エムエス機器の製品・サービス一覧

信頼性の高い高性能ペルチェモジュールとSolidStateCoolingSystems社が開発した独自の特許技術を持つ熱交換プレートの組み合わせにより、非常にコンパクトながら高い冷却能力を発揮するチラーです。フロンガスを一切使用しておりませんので、GWP規制による使用制限やフロン管理のための点検作業が不要です。また、冷凍機を搭載していないことから、振動や騒音も少なく、摩耗や劣化による不具合を軽減します。装置の組み込みにも適していてお薦めです。 ＜当社ペルチェチラーの特徴＞ 　・温室効果ガスフリーで環境に対する悪影響が無い 　・小型・軽量で騒音・振動が極めて少ない 　・消費電力を最小限に抑えた使い方が出来る 　・温度応答性がよく、優れた温度安定性 　・機械部品が少ないため、故障率が低い ＊詳細な製品情報についてお問い合わせください 【展示会　出展情報】 ■展示会名：SEMICON JAPAN 2022 ■期間：2022年12月14日（水）～12月16日（金） ■会場：東京ビッグサイト（東展示棟・会議棟） ■小間番号：Hall 1 1416

• チラー

Solid State Cooling systems社のペルチェチラー は、高性能なペルチェ素子と独自技術で開発した液体を媒体とする高効率な熱交換プレートを組み合わせることにより、温度安定性と温度レスポンス性に優れたペルチェ素子の特徴を最大限に生かしたチラーです。従来のチラーで採用されている冷凍機とヒーターを用いた非効率な温度制御方式に比べて、省エネ、省スペース、低騒音、低振動、脱フロンといった、多くの革新性と優位性を備え、半導体、レーザー装置、分析機器、医療機器、ストレージ、航空技術、軍事産業など、特にシビアな温度制御が要求されるマーケットで豊富な納入実績があります。 ＜ペルチェチラーの特徴＞ 　・温室効果ガスフリーで環境に対する悪影響が無い 　・小型・軽量で騒音・振動が極めて少ない 　・消費電力を最小限に抑えた使い方が出来る 　・温度応答性がよく、優れた温度安定性 　・機械部品が少ないため、故障率が低い ＊置き換え事例をまとめたハンドブックを用意しています 　・省エネ効果 　・安全対策 　・フロン対策 　・老朽化対策 　・省スペース効果 　・低振動効果

• その他環境機器
• その他半導体製造装置

フッ素系溶媒は、絶縁性が高いため、半導体製造装置や各種測定装置の温調用循環液として広く使用されています。 また、不燃性・不活性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。 このフッ素系循環液には専用に設計されたチラーがございます。 ＜ペルチェ式チラー＞ ThermoRack1201/1801 ThermoCube NIKOLA3K/5K ＜冷凍機式チラー＞ M-75HFE ・Fluorinert（FC-3283等）、Novec（HFE-7100、HFE-7200等） 　Galden （HT-200等）、Opteon（SF10等）など多くのフッ素系溶媒に対応できます ・タンク容量・内部配管容量がわずかなので、高価なフッ素系溶媒の使用量をへらすことができ イニシャルコストが抑えられます ・密閉構造で貴重なフッ素系溶媒が蒸発しにくいのでランニングコストを抑えることができます ・ペルチェ式チラーモデルは密閉性が高く結露による水分の混入がありません。IPAなどの溶媒で脱水ができないフッ素系溶媒にも好適です

• その他環境機器
• その他半導体製造装置

『ThermoRack1201/1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大93％削減 ■冷却水使用量を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減 ■19インチラックに収まるサイズで省スペース

