試験・分析・測定

ジャパンクリエイト株式会社

設立1963年12月7日
資本金3000万
住所埼玉県所沢市林1丁目203番地4
電話04-2938-3111
最終更新日：
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ジャパンクリエイトの製品・サービス一覧

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ウエハー自動洗浄装置 ウエハー自動洗浄装置
エッチング装置 エッチング装置
スピン洗浄装置 スピン洗浄装置
スピンドライヤー スピンドライヤー
その他洗浄装置 その他洗浄装置
ワイヤーソー ワイヤーソー
スパッタ装置 スパッタ装置
真空蒸着装置 真空蒸着装置
アニール装置 アニール装置
CVD装置 CVD装置
ドライエッチング装置 ドライエッチング装置
CO2洗浄機 CO2洗浄機
オーダーメイド製作実績 オーダーメイド製作実績
コーティング装置 コーティング装置
合成装置 合成装置
乾燥炉 乾燥炉
CO2洗浄機

CO2洗浄機

当社が取り扱う「CO2洗浄機」をご紹介します。

CO2スプレー洗浄装置

基板サイズは最大φ12インチ！当社独自ノズルのCO2ラバージェットノズル使用

『CO2スプレー洗浄装置』は、真空環境での洗浄のため低露点環境で CO2洗浄ができます。 当社独自ノズルのCO2ラバージェットノズルを使用。 個体CO2粒子速度と粒子密度の可変ができ、好適な洗浄条件を提案可能です。 マイクロレンズ上のパーティクル除去やスパッタ残渣除去、濡れ性改善に ご利用いただけます。 【特長】 ■当社独自ノズル：CO2ラバージェットノズル使用 ■真空環境での洗浄 ■ダメージレスドライ洗浄が可能 ■基板サイズは最大φ12インチ ■ハンディータイプのスプレーユニット販売可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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