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一歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。 ターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。高真空は膜純度の向上、膜密度の向上に貢献します。 パネルの EVAC START のボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行います。タッチパネル＋プログラム制御で操作ミスを防止する安全設計です。 VE-2050 には多彩な付属装置(オプション)が用意してあります。研究の目的に対応した機能の追加改造もお受けします。
★ VE-2013はVE-2030（弊社製）のコンセプトを継承した簡易型真空蒸着装置です。 ★ TMPを筐体内に内蔵したコンパクトな筐体を実現。デスクトップ型なので設置場所を取りません（RPは床置き）。 ★ 小型TMP＋RPの排気系により清浄高真空の蒸着装置を低価格で提供。 ★ 排気操作はタッチパネルスイッチのON／OFFのみで全自動制御。 ★ タングステンバスケットの使用で金・アルミニウム・クロム・銀などの蒸着が出来ます。 ★ カーボン蒸着はφ0.5mmの専用カーボンを蒸着するクランプ蒸着銃タイプを使用。 （φ5mmカーボンロッドは使用出来ません。）
VC-300シリーズはロータリポンプ排気、ピラニゲージで真空度を監視しながら行うので確実なカーボン蒸着ができます。カーボンはφ0.5の替え芯タイプなので、削る必要がなく周囲はいつも清潔です。また、電極部が高温にならないので、連続蒸着時に火傷する心配はありません。 省スペース、低価格を実現。
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔは多目的､多金属､実験用イオンスパッタ成膜装置です。電極分離型試料台で試料損傷回避、高速排気・簡易操作で能率的成膜、低価格・コストパフォーマンスの良い機能を持っています。 ＭＳＰ－３０Ｔの後継機として、フルオートコーティング、タッチパネル、レシピ機能などを搭載してパワーアップしました。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
本装置はＴＥＭホルダーをオイルフリー真空下で保管する装置です。本装置を使用することにより、コンタミネーションの付着を大幅に減らすことが可能です。 独立した真空室に保管するため、個別に出し入れが可能です。ＴＥＭホルダーポートはお客様のお使いのＴＥＭホルダーに合わせて製造いたします。
電子顕微鏡観察用前処理のための新型オスミウムコーター。 これまで人の手によるオペレーションの難しかった部分を完全自動化。より安全に、より簡単にオペレーションできる、オスミウムコーティングの新次元。 タッチパネルを搭載し、簡単で明快な操作を実現しました。誰でも簡単に、電子顕微鏡用導電膜を成膜可能。 また、多彩なオプションもご用意。安全面や機能を拡張します。 徹底的にこだわり抜いた装置ですが、驚きの低価格も実現。オスミウムコーティングにご興味のある方、オペレーションに不安のある方、是非当社のオスミウムコーターをご検討ください。テスト成膜、デモの依頼も随時承っております。
多機能・試料急速凍結装置 ＶＦＺ－１０１はメタルブロックで圧着凍結、液化プロパンで浸漬凍結、両方が可能。凍結した試料は大気中を通さずに周囲のカップに保管できます。周囲のカップに固定液を入れて置けば凍結置換固定装置になります。ポータブルですから任意の場所で試料採集ができます。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
マルチ成膜装置VEＳ－１０は親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置です。シャーペンの替え芯を蒸着。マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。排気開始からコーティング終了まで自動で行なえます。機能切替はボタン一つで楽々。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
プラズマイオンボンバーダ ＰＩＢ－２０型は好評な弊社製PIB-10形親水処理装置の多機能モデル。TEM用支持膜の親水化処理、ダイアモンドナイフ等のクリーニング、有機材料のエッチング、ＰＤＭＳの貼付とあらゆる用途に対応可能な高性能装置です。フルオート機能搭載で、調整後はボタンひとつでＯＫ！RFプラズマ装置が導入困難な方、RFプラズマ装置が高価で手が出せなかった方に高性能なACプラズマ装置を低価格で！ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
プラズマイオンボンバーダ ＰＩＢ－１０型は試料に優しい交流イオンボンバードです。操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。ソフトとハードの切り替えができます。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
t-ブタノール凍結乾燥装置ＶＦＤ２１－Ｓは走査電子顕微鏡の前処理装置です。試料ステージは電子温度制御です。試料の凍結・加温が真空排気中に行なえます。 降温５℃まで10分、昇温４０℃まで10分。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－８インチはマグネトロンターゲット電極で、8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。コーティング厚さのムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。コーティング電圧500V以下で、イオン衝撃によるダメージを軽減。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
マグネトロンスパッタ装置 ＭＳＰ－２０－ＴＫは電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のタングステンコーティング装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴは電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処理可能です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１Ｓは低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです。小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
マグネトロンスパッタ装置 ＭＳＰ－２０ＵＭは電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。膜純度の向上に活躍します。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングします。 シンプルなのに非常に光沢のある金属膜がワンタッチでコーティングできます。 試料をセットします。コーティング厚さに応じてタイマーをセットします。スタートボタンを押すと予備排気からコーティングまで自動的に進行します。コーティングが終わるとRPが止まり、自動的にエアリークされます。
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