• チラー

信頼性の高い高性能ペルチェモジュールとSolidStateCoolingSystems社が開発した独自の特許技術を持つ熱交換プレートの組み合わせにより、非常にコンパクトながら高い冷却能力を発揮するチラーです。フロンガスを一切使用しておりませんので、GWP規制による使用制限やフロン管理のための点検作業が不要です。また、機械的部品をほとんど使用しておりませんので、振動や騒音も少なく、摩耗や劣化による不具合を軽減します。装置の組み込みにも最適です。 必要な仕様に応じて複数のラインアップから最適な1台を選択可能です。 ・冷却能力 ： 160W～600W ・ポンプ ： アプリケーションに応じて選択可能（ThermoCube) ・接液部材質 ： 異種金億による腐食防止を考慮した材質の選択が可能 (UC、TCube edge、ThermoCube) ・循環液 ： 水/エチレングリコール溶液、Koolance、フッ素系溶媒 　　　　　 対応モデルもあります(ThermoCube) ＊空冷式　水冷式モデルもあります(ThermoCube)

• チラー

Thermo Fisher Scientific社製の中古チラーを純正部品を使ってオーバーホールしたリファービッシュ品の販売を開始しました。 納期はご発注から納品まで約2か月、メーカー製品保証半年間付きです。

• その他半導体製造装置

半導体製造プロセスで使用される多くの装置には発生する熱を除去、 一定温度を保つために冷却装置（チラー）が必要とされます。 ThermoFisherScientific社半導体製造用チラーは ・高い生産性 ・長期にわたる信頼性 ・操作ミスを誘発しない簡易な操作性 　が提供出来るようデザインされており、各社装置メーカー仕様に 　設計されたOEMモデルです。

• その他半導体製造装置

『ThermoRack1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大93％削減 ■冷却水使用量を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減 ■19インチラックに収まるサイズで省スペース

• チラー

『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応！ 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大93％削減 ■冷却水使用量を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減 ■19インチラックに収まるサイズで省スペース

• チラー

冷却能力200W,300W,400W,600WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。 コアとなる電子温調モジュールは20万時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。オプションを多数用意しており、様々なカスタマイズが容易なデザインとなっています。フロンガス不使用で環境にやさしいチラーです。 ＊オプションに関してはお問合せ下さい 【特徴】 ■半導体製造装置の温度コントロール ■レーザーの冷却 ■ガス容器の温度コントロール ■スキャニング電子顕微鏡

• チラー

冷却能力最大290WのTCubeEdgeはすぐれた温度信頼性であなたの機器のパフォーマンスを最適化して高い採算性をもたらします。TCubeEdgeは循環水の温度変化に素早く応答して0℃～65℃の温度コントロールにおいて室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現します。スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。 200,000時間を越える寿命の電子温調モジュールを内部しているTCubeEdgeはコンプレッサーを用いず稼働部品もほとんどないため騒音・振動が極めて少ないです。フロンを用いないので環境に優しい製品です。

• チラー

ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。 【特長】 ■素早い温度応答性と優れた温度安定性 ■4Uスタンダード　19インチラックに収まるサイズで省スペース ■温度安定性：±0.05℃（無負荷または負荷一定時） ■フロン系冷媒不使用 ■消費電力を大幅削減 ■騒音・振動を低減

• エッチング装置

『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応！ 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減

• チラー

フッ素系溶媒（フロリナート、ノベック、ガルデン、オプテオン）は、絶縁性が高いため、電食を防止する効果が非常に高く、装置のメンテナンスを容易に行うことが可能です。 また、不燃性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。 （フッ素系溶媒の特徴） 　・電気絶縁性が高い 　・熱伝導性が高い 　・熱的安定性が高い 　・化学的安定性が高く不活性 　・毒性が低く、不燃性のため安全性が高い

• その他環境機器
• その他半導体製造装置

ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力700～900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命です。 【特長】 ■素早い温度応答性と高い温度安定性 ■6Uスタンダード　19インチラックに収まるサイズで省スペース ■温度安定性：±0.05℃（無負荷または負荷一定時） ■フロン系冷媒不使用 ■消費電力を大幅削減 ■騒音・振動を低減

