半導体製造装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

材料幅はTAB/CSP/COF用で35mm～160mm、FPC用で250～300mmに対応します！

• その他
• レジスト装置

搬送速度は1.5m/min、材料幅は350mmまで対応！薬液温度・圧力を精度よくコントロール

• エッチング装置

搬送速度は5.0m／min、材料幅は310mmまで対応！金属箔（ALなど）の表面をエッチング

• 乾燥機器
• その他表面処理装置
• エッチング装置

オリジナルパワーメータによる高速調芯！お客様の要望に合わせた専用調芯装置が製作可能です

• その他半導体製造装置

有効パターンエリアを大きくとる事が可能であり、材料の有効活用ができます

• めっき装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

レーザードリルなどで、ブラインドビア及びスルーホールなどの穴あけ後にスミアを除去！

• エッチング装置
• ドリル
• 乾燥機器

ヤシマの電子ビーム蒸着装置はすべてカスタムオーダー。ムダなく、将来の拡張性高く、シンプル。それで価格もリーズナブル。

• 蒸着装置

移載機能と厚み測定機能を搭載しています。

• その他半導体製造装置

シリコンブロック内部異物検査装置

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

薄膜太陽電池パネル測定装置

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

結晶欠陥測定装置　(光散乱断層撮影式)

• 半導体検査/試験装置
• その他電子計測器
• 分析機器・装置

インライン型ウェハー測定モジュール

• 半導体検査/試験装置
• その他電子計測器
• 分析機器・装置

JPV法により、非接触で、PNジャンクションのジャンクション・リーク、空乏層の容量評価、PN接合試料のシート抵抗を高速に測定！

• その他検査機器・装置
• 半導体検査/試験装置

世界唯一の分光エリプソメーター技術でのEP(光学式ポロシメーター）細孔率・細孔分布測定装置

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

シリコンウェハー/ブロックのPN判定が瞬時に行えます

• 半導体検査/試験装置
• その他電子計測器
• 分析機器・装置

渦電流技術を用いて、非接触/非破壊にてシリコンインゴット/ブロックの抵抗を瞬時に測定

• 半導体検査/試験装置
• その他電子計測器
• 分析機器・装置

u-PCD法でのマッピング測定が可能であり、太陽電池、半導体のマーケットに非常に多くの実績があります

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

単結晶シリコンブロック用ライフタイム測定装置

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

ロールツーロール分光エリプソメータ

• 半導体検査/試験装置
• 距離関連測定器
• 分光分析装置

結晶欠陥分析装置(非接触、非破壊式)

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

2流体でウェーハを徹底洗浄します。

• その他半導体製造装置

大阪半導体製造装置の精密部品　ステンレス加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• その他半導体製造装置
• エッチング装置
• モールディング装置

半導体製造装置の旋盤加工品　A5052　丸【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

ベトナム金属加工　アルミ加工　フライス加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• エッチング装置

半導体製造装置の精密部品　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

大阪旋盤加工　医療機器SUS精密部品 【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• その他半導体製造装置

半導体製造装置　フライス加工　アルミ精密部品　 【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• その他半導体製造装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄効果が得られます

• その他半導体製造装置
• その他洗浄機
• 超音波洗浄機

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄効果が得られます

• その他半導体製造装置
• その他洗浄機
• 超音波洗浄機

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