次世代メガソニック技術で最大300mmウェハーも一瞬でクリアに
SONOSYS社製1MHzメガソニックシステム（FTFトランスデューサー & MGHジェネレーター）は、単一基板の洗浄プロセスを最適化する高性能システムです。 主な特長を以下の通りです。 - 高精度洗浄: PFA製の密閉型トランスデューサーが基板から約1.5mmの距離で設置され、メガソニックエネルギーを均一に伝達 - 特許技術採用: 「バタフライ圧電セラミック」技術により、従来のシステムと比較して最大40%高い音圧、最大30%高い効率を実現 - シングルプロセス対応: 最大300mmの基板やウェハーの洗浄に適用可能 - 高出力仕様: 150Wの出力調整範囲（約20%～100%）を持ち、1MHzの超音波を活用 - 安定した動作環境: 筐体は19インチエンクロージャーでコンパクトな設計 - 動作温度範囲は+10℃～+40℃ - 耐久性と適応性: 最大+80℃までの液体温度に対応（窒素冷却使用時） - PTFEコート同軸HFケーブル（3m）採用 - 精密設計: 設置距離は約1.5mm（1MHz時）、基板の最低液層厚は約4mm
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基本情報
モジュール型メガソニックジェネレーター（150W） - 出力電力: 150W - 出力調整範囲: 約20%～100% - 周波数: 1MHz - 電源電圧: 230VAC, 50-60Hz - 筐体: 19インチエンクロージャー（3/4U） - 寸法: 28HP; 165×185×329mm（WxHxD） - 重量: 約4.5kg - 動作温度範囲: +10℃～+40℃（結露を防ぐこと） FTFトランスデューサー - 寸法: 約164×50×34mm - 材質: PFA - トランスデューサー要素: 特殊なPZT圧電セラミック（バタフライ技術） - 変換領域: 約150×25mm - 出力: 150W / 1MHz - HFケーブル: PTFEコート同軸HFケーブル（全長3m、うち0.8mはトランスデューサーからマッチングボックスまで）
価格帯
納期
用途／実績例
使用用途と具体的なプロセス ウェハー洗浄 - 最大300mmのウェハーの単一プロセス洗浄が可能 - PFA製密閉型トランスデューサーをウェハーから約1.5mmの距離で設置し、高効率で均一な音波エネルギーを伝達 - 液層を保持することで微細な異物やパーティクルを除去 フォトマスクの洗浄 - 半導体製造におけるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスクの汚れを除去し、パターンの精度を維持 - 「バタフライ圧電セラミック」技術により、従来システムと比較して最大40%高い音圧でより効果的な洗浄を実現 MEMSデバイスのクリーニング - 微細加工技術を用いたMEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）製品の洗浄に適用 - 非接触のメガソニック洗浄により、デバイスの損傷を最小限に抑えつつ、精密構造内の汚れを除去 ディスプレイパネル・IC基板の微粒子除去 - 液晶ディスプレイやプリント基板（PCB）、IC基板の表面処理前の洗浄 - 1MHzの高周波超音波による微粒子の効果的な除去により、製造品質を向上
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企業情報
ティックコーポレーションは、生産効率の改善・経費効率の向上・品質の向上・環境保全への配慮など企業が直面する諸問題の解決に寄与する製品を提供することをモットーに広く世界から製品情報を収集し、市場のニーズに応える製品を提供してまいりました。 今後も合理化に寄与する製品や近年特に厳しくなっている環境保全に寄与する製品を開発し、お届けできるよう努力してゆく所存です。 ◇◆主な取扱商品◇◆ ・精密工業用スプレーノズル ・農業用スプレーノズル ・エアーノズル / エアーナイフ ・特殊スプレーノズル ・タンク洗浄ノズル ・ブロワー ・超音波スプレーノズル（ネブライザー / アトマイザー） ・超音波洗浄装置 ・空気搬送装置 ・ベンチレーター ・プラスチックコネクター ・切断火口（ガスカッター用ノズル） ・ラテックス テスター ・自社製チュービングポンプ（ディスペンサー） ・シリンジポンプ