更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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大容量オイル、耐食コーティング、高冷却効率デザインにより、オーバーヒートを防ぎ、オイル劣化を遅らせ、ポンプの寿命を延ばします。
(1)クール･ランニングオペレーション 冷却効率の良いデザイン・大容量のオイルによって競合品と比べ、10℃低い運転温度を実現しました。 (2) 耐食性コーティング ポンプモジュール部には黒色酸化コーティングを、オイルケース部にはPTFEコーティングを処理しています。 (3)一般的なロータリーポンプと比較し、約40％オイル容量をUP。腐食性のあるガスを希釈し、ポンプへのダメージを低減します。また、静穏や熱の吸収にも効果を発揮します。
低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易
当社では、独自のスクリュー形状（Queen Bee Screw）により 驚くべき低速（3600min-1／60Hz、3000min-1／50Hz）を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計【アルバック／ULVAC】
センサユニットSP1 は、「測定子WP シリーズと回路部一体型」で3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計です。この真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込むことで、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。 【仕様】 ○LED表示 パワー、エラー、セットポイント1/2 ○電源電圧 DC24V±2V, 90mA（Max.） ○入出力コネクタ D-sub-15P（M2.6 screw） ○本体質量 190g（測定子含まず） ○付属品 入出力コネクタ 1式 取扱説明書 1部 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ユーザー様の用途に合わせて選択できる油回転式真空ポンプ！
当社は、一般産業等の様々なアプリケーションに数多く採用されている DVP社製の『油回転式真空ポンプ』を取り扱っております。 大気圧から中真空（105～10-1Pa）程度までの真空状態を簡単に作る事ができ、 ユーザ様の用途に合わせて選択が可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■排気速度：25m3～350m3/h ■到達真空度：10Pa～1kPa（abs） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
到達圧力 ×10^1Pa により、多様な研究開発の要請にお応えする真空乾燥装置です。
外装はオールステンレス製の美しいヘアライン仕上げで、設置場所に合わせた 真空ポンプとのつなぎ方が可能です。 実験机の上などのスペースを有効利用できる真空乾燥装置です。
測定精度向上！真空計の状態確認が一目でわかるLEDを搭載しています。【アルバック／ULVAC】
真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2-1/ST2-2は、真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大限に生かした長寿命を実現。 ULVACは、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化。 三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においてもお役立て頂けます。 【特徴】 ○三極管型メタル電離真空計（特許申請中） ○測定子が小型・メタル製 ○広帯域測定 ○異なる測定範囲の測定子が接続可能 ○正確な大気圧測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
エアー駆動ノズル式脱気真空包装機(傾斜作業台タイプ) パッケージの酸化・腐食防止のための真空包装機器
ノズルを介して封筒の内部を直接真空で接着することで、作業速度が速く操作が簡単です。 空気圧式真空包装機とは異なり、駆動時に外部エアコンプレッサーを必要とせず、真空センサとデジタルタイマーが内臓され、真空度（単位：kPa）、時間（単位：0.1秒）を微調整でき、温度センサが内臓されて温度を調節して包装が可能です。
さまざまな金属などを拡散接合！微拡散接合装置や高周波加熱式拡散接合炉をご紹介
アトーテックで取り扱う真空拡散接合装置をご紹介いたします。 金属などを原子レベルで接合させる「微拡散接合装置」は、当社の真空技術を 使用して設計・製造。同じ材料同士の接合や異なる材料の接合が可能です。 また、「高周波加熱式拡散接合炉」は、短時間で効率良く拡散接合を 行うことができ、φ30までの各種金属類の拡散接合にご使用いただけます。 【微拡散接合装置 仕様】 ■加圧方式：分銅＋テコによる加重方式 ■過熱寸法：40φ×40H ■過熱方式：高周波、プログラム式温度調節 ■最高過熱温度：1400℃ ■真空度：×10-5PA ■高周波電源：20KW ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
