◆接液部は高純度石英ガラスを仕様することで金属汚染がありません。 ◆純水又は温水に比べスチームによる洗浄効果の増大。 ◆スチーム洗浄への転換による純水使用量の削減と洗浄時間の短縮。 ◆環境負荷の低減を考量した薬液レス洗浄への転換。 ◆ハロゲンランプ使用で、効率的なスチーム発生が得られます。 ◆スチーム+特殊ノズルによる効果的なレジスト剥離及びリフトオフ。 ◆スピン式装置ですのでスピンリンスやＨｏｔＮ２による乾燥が可能です。 ※仕様については別途お問合せ下さい。

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【特長】 ■ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを均一に沸騰させ、槽内に均一なベーパーを発生させることができます。 ■各基板の全面に、均一にHFE ベーパーが凝縮する為、全ての基板において均一な乾燥処理を行うことができます。 ■石英槽ですので金属溶質も有りません。

●薬液供給装置 N2圧送式、ポンプ圧送式から選択でき、液管理、pH 管理、自動濃度管理機能付もできます。お客様の安全を第一に考えた製品をご提供致します。 ●薬液回収装置 ポリタンク回収や大型タンク回収も設計・製作します。※大型タンクも可能。

【特長】 ■多孔質シリコンを全自動にて形成します。 ■裏面保護用治具を使用しない為カセットto カセットを可能にしました。 ■N型、P型両方に対応出来ます。 ■2～6インチまで各種サイズ対応いたします。8インチ以上はご相談ください。 ナノシリコン技術としてバイオメディカル・二次電池・太陽電池・半導体プロセス分野の新用途開発にも可能性が広がります。 ※孔の直径やポーラスシリコン層の厚さはご相談下さい。

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【カスタマイズ可な機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム（有機用） ○パトライト ○網入りガラス又は強化ガラス（有機用） ○爆圧ハッチ（有機用） ○各種インターロック 等 ※装置により一部機器は取付できない場合もございます 。

【オプション】 ・Suffix System…剥離層の超音波の効率を向上 ・DoM Jet System…液中高圧Jet機能とクイックダンプ機能でHU型、SL型、ML型の機能を向上 ・USF System…大量のスラッジを高効率に回収するシステム。ISF Systemとの併用も可 ・ISF System…剥離層で出るスラッジを分離、改修するインラインスラッジ除去装置 ・新Jetチャンバー機能…チャンバ―内に付着したスラッジの自動クリーニングシステム ※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。

【特長】 ■キャリアをそのまま又はケースに入れた状態で保管するものです。 ■庫内はクリーンな環境が維持できます。

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基本ドラフトチャンバー内に使用機器を組込むことにより、使い勝手の向上と安全面の向上が得られます。 ダルトンでは用途に合わせ、最適なユニットをご提供致しますので、作業効率の向上が実現します。 現在お使いの槽やスピンコーターを組込む仕様にも対応致します。 【特長】 ■内部配管、配線等が整理され、外観がスッキリ。 ■責任範囲の明確化。 ■安全面も考慮。

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【特長】 ■用途に合わせたカスタマイズが可能で研究開発等に適しています。 ■オプションにより薬液供給・回収機能、濃度計等選択出来ます。 ■陽極酸化治具は各種サイズに応じてご提案致します。

【特長】 ■1キャリアから4キャリア処理まで対応可能。 ■自動機への組込も可能です。 ■割れ易い（GaAsなど）ワーク用もあります。

【特長】 ■レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管するものです。 ■庫内はクリーンな環境が維持できます。 ■バーコード管理にも対応できます。

【特長】 ■石英管や治具を安全に保管出来ます。 ■縦型保管と横型保管を選べます。 ■オプションにてN2パージやクリーンエアー乾燥等装備可能です。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

【特長】 ■クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫です。 ■酸・アルカリ系薬品に適した塩ビ製、有機系薬品に適したステンレス製の製作ができます。

【特長】 酸・アルカリなどのガスを適切に処理。 スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。 また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 スクラバー：薬液槽等から発生する揮発性ガスをスクラバーで中和処理し排出します。

【特長】 ■IEC 国際標準規格の防爆認証 　IEC 60079 シリーズ防爆構造に適合 ■コンパクト設計なので設置スペースを選びません ■細かい温度設定が可能 　蒸留温度の設定を 50℃～200℃の間で 1℃単位で設定でき、なおかつ加熱ヒーター出力調整も可能なのでより広範囲な溶剤再生に対応できます。 ■操作方法が簡単 　コンピューターパネルのボタンを押すだけで、自動運転ができます。 ■ダイアフラムポンプ内蔵 　本装置にはエアー駆動式ダイアフラムポンプ内蔵されていますので、廃溶剤を蒸留タンク内へ自動移送することが可能です。（操作盤の上部にポンプ作動用タイマーが付いています。） ■後始末も簡単 　蒸留タンク底部に手動式のドレンバルブが装備されていますので、再生作業終了後に残った液状スラッジを簡単に除去出来ます。尚、スラッジが固形化する場合には付属のライナーバッグ（耐熱ナイロン袋）をご使用ください。

【特長】 ■IEC 国際標準規格の防爆認証 　IEC 60079 シリーズ防爆構造に適合 ■コンパクト設計なので設置スペースを選びません ■細かい温度設定が可能 　蒸留温度の設定を 50℃～200℃の間で 1℃単位で設定でき、なおかつ加熱ヒーター出力調整も可能なのでより広範囲な溶剤再生に対応できます。 ■操作方法が簡単 　コンピューターパネルのボタンを押すだけで、自動運転ができます。 ■ダイアフラムポンプ内蔵 　本装置にはエアー駆動式ダイアフラムポンプ内蔵されていますので、廃溶剤を蒸留タンク内へ自動移送することが可能です。（操作盤の上部にポンプ作動用タイマーが付いています。） ■後始末も簡単 　蒸留タンク底部に手動式のドレンバルブが装備されていますので、再生作業終了後に残った液状スラッジを簡単に除去出来ます。尚、スラッジが固形化する場合には付属のライナーバッグ（耐熱ナイロン袋）をご使用ください。

仕様◇ 外装：SS+焼付塗装 内装：SUS304#400相当品 照明：黄色LED コンセント：2ヶ所 作業台へ6mmチューブ接続継手 作業台耐荷重：80～100kg レベルアジャスター 排気風量監視装置付き（標準） オプション◇ エアーガン 局所排気ダクト接続ポート キャスター

OHT・AGV対応 フレームFOUPやFOSBと兼用も可能 装置がコンパクト。6軸ロボット未使用 手動機から自動機まで対応 洗浄室は真空チャンバー及び常圧チャンバーの選択が可能 VOC,AMC（分子状汚染物質）、パーティクル、湿度の要求対応可