• チラー

半導体製造の洗浄過程で使用される薬液の温度管理は製品の品質や生産性を左右する重要なファクターです。 ペルチェモジュールを用いた本装置は洗浄薬液を±0.05℃で温度制御を行います。 非常に小型のモジュールで、流路チューブをダイレクトに温度制御する方式ですので従来のタンクで薬液を温調するよりも10-30%使用量の削減が見込めます。 さらに動作部分がないシンプル構造のため振動・ノイズもなくメンテナンスがほとんど不要です。 別売の専用のコントローラーで温度制御します。

• チラー

ThermoFisherScientific社「Horizon Fog Tesingt System」は、高温環境下において自動車内装材（ゴム・プラスチック・繊維）および建築内装材の添加剤や接着剤等から発生する揮発成分が温度差によりガラス面に付着し、視界を妨げる現象を再現します。 揮発物質の物質量およびガラスに付着することによる反射角度を測定することにより、内装材料の評価を行うことが可能です。

• 試験機器・装置

『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応！ 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減

• チラー

『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応！ 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減

• チラー

冷却能力200W,300W,400W,600WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。 コアとなる電子温調モジュールは20万時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。オプションを多数用意しており、様々なカスタマイズが容易なデザインとなっています。フロンガス不使用で環境にやさしいチラーです。 ＊オプションに関してはお問合せ下さい

• チラー

冷却能力200W,300W,400W,600WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。 コアとなる電子温調モジュールは20万時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。オプションを多数用意しており、様々なカスタマイズが容易なデザインとなっています。フロンガス不使用で環境にやさしいチラーです。 ＊オプションに関してはお問合せ下さい

• チラー

冷却能力最大290WのTCubeEdgeはすぐれた温度信頼性であなたの機器のパフォーマンスを最適化して高い採算性をもたらします。TCubeEdgeは循環水の温度変化に素早く応答して0℃～65℃の温度コントロールにおいて室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現します。スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。 200,000時間を越える寿命の電子温調モジュールを内部しているTCubeEdgeはコンプレッサーを用いず稼働部品もほとんどないため騒音・振動が極めて少ないです。フロンを用いないので環境に優しい製品です。

• チラー

冷却能力最大290WのTCubeEdgeはすぐれた温度信頼性であなたの機器のパフォーマンスを最適化して高い採算性をもたらします。TCubeEdgeは循環水の温度変化に素早く応答して0℃～65℃の温度コントロールにおいて室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現します。スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。 200,000時間を越える寿命の電子温調モジュールを内部しているTCubeEdgeはコンプレッサーを用いず稼働部品もほとんどないため騒音・振動が極めて少ないです。フロンを用いないので環境に優しい製品です。

• チラー

『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大93％削減 ■冷却水使用量を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減 ■19インチラックに収まるサイズで省スペース

• チラー

超小型、静かな動作音。最も信頼できる電子温調モジュールにより、正確な温度コントロールを提供致します。循環水の温度変化に素早く応答して室温付近の温度制御さえも±0.1℃の温度安定性を維持します。 この手のひらサイズのチラーは装置の内部・上部に容易に設置できます。また、標準装備のRS232Cインターフェィスにより簡単に外部制御をおこなうことができます。フロンガス不使用で環境に優しいチラーです。

• チラー

冷却能力最大290WのTCubeEdgeはすぐれた温度信頼性であなたの機器のパフォーマンスを最適化して高い採算性をもたらします。TCubeEdgeは循環水の温度変化に素早く応答して0℃～65℃の温度コントロールにおいて室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現します。スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。 200,000時間を越える寿命の電子温調モジュールを内部しているTCubeEdgeはコンプレッサーを用いず稼働部品もほとんどないため騒音・振動が極めて少ないです。フロンを用いないので環境に優しい製品です。

• チラー

『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応！ 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減