測定範囲：5.0×10‒1～1×10‒6Paのコールド・カソード・イオン・ゲージ
フィラメントの断線がなく、高真空領域での確実な放電を実現する放電監視機能を標準装備。キー操作で取り扱いやすくデジタルとバーグラフで圧力状態を表示し、放電停止時など各種メッセージにより動作状態を確認できる安心機能付です。
ファイファー社製新型コントローラです。 １～２ch の真空計と真空ポンプ（TMP or ドライポンプ）が１台で起動可能です。
下記真空計が起動可能です。 ●ピラニゲージ ●コールドカソードゲージ ●フルレンジCCゲージ ●フルレンジBAゲージ ●キャパシタンスゲージ 下記真空ポンプが起動可能です。 ●ターボ分子ポンプ ●スクロールポンプ ●ダイアフラムポンプ ●ルーツポンプ
無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能！
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
軽量で取扱いが簡単！コンパクトなぺニング真空計
『DG-1B』は、標準的な機能のぺニング真空計を小型化したコンパクトタイプです。 「ペニング真空計」は、磁場中における放電電流を検出して測る真空計です。 冷陰極放電なのでフィラメントの焼損もなく、一気圧でスイッチを入れても 故障を起こすことはありません。 取扱いが簡単で堅牢なので、工業用計器として真空装置等に手軽に幅広く 使用出来ます。その他、お客様のご要望に応じて改良も可能です。 【特長】 ■コンパクトタイプ ■測定球はマグネットに特殊合金を使用 ■小型・軽量で取扱いが簡単 ■測定球フィラメントの焼損等がない ■圧力のインジケーターとして容易に使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
直流ブラシレスモーター搭載の充電式真空ポンプ！
『RP-225』は、2ステージ仕様の充電式真空ポンプです。 フル充電（60分）により、50分間の連続使用が可能。 また、直流ブラシレスモーターを搭載しています。 【構成】 ■RP-225-H：充電式真空ポンプ本体のみ ■RP-225-BA5：専用バッテリー（5A） ■RP-225-CH：専用充電器 ■RP-225-K：専用ケース ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
最もエネルギー効率の高いエジェクター技術を採用しました。
中型エジェクター「piCLASSIC Siモデル」は、最もエネルギー効率の高いエジェクター技術を採用しました。 Si カートリッジは、大きな真空流量を必要とするアプリケーションに最適です。 多孔質のワークの取扱いやリークがある場合に適しています。 【特徴】 ○COAX Si32 3 ステージカートリッジは 1～6 本まで利用できる ○必要に応じて容量の増大が容易 ○軽量で、様々な組合せが可能なモジュラー設計を採用 ○メンテナンスのための分解が容易 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
あらゆるガスの排気に対応する神港精機の水封式真空ポンプ
豊富な販売実績を持つスタンダードモデルです。 他方式ではトラブルの基となる様々なガスを 封水でシールすることにより安定して排気します。 ◆水封式真空ポンプは、 水でシールすることで 凝縮性ガスや引火性ガスの 排気も可能にします。 ◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、 多少の粉塵では止まりません。 ◆腐食性ガスが混入する用途では、 ステンレス等の耐食性に優れる材質の選定も可能です。 ◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます（水温15℃時）。 また空気エゼクタとの組み合わせで800～1,300Paまで向上させることが可能です。 ◆軸封部はグランドパッキンが標準仕様ですが、 メカニカルシールも選択できます。 ◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。 ◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、 封水を直接流出させずに循環させる 「封液循環型」水封式真空ポンプも ラインナップしています。
高温の真空乾燥・ベーク処理を全自動で…DY-Pタイプ。 さらに大排気量のポンプを組込み 排気速度を大幅UP…DY-MPタイプ。
生産機として設計された自動式真空乾燥・ベーキング装置です。生産ライン用として求められる信頼性、耐久性、操作性を追及するとともに、Max 650℃までの高温処理を可能とした真空乾燥装置です。 到達圧力と排気速度の異なる2タイプ(DY-PとDY-MP) から、目的、用途に合った 機種をお選びください。 ■DY-Pタイプ 排気系が油回転真空ポンプ単独で構成され、到達圧力は×10Pa となります。 ■DY-MPタイプ 排気系が油回転真空ポンプとメカニカルブースターで構成され、到達圧力が×1Pa とDY-Pタイプより一桁良くなるとともに、メカニカルブースターにより大きな排気速度が得られます。ガスなどを多く含んだワークの大量処理に適しています。
