半導体製造装置の製品一覧

用途はアイデア次第！ 重い物が 楽に 軽く 回せる 小型旋回ベアリング「楽っかる(らっかる)」！

• 金属軸受・ベアリング

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに最適なコーティングシステムをご提供しております。

• コーター

ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃の開発資料！

• 電子ビーム描画装置
• その他電子部品

小ロット・量産・試作1個からの特殊バレル研磨に対応可能！

• 加工受託
• ウエハ加工/研磨装置

『台湾・リープ社』製、世界の主要半導体メーカーから認定を受けたICプログラマーのメーカーです。

• 半導体検査/試験装置

スリットバルブシール

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

固着対策シール

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• 空圧機器

パーフロロエラストマー！！耐熱性、耐薬品性に優れたパーフロロエラストマーです。当社はカルレッツの日本の正規代理店です。

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• エッチング装置

長期耐久性に優れたふっ素ゴム！！従来のふっ素ゴムに比べ高温（200〜220℃）での使用にも耐えます。

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• 真空機器

高機能メタルシール！！各種真空機器、半導体製造装置などに最適！

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• シール・密封

室温かつ大気圧で薄膜形成！安価な膜原料を使用！即納キャンペーン開催中

• その他加工機械
• コーター
• その他

実験用小型スリットコーター ・基板サイズ：200mm ・粘度：数cps～10,000cps ・膜厚：0.5～100μm

• コーター

実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ：200mm□ ・レンタル期間：6ヶ月（MAX） ※薄膜から高粘度まで

• コーター

軽量・コンパクトな卓上タイプ

• コーター

実験可能サイズ：600×700mm（最大） ランプ照度：50～140mW 受託加工テスト可能 デモ機貸出可能

• コーター

高照度172nmエキシマランプ　管面照度150mW/cm²以上

• コーター

Ｇ２～Ｇ6までの液晶用フォトマスク自動スピンコーター

• コーター

高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置

• その他半導体製造装置

多彩なフィルム・ガラスに対応するラミネート装置

• その他半導体製造装置

機能性フィルム・有機ＥＬ用洗浄装置

• その他半導体製造装置

レンタル専用エキシマUV ・長期貸出可能　15日～1年間以上 ・月額分割払いが可能 ・装置の修理費用は発生致しません。

• コーター

短納期・小ロットでも対応可能です。 経験豊富な技術者による対応。

• コーター

塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度：数cp～10,000cp 基板サイズ：G8サイズ ※塗布実験可能

• コーター

装置ラインナップ スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター MaxG8基板サイズまで可能です。

• コーター

超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能

• コーター

インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上

• コーター

業界初！レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・卓上タイプ　　　 基板：Max250mm□

• コーター

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上

• コーター