• チラー

Thermo Scientific 社が推奨している標準循環液 Thermo Scientific Treated Waterは、1パッケージ 20 L (5ガロン) の循環液で、チラーの循環液として安心してご使用いただくことができます。 【成分と効果】 　主成分は水です。 ・モリブデン酸塩 - 炭素鋼腐食保護 ・シリカ - アルミニウム腐食保護 ・ホウ酸塩 - pH バッファー ・アゾール - 銅腐食保護 ・イソチアゾロン - 防腐剤 冷却システムでは、腐食や水の汚れを最小限にすることが重要です。

• そのほか消耗品

サーモフィッシャーサイエンティフィック（Thermo Fisher Scientific社）の循環冷却装置”ThermoFlexシリーズ”は、冷却系システムおよび循環系システムの改良により、コンパクト設計でありながら900 W～24,000 Wまでの冷却能力で、10モデルをラインアップしています。 【特徴】 ○±0.1℃の優れた温度安定性 ○強力な循環ポンプを搭載（最大吐出圧0.69MPa まで対応） ○冷却能力 900W～24000W ○ヒートエクスチェンジャー搭載による高効率運転 ○大きな注水口と見易いレベルインジケーター ○空冷式/水冷式モデルが選択可能(TF 900、15000、20000 は空冷のみ) ○通信インターフェースをはじめ多様なオプションを用意 ※詳細は、カタログをダウンロードするかお問い合わせください。

• 冷却装置

超小型、静かな動作音。最も信頼できる電子温調モジュールにより、正確な温度コントロールを提供致します。循環水の温度変化に素早く応答して室温付近の温度制御さえも±0.1℃の温度安定性を維持します。 この手のひらサイズのチラーは装置の内部・上部に容易に設置できます。また、標準装備のRS232Cインターフェィスにより簡単に外部制御をおこなうことができます。 【特徴】 ■CCD カメラ ■ダイオードレーザー ■医療機器 ■研究機器 ■マイクロプレート温度制御

• チラー

ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・低振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。 【特長】 ■素早い温度応答性と優れた温度安定性 ■4Uスタンダード　19インチラックに収まるサイズで省スペース ■温度安定性：±0.05℃（無負荷または負荷一定時） ■フロン系冷媒不使用 ■消費電力を大幅削減 ■騒音・振動を低減

• エッチング装置

『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大93％削減 ■冷却水使用量を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減 ■19インチラックに収まるサイズで省スペース

• チラー

近年、バイオプロセッシングにおけるリスクの低減と業務の効率化を図るためにシングルユース技術の導入が急速に進んでいます。バイオ医薬品の製造において，従来のステンレス製培養槽に代わりプラスチック製の培養バッグが用いられるます。この新技術を活用することにより，定置洗浄・滅菌作業の省略，多品目製造への迅速な対応，高薬理活性医薬品製造におけるコンタミネーションの防止等，バイオ医薬品製造の効率化等が期待されます。

• その他半導体製造装置

半導体製造の洗浄過程で使用される薬液の温度管理は製品の品質や生産性を左右する重要なファクターです。 ペルチェモジュールを用いた本装置は洗浄薬液を±0.05℃で温度制御を行います。 非常に小型のモジュールで、流路チューブをダイレクトに温度制御する方式ですので従来のタンクで薬液を温調するよりも10-30%使用量の削減が見込めます。 さらに動作部分がないシンプル構造のため振動・ノイズもなくメンテナンスがほとんど不要です。 ●詳しくはお問い合わせください。

• チラー

小型ペルチェチラーと専用熱交換パッドがセットになったThermo Wrap Kit（サーモラップキット）は、従来型コンプレッサー方式の開放バスを使わずにバブラーを±0.1℃の精度で温度制御します。 【特徴】 ・バブラーを±0.1℃で精密に温度制御します ・冷却・加熱・常温付近での制御が可能です ・密閉循環ですので冷却液の蒸発も無く⾼額なフッ素系冷媒も使⽤しません ・バブラーにラップを巻きつけるだけですので使い方は至って簡単です ・ペルチェチラーを使⽤するので従来のバスタイプに⽐べて消費電⼒を80%削減できます ・改正フロン法(2015)に該当するフロン類は⼀切使⽤していません