薄い！厚さ25mmの高真空対応位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 ストローク200mmまでは最薄25mmで、狭く限られた場所でも使用 できます。 また当社では、自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の 使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空 アプリケーションを提供することができます。 【特長】 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■並べて配置など複数設置に最適 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
piSAVE onoff(省エネ機構)が空気の消費量を最小限にとどめます
小型エジェクター「P3010」圧縮空気削減機構搭載型は、3種類の MINI カートリッジ( Pi、Si、Xi )が選択可能です。 piSAVE onoff (省エネ機構) が空気の消費量を最小限にとどめます。 【特徴】 ○シートメタル、ガラス、プラスチック等の取扱いにおける リークのない用途にはヒステリシス大を推奨 ○作業において非常に正確な真空レベルが要求される場合は、 ヒステリシス小を推奨 ○ES 機構のスイッチレベルは調整可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
直流ブラシレスモーター搭載の充電式真空ポンプ！ RP-225シリーズのフラッグシップモデル！ 9Ah充電池搭載！
『RP-225L-V50』は、2ステージ仕様の充電式真空ポンプです。 9Ah充電池を搭載しており、フル充電（100分）により120分間の連続使用が可能です。 直流ブラシレスモーターを搭載しています。 3HPクラスのパッケージエアコン迄真空引きが可能です。 視認性に富んだデジタル真空ゲージキット付です。 【構成】 ■RP-225-H：充電式真空ポンプ本体のみ ■RP-225-BA9：専用バッテリー（9A） ■RP-225-CH：専用充電器 ■RP-225-K：専用ケース ■VA-50SB：デジタル真空ゲージキット ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
省エネ・低騒音！大気圧～到達圧力まで全圧力域で運転可能です
『プレミアム パッケージポンプ』は、省エネ、低騒音で IoT対応システムを搭載した新型真空ポンプです。 大気圧～到達圧力まで全圧力域で運転可能です。 タッチパネルに「運転稼動管理」や「圧力・負荷率グラフ」など 様々な情報を表示し、簡単操作で運転条件を変更できます。 【特長】 ■吸着輸送・真空成型・工場集中真空源 ■省エネ・低騒音 ■IoT対応システム ■簡単タッチパネル操作 ■複数台は台数制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ターボ分子ポンプ等の高真空ポンプの補助ポンプとして好適！
『VM70F』は、70m3/hで200V単相を実現する直結型油回転真空ポンプです。 ポンプ本体起動スイッチまたはD-SUBによる起動可能。凝縮性ガスに 強い製品です。 冷却水工事不要で導入できます。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【特長】 ■大排気速度で単相電源 ■リモート/ローカル起動対応 ■ガスバラスト常時間 ■空冷仕様 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
コンパクト＆高剛性！超小型ボディの位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 手のひらに載るほどの超小型ボディでありながら、案内系にクロスローラ ガイド、伝達系に精密ボールねじ（予圧品）を採用し、高剛性を実現、安定 した動きを保証します。 またXY軸、XZ軸など多軸に組み合せ可能なブラケット等、オプションも ご用意しています。 【特長】 ■クリーン対応品も用意 ■コンパクト＆高剛性 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせた最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高真空対応！互換性も高い位置決めテーブル
