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【プロセス】 ■LD→SOLV.-1→SOLV.-2→N2 バブリング浸漬→QDR（O/F） →2-STEPS CASCADE（DI）→F/R→S/D→UL/D ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【制御】 ■recipe：30recipe ■TP：TFT collar ■PLC：三菱製 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【仕様】 ■収容：SBS 規格シャロー・プレート350枚 ■ストレージ・タクト：27秒max ■温度、湿度：15℃～25℃（±1.0℃）、湿度は温度による成行き制御 ■サイズ・重量：H2350mm×W900mm×D800mm、800kg ■電源：AC200V 40A ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【製品仕様】 ■外形サイズ：W850×D610×H1,490(mm) ■重量：45kg ■材質：PVC ■消費電力：460VA ■定格電圧：AC100V ■最大噴霧量：3.4L/h ■タンク容量：20L ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【「kolleii GDK-500」の特長】 ■ミスト主成分：カテキン ■超音波加湿器ユニット搭載 ■人感センサーで自動噴霧 ■様々なシーンをクリーンにする ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【半導体装置】 ■Ф300mmカセットレス（50枚搬送） ■5、6、8 ” ウェハカセット洗浄装置 ■有機洗浄装置 ■Siナゲット洗浄装置 ■GaAsエッチング装置 ■マランゴニドライ洗浄装置 ■自動カセットオーブン ■ウェハ移載装置 ■石英管洗浄装置 ■石英管保管庫 ■スピンドライヤ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
【機能】 ■抜群の洗浄能力 ■ブラシ機能（オプション） ■乾燥機能 ■川幅サイズの変更が可能 ■現象装置、エッチング装置にも応用可能 ■2流体洗浄 ■搬送速度可変 ■G5（1100mm×1200mm）までの 対応装置製作可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
【洗浄例】 ■プラスチック容器 ■アルミ合金組み合わせ ■凹部局面曲げ加工の有るアルミ合金 ■樹脂成型 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
【機能】 ■回転テーブル ■容器洗浄 ■蓋洗浄 ■ワーク押え機構 ■シャワーノズル ■洗浄タンク ■全面シャッターロック機構 ■その他の搭載機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
【機能】 ■機能水＋超音波洗浄 ・指紋（皮脂）、ガラスカレット、レジスト残渣、0.5μmシリカ、0.1μmシリカ等の洗浄が可能 ■ブラシ洗浄（オプション） ・スポンジブラシ機能の追加が可能 ■乾燥機能 ・乾燥部は、垂直端面をローラー駆動 ・装置内のブロアを使用しエアーナイフで乾燥 ■その他の搭載機能 1．イオナイザー 2．pH計 3．漏水センサ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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