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深層学習×データ解析によりSEM像から活物質の粒径を求めました
深層学習により、画像から目的の対象物を抽出することが可能です。また、得られた対象ごとに領域を解析することで数値として情報を得ることができます。 今回、バッテリー正極材の断面SEM像に対して、深層学習を用いて活物質粒子の抽出、クラックの検出をしました。Slice&Viewデータのような3Dデータに対しても同様に抽出が可能です。3Dデータからクラック有、クラック無粒子を抽出し、それぞれの粒径を算出しました。 測定法：SEM、Slice&View、計算科学・AI・データ解析 製品分野：太陽電池、二次電池、燃料電池 分析目的：構造評価、形状評価、故障解析・不良解析 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
微小部断面加工と分析、残留応力測定などイオンミリング、FE-SEM、EBSD等による各種事例をご紹介します。資料DL可です。
当事例集では、『断面観察及び構造解析』にかかる事例についてご紹介します。 「EBSDを用いたアルミスパッタ膜の評価」の分析事例をはじめ、 「イオンミリングによる微小部断面加工」の目的や手法、試料と結果、 「はんだ断面の残留応力測定」の目的や手法、結果など多数掲載。 他にも、配向評価や断面観察結果、測定などご紹介しています。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■EBSDを用いたアルミスパッタ膜の評価 ■イオンミリングによる微小部断面加工 ■はんだ断面の残留応力測定 ■線材の残留応力測定 ■冷却（クライオ）イオンミリング断面加工 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
走査型電子顕微鏡（SEM） ■業界：自動車（試作）／半導体／ロボット
単結晶ダイヤモンドチップの刃先表面を走査型電子顕微鏡（SEM）で観察しました。 PCD（ダイヤモンド焼結体）の刃先表面も観察し、比較しました。 表面の微細な凹凸の違いがはっきりと確認できました。 この違いが加工にどのように影響するか。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
難電導性試料の無蒸着観察可能！繊維等の表面観察に最適な走査型電子顕微鏡検査
『走査型電子顕微鏡（SEM）』は、細く絞った電子線を試料に照射、走査し、 二次電子や反射電子を検出してその強度をモニター上に映像として表示する ことによって対象物の拡大像などを得る装置ですです。 像質が落ちるため高倍率観察には向きませんが、低真空モードを使い、 難電導性試料の無蒸着観察も可能です。 【観察項目】 ■5～300,000 倍での表面観察 ■附属装置のエネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）による元素分析（B～U） ■微小領域の元素同定（定性分析・半定量分析） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
21世紀の社会ニーズの医療・情報各分野に極的な事業展開をはかっています！
株式会社スペリアは、精密まき線のプロとして特殊コイル製造を行ったり、機械装置組み立て事業として電子顕微鏡ユニット組み立てや半導体関連ユニットの超精密組み立てなどを行っている会社です。 また、半導体製造装置用の洗浄槽などの樹脂加工や合理化機械設備等の設計から製作まで一貫しての受注も行っております。 【事業内容】 ■特殊コイル製造 ■機械装置組立 ■産業機械関連樹脂加工 ■精密部品加工 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください
最大200nAの照射電流は、各種マイクロアナリシスに対応！分析能力も強化
広視野全体像から表面微細構造まで、短い時間で多くの情報を取得できる 「FE-SEM」を導入した事例をご紹介いたします。 表面微細構造、組成、結晶学的情報、形状情報など多彩な イメージング能力を装備。 複数の二次電子信号や反射電子信号が同時に取得でき、これまでより 短い時間で多くの情報を得られるようになりました。 【事例概要(抜粋)】 ■導入製品：HITACHI製SU7000 ・電子源：ZrO/Wショットキータイプエミッター ・二次電子分解能：0.8nm(加速電圧 15kV)、0.9 nm(加速電圧 1kV) ・加速電圧：0.1～30kV ・倍率：20～2,000,000倍(装置スペック) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
SEM-EDXによる形状観察及び簡易定量分析
半導体ウェハ製造プロセスにおけるパーティクルの制御は、ウェハの品質を担保する上で非常に重要です。本事例では、Siウェハ上パーティクルのSEM観察及びEDX分析と簡易定量(※1)によって、パーティクルが何かを推定しました。サブミクロンの高い空間分解能を持ち、数cmの領域を走査できるSEM装置では、形状及び組成情報からウェハ上のパーティクルが何かを速やかに推測でき、発生工程を素早く特定することができます。欠陥検査装置の座標データとリンクした分析も可能です。
光学顕微鏡より遥かに高分解能！ミクロでの表面観察や表面凹凸の確認に適しています
「卓上走査型電子顕微鏡」は、真空中に細く絞った電子線で試料表面を 走査し、試料から出てくる情報を検出して拡大表示させる顕微鏡です。 光学顕微鏡より遥かに高分解能で、ミクロでの表面観察や表面凹凸の 確認に好適。 また、表面観察のほかに、X線検出器を用いたEDS元素分析により、 試料表面にどんな元素がどの程度含まれているかを確認することが可能です。 【特長】 ■加工が難しい試料やそのまま観察したい試料等に有効 ■最大W100mm×D100mm×H40mmまでの試料を試験台にセットできる ■ユーセントリックホルダを活用することで、試料の傾斜・回転が可能 ■ミクロでの表面観察や表面凹凸の確認に好適 ■線検出器を用いたEDS元素分析により、試料表面にどんな元素が どの程度含まれているかを確認することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