当製品は、真空対応の位置決めテーブルです。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、お客様の要望に沿った 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。 また、VTシリーズは各メーカー市販のステージ（大気用）と同等サイズ バリエーションと互換性も高く、貴社既存の大気仕様装置を設計変更を することなく、低放出ガス仕様や真空対応化することも可能です。 【特長】 ■高真空（1×10-5pa程度）対応 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせて最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
取扱いが簡単で堅牢！リレー接点を2点装備し、システム制御にも使用可能です
『DG-2B/DG-2B2』は、メーターと本体（アンプ）が分かれている セパレートタイプのペニング真空計で、設置場所を選ばず、装置への 取付に適しています。 「ペニング真空計」は、磁場中における放電電流を検出して測る真空計です。 冷陰極放電なのでフィラメントの焼損もなく、一気圧でスイッチを入れても 故障を起こすことはありません。 また「DG-2B2」は、リレー接点を2点装備しているのでシステム制御にも 使用する事が可能。その他、お客様のご要望に応じて改良が可能です。 【特長】 ■セパレートタイプ ■設置場所を選ばず、装置への取付に好適 ■測定球はマグネットに特殊合金を使用 ■測定球フィラメントの焼損等がなく堅牢 ■圧力のインジケーターとして容易に使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
豊富な実績に裏打ちされた真空乾燥器・真空乾燥装置のスタンダード。研究開発、生産プロセスなど幅広い用途に対応する万能タイプ。
DQ-P（ポンプ組込タイプ） 省スペースのポンプ組込み一体型、停電時 のオイルバック防止など保護対策も充実。 DQ-S（卓上タイプ） 設置場所に合わせた真空ポンプとのつなぎ 方が可能、スペースを有効利用できます。
広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑えました。【アルバック／ULVAC】
ULVAC は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』（特許申請中）を開発、製品化しました。 従来方式の複数の原理を一つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷の対応となります。 【ラインナップ】 ○SH2-1 標準仕様 ○SH2-2 シリアル通信仕様 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
UFC フランジを使用した超高真空対応の各種導入機です。【アルバック／ULVAC】
UFC フランジ（ナイフエッジ型メタルシール方式の超高真空対応のベーカブルフランジ）を使用した超高真空対応の各種導入機です。 CMS シリーズは電流・電圧、TDU シリーズは回転運動、TSU シリーズは直線運動を大気側から超高真空容器内に漏れなく導入する端子です。 TVU シリーズは、大気側から超高真空容器内を広視野で観察するための覗窓です。 【ラインナップ】 ○電流導入端子 C M S シリーズ ○超高真空回転導入端子 T D U シリーズ ○超高真空直線導入端子 TSU シリーズ ○超高真空ゼロレングス覗窓 TVU シリーズ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応したモデル
ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■耐食性の向上（Niフィラメント採用など） ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2Paから大気圧 ■取付方向の制約がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
油回転・スクリュー式真空ポンプの代替！小型で高真空（1Ｐａ）を実現！
ドライ真空ポンプ「FT6-P型」は油回転式真空ポンプ・スクリュー式真空ポンプの問題点を解消したオイルフリーで、停止直後の再起動が可能な空冷式ドライ真空ポンプです。 ※詳細はカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。
新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮！
【主な特徴】 ◆ 環境に優しい完全オイルフリー ◆ 排気速度 ２５０ｍ３／ｈ（ＳＰ２５０）、６３０ｍ３／ｈ（ＳＰ６３０） ◆ 新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮（最高到達真空度：１Ｐａ以下) ◆ 新設計フラッシングキット搭載（オプション）により内部洗浄時間とコストを飛躍的に削減 ◆ 完全空冷（オプションにて水冷も可能） ◆ 独自のべアリング構造により、メンテナンス時ベアリングの脱着が不要。通常メンテナンス時間を大幅に短縮 ◆ 省エネ設計 ◆ パージガス機能を搭載。バインダー等、パーティクル吸い込みからシール部を完全保護 ◆ 独自のモニタリング機能 ＳＰガードを搭載。運転状況（振動、内部温度、背圧、等）を液晶モニターにて常時表示
