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合成装置
当社が取り扱う「合成装置」のご紹介です。
【仕様】 ■基板サイズ：最大φ12インチ ■CNT合成ガス：CH系、H2 ■基板加熱温度：最高800℃（基板表面） ■真空排気：RP ■圧力制御：APC制御 ■制御操作 ・制御：PLC ・操作：タッチパネルまたはPC ■データロギング：外部メモリまたはPC ■オプション ・基板自動搬送システム ・ガス検知器 ・シリンダーキャビネット など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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