60Hz、3000min-1／50Hz）を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：大晃機械工業株式会社 陸上事業部
- 価格：応相談
真空乾燥・真空ベーキング装置 DN "Aurora"Type
到達圧力 ×10^1Pa により、多様な研究開発の要請にお応えする真空乾燥装置です。
外装はオールステンレス製の美しいヘアライン仕上げで、設置場所に合わせた 真空ポンプとのつなぎ方が可能です。 実験机の上などのスペースを有効利用できる真空乾燥装置です。
真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2-1/2-2
測定精度向上！真空計の状態確認が一目でわかるLEDを搭載しています。【アルバック／ULVAC】
真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2-1/ST2-2は、真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大限に生かした長寿命を実現。 ULVACは、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化。 三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においてもお役立て頂けます。 【特徴】 ○三極管型メタル電離真空計（特許申請中） ○測定子が小型・メタル製 ○広帯域測定 ○異なる測定範囲の測定子が接続可能 ○正確な大気圧測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
エアー駆動ノズル式脱気真空包装機M4188PA-450ES5mm
エアー駆動ノズル式脱気真空包装機(傾斜作業台タイプ) パッケージの酸化・腐食防止のための真空包装機器
ノズルを介して封筒の内部を直接真空で接着することで、作業速度が速く操作が簡単です。 空気圧式真空包装機とは異なり、駆動時に外部エアコンプレッサーを必要とせず、真空センサとデジタルタイマーが内臓され、真空度（単位：kPa）、時間（単位：0.1秒）を微調整でき、温度センサが内臓されて温度を調節して包装が可能です。
真空拡散接合装置
さまざまな金属などを拡散接合！微拡散接合装置や高周波加熱式拡散接合炉をご紹介
アトーテックで取り扱う真空拡散接合装置をご紹介いたします。 金属などを原子レベルで接合させる「微拡散接合装置」は、当社の真空技術を 使用して設計・製造。同じ材料同士の接合や異なる材料の接合が可能です。 また、「高周波加熱式拡散接合炉」は、短時間で効率良く拡散接合を 行うことができ、φ30までの各種金属類の拡散接合にご使用いただけます。 【微拡散接合装置 仕様】 ■加圧方式：分銅＋テコによる加重方式 ■過熱寸法：40φ×40H ■過熱方式：高周波、プログラム式温度調節 ■最高過熱温度：1400℃ ■真空度：×10-5PA ■高周波電源：20KW ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アトーテック 株式会社
- 価格：応相談
【導入事例】大型含浸装置用真空排気システム
7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気！当社の真空排気システムをご提供した事例
大型含浸装置において含浸タンク内を大気圧から真空状態に繰り返し排気 するために使用される、大型ルーツ真空ポンプを主ポンプとした「真空排気 システム」を導入した事例をご紹介いたします。 本事例では、大型電動機用真空含浸装置において、13m3の容積を持つ 含浸タンク内を、7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気することが 求められました。 設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動。吸気口と排気口の間には弁体の自重によって 開閉する逃し弁を備えており、高圧側からのポンプ起動を可能にしています。 【特長】 ■設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動 ■吸気口と排気口の間には弁体の自重によって開閉する逃し弁を備えており、 高圧側からのポンプ起動が可能 ■電動機・真空スイッチ・電磁弁はすべて防爆仕様 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
イオンゲージ『M-311HG』
再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れた特長を持っています
『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。 イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、 広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。 【特長】 ■ワイドな圧力測定範囲 ■高応答アナログ出力 ■4つのエミッション電流設定モード ■省スペース・低消費電力 ■安全性と環境に配慮した製品でRoHSおよびCEマーキングに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
- 価格：応相談
ファイファー社 OmniControl シリーズ
ファイファー社製新型コントローラです。 １～２ch の真空計と真空ポンプ（TMP or ドライポンプ）が１台で起動可能です。
下記真空計が起動可能です。 ●ピラニゲージ ●コールドカソードゲージ ●フルレンジCCゲージ ●フルレンジBAゲージ ●キャパシタンスゲージ 下記真空ポンプが起動可能です。 ●ターボ分子ポンプ ●スクロールポンプ ●ダイアフラムポンプ ●ルーツポンプ
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』
無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能！
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
- 価格：応相談
コールド・カソード・イオン・ゲージ ＣＲ−Ｄ８Ａ
測定範囲：5.0×10‒1～1×10‒6Paのコールド・カソード・イオン・ゲージ
フィラメントの断線がなく、高真空領域での確実な放電を実現する放電監視機能を標準装備。キー操作で取り扱いやすくデジタルとバーグラフで圧力状態を表示し、放電停止時など各種メッセージにより動作状態を確認できる安心機能付です。
- 企業：佐藤真空株式会社
- 価格：応相談
イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』
新設計により視認性と機能アップ！自動化装置・遠隔操作用装置に適しています
『P-500』は、10^-2Pa～10^-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又は ノーブルポンプを運転する制御装置です。 表示は緑色の大型LEDを採用し、離れた位置からの視認性を向上。 従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を 実現しています。 充実したI/0機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への 対応が可能など自動化装置・遠隔操作用装置に適しています。 【特長】 ■高性能 ■充実の機能 ■高互換性 ■通信対応 ■適合規格：CEマーキング、RoHS指令 適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
- 価格：応相談
大型エジェクター「ラウンドポンプ」
COAXテクノロジーによる高いエネルギー効率が得られます
大型エジェクター「ラウンドポンプ」は、COAXテクノロジーによる高いエネルギー効率が得られます。 COAX Si MIDI カートリッジ 6本による大きな真空流量を発生させます。 【特徴】 ○小型でコンパクト、軽量 ○真空経路への取付け・組込みが容易 ○統合型ホースコネクターを採用 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ピアブ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
小型エジェクター「P3010」圧縮空気削減機構搭載型
piSAVE onoff(省エネ機構)が空気の消費量を最小限にとどめます
小型エジェクター「P3010」圧縮空気削減機構搭載型は、3種類の MINI カートリッジ( Pi、Si、Xi )が選択可能です。 piSAVE onoff (省エネ機構) が空気の消費量を最小限にとどめます。 【特徴】 ○シートメタル、ガラス、プラスチック等の取扱いにおける リークのない用途にはヒステリシス大を推奨 ○作業において非常に正確な真空レベルが要求される場合は、 ヒステリシス小を推奨 ○ES 機構のスイッチレベルは調整可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ピアブ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
小型エジェクター「P3010」
容易にシステムに必要かつ正確な制御機能を構成できるプラットフォームです
小型エジェクター「P3010」は、3 ステージ COAX カートリッジ MINI を採用しました。 COAX カートリッジは用途に合わせて選択してください。 リークのないシステムにおける迅速で信頼性の高い排気に適しています。 【特徴】 ○サイレンサーと真空フィルター付き ○スリムでコンパクト、構成可能なモジュラー設計を採用 ○軽量 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ピアブ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』
スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着
『MC-LMBE』は、操作性の高いコンパクトな超高真空レーザーMBE（PLD） システムです。 1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニットを搭載。 モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着しています。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換できます。 【特長】 ■操作性が高くコンパクト ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下 ■モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着 ■1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニット ■6種類のターゲットが使用可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社パスカル
- 価格：応相談
真空ポンプ
経済的なポンプ！幅広く使用されています！
当製品は、メカニカルブースタポンプと合わせて使用するオイル密封式・ 回転式の真空ポンプです。 油で密封されたロータリー・ポンプは、圧力が気圧から0.13～1.3×10-2Paまで 変化するガスを圧縮し、次に、空気中にそれらを放出させます。 ダイレクトに、オイルによって密封されたロタリーバキュームポンプは コンパクト性と無塵性の両方を提供します。 【特長】 ■メカニカルブースタポンプと合わせて使用可能 ■ガスを圧縮 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社三美テックス
- 価格：応相談
小型エジェクター「P3010」真空破壊機構搭載型
3種類の MINI カートリッジ( Pi、Si、Xi )が選択可能です
小型エジェクター「P3010」真空破壊機構搭載型は、3種類の MINI カートリッジ( Pi、Si、Xi )が選択可能です。 スリムでコンパクト、構成可能なモジュラー設計を採用しました。 【特徴】 ○クイックリリース容積は 3～60 cm3 ○サイレンサーと真空フィルター付き ○軽量 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ピアブ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
位置決めテーブル『MT12VST』
コンパクト＆高剛性！超小型ボディの位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 手のひらに載るほどの超小型ボディでありながら、案内系にクロスローラ ガイド、伝達系に精密ボールねじ（予圧品）を採用し、高剛性を実現、安定 した動きを保証します。 またXY軸、XZ軸など多軸に組み合せ可能なブラケット等、オプションも ご用意しています。 【特長】 ■クリーン対応品も用意 ■コンパクト＆高剛性 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせた最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ターボ分子ポンプ排気ユニット YTP シリーズ