• チラー

ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力700～900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。 【特長】 ■素早い温度応答性と高い温度安定性 ■6Uスタンダード　19インチラックに収まるサイズで省スペース ■温度安定性：±0.05℃（無負荷または負荷一定時） ■フロン系冷媒不使用 ■消費電力を大幅削減 ■騒音・振動を低減

• チラー

ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。 【特長】 ■素早い温度応答性と優れた温度安定性 ■4Uスタンダード　19インチラックに収まるサイズで省スペース ■温度安定性：±0.05℃（無負荷または負荷一定時） ■フロン系冷媒不使用 ■消費電力を大幅削減 ■騒音・振動を低減

• エッチング装置

超小型、静かな動作音。最も信頼できる電子温調モジュールにより、正確な温度コントロールを提供致します。循環水の温度変化に素早く応答して室温付近の温度制御さえも±0.1℃の温度安定性を維持します。 この手のひらサイズのチラーは装置の内部・上部に容易に設置できます。また、標準装備のRS232Cインターフェィスにより簡単に外部制御をおこなうことができます。

• チラー

ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力700～900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。 【特長】 ■素早い温度応答性と高い温度安定性 ■6Uスタンダード　19インチラックに収まるサイズで省スペース ■温度安定性：±0.05℃（無負荷または負荷一定時） ■フロン系冷媒不使用 ■消費電力を大幅削減 ■騒音・振動を低減

• エッチング装置

『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大93％削減 ■冷却水使用量を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減 ■19インチラックに収まるサイズで省スペース

• チラー

超小型、静かな動作音。最も信頼できる電子温調モジュールにより、正確な温度コントロールを提供致します。循環水の温度変化に素早く応答して室温付近の温度制御さえも±0.1℃の温度安定性を維持します。 この手のひらサイズのチラーは装置の内部・上部に容易に設置できます。また、標準装備のRS232Cインターフェィスにより簡単に外部制御をおこなうことができます。

• チラー

・コントローラーヘッドやバス内のクーリングコイルをなくしたコンパクトな筐体。 ・インバーター圧縮機、ステッパーバルブ、スピード調節可能なDCファン 採用して省エネルギー運転を実現。 ・操作性に優れた5.7インチカラータッチスクリーン装備。 ※詳しくは、カタログをダウンロードするかお問い合わせください。

• 冷却装置

環境対応デザイン 　最大80%のエネルギー削減 　●すべてのユニットがRoHS対応 　●再生資源を使用 安全操作 　すべてのユニットがUL/CSA対応、あらゆる条件でも安全操作 　●IQ/OQコンプライアンス対応 簡単操作 　簡単操作のインタフェース採用 ●クイックスタート ●コントローラは設置方向が自在

• 配管材

5種類のコントローラー 　●〜＋200℃ 　●±0.01 ℃ アクリル製バス 過性に優れたアクリル樹脂製で、水槽内の観察が必要なアプリケーションに最適です。 ＊使用温度範囲：〜60℃ ポリフェニレンオキサイド製バス ポリフェニレンオキサイド樹脂製で、保温性・断熱性・耐衝撃性・経済性に優れています。 ＊使用温度範囲：〜100℃ ステンレススチール製バス ステンレススチール製で、耐熱性・耐久性に優れ、クリーニングも容易です。 ＊使用温度範囲：〜200℃

• 配管材

サーモフィッシャーサイエンティフィック社のバスサーキュレーター「Thermo Tempシリーズ」は、コントローラー、バス本体、アクセサリー、サービス（オプション）を自由に組み合わせることが可能で、アプリケーションに応じた仕様で構成することができます。 多種多様な組み合わせにより、様々なアプリケーションに対応可能です。

• インキュベータ