大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVAC】
YTP シリーズは、「ピボット軸受＋磁気軸受（永久磁石）」を採用したターボ分子ポンプ UTM シリーズを使用した大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。START/STOP スイッチで自動で排気可能なSA タイプと、手動操作のM タイプをラインナップしています。 【特徴】 ○自動操作型(YTP-SAシリーズ)と手動操作型 (YTP-Mシリーズ)の2種類、排気速度も4種類の選択が可能 ○停電時は、自動でフォアバルブを閉めロータリーポンプ内を自動ベント →復電しても、排気ユニットは動作しない ○ターボ分子ポンプに使用しているフッ素油の飽和蒸気圧は、 10-11 Pa台(20℃)のため、限りなくオイルフリー ○ターボ分子ポンプは高性能軸受を採用しているため、 面倒なオイル交換やベアリング交換が不要 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
油回転真空ポンプ『VDCシリーズ』
ブラシレスDC直流モーター搭載の油回転真空ポンプ
『VDCシリーズ』はブラシレス直流モーターを搭載した油回転真空ポンプです。 交流より静かで省電力、しかも軽量。 高真空が得られる2段排気方式。 逆流防止機能により、停電などで停止した場合に真空側へのオイルの逆流を防止します。 強制給油方式の採用により、大気圧付近でも排気速度が安定。 ガスバラスト機構により、凝縮性ガスや水蒸気吸引によるオイルの劣化と真空ポンプの能力低下を防ぎ、寿命を延ばします。 サーマルプロテクター内蔵により、連続運転でも安心。
- 企業：BBKテクノロジーズ株式会社 空調工具部門
- 価格：10万円 ~ 50万円
コンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』
扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用できます
『PAC-LMBE』は、拡張性の高い超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。 基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の いずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換いただけます。 【特長】 ■拡張性が高い ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下 ■6種類のターゲットが使用可 ■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換 ■オプションポート：各種コンポーネント取付可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社パスカル
- 価格：応相談
ペニング真空計『DG-1B』
軽量で取扱いが簡単！コンパクトなぺニング真空計
『DG-1B』は、標準的な機能のぺニング真空計を小型化したコンパクトタイプです。 「ペニング真空計」は、磁場中における放電電流を検出して測る真空計です。 冷陰極放電なのでフィラメントの焼損もなく、一気圧でスイッチを入れても 故障を起こすことはありません。 取扱いが簡単で堅牢なので、工業用計器として真空装置等に手軽に幅広く 使用出来ます。その他、お客様のご要望に応じて改良も可能です。 【特長】 ■コンパクトタイプ ■測定球はマグネットに特殊合金を使用 ■小型・軽量で取扱いが簡単 ■測定球フィラメントの焼損等がない ■圧力のインジケーターとして容易に使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：若井田理学株式会社
- 価格：応相談
PIAB『P5010』中型エジェクター
プッシュインテクノロジーにより、ツールなしでカートリッジの脱着が可能です。
Piab（ピアブ）中型エジェクター「P5010」は、COAX プッシュインテクノロジーにより、ツールなしでカートリッジの脱着が可能です。 2ステージまたは3ステージ COAXカートリッジ MIDI を採用しました。 COAXカートリッジは用途に合わせて選択してください。 【特徴】 ○よごれやゴミに影響されない内蔵フロースルー型サイレンサーを採用 ○同じサイズの従来のエジェクターに比べ、空気消費量の大幅な削減が可能 ○スリムでコンパクト、構成可能なモジュラー設計を採用 ○軽量 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （ピアブ・ジャパン株式会社）
- 企業：ピアブ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
真空乾燥・真空ベーキング装置 DH "Fairy"Type
高真空・高温対応 全自動式真空乾燥・真空ベーキング装置。油拡散ポンプ排気系とターボ分子ポンプ排気系の2タイプがあります。
高真空・高温対応 全自動式真空乾燥・真空ベーキング装置。油拡散ポンプ排気系(×10^3Pa)…DH-DPタイプ真空乾燥器。ターボ分子ポンプ排気系(×10^4Pa)…DH-TPタイプ真空乾燥器。 ■生産機として設計された自動式真空乾燥・真空ベーキング装置です。 生産ライン用として求められる信頼性、安全性、操作性を追及するとともに、Max 650℃までの高温処理を可能とした真空乾燥装置です。 本シリーズの2 タイプは、油拡散ポンプとターボ分子ポンプという、到達圧力だけでなく方式も異なる真空ポンプをメインとしておりますので、クリーン度を要求されるケースなど、目的・用途に合ったタイプからご選択ください。
真空対応 位置決めテーブル ＜PT＞
真空対応 位置決めテーブル ＜PT＞
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
- 企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
- 価格：10万円 ~ 50万円
真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞
真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
- 企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
- 価格：10万円 ~ 50万円
