蒸着装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

• 蒸着装置

直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数収録

• 動力伝達機器
• 真空機器
• 蒸着装置

ミニチュアエバポレータ

• 蒸着装置
• 分析機器・装置
• 電子顕微鏡

低圧動作のECR型アトムソース

• エッチング装置
• 蒸着装置
• スパッタリング装置

真空蒸着装置とこれらに関連する機器メンテナンスサービスを行っております。

• 蒸着装置
• CVD装置
• スパッタリング装置

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデル

• 蒸着装置

最大1,000lpmまでの流量を確保

• CVD装置
• エッチング装置
• 蒸着装置

長時間の蒸着でもフィルム汚染が起こらない！高品質な薄膜形成ができる蒸着ボート

• 蒸着装置
• 非鉄金属

プランゼーのタングステン・モリブデン材料を使用して製造された、最高品質真空蒸着ボートとフィラメント。

• 蒸着装置
• 非鉄金属

プランゼーのタングステン・モリブデン材料を使用して製造された、最高品質真空蒸着ボートとフィラメント。

• 蒸着装置
• 非鉄金属

お客様のニーズに合わせた種類・形状・サイズの蒸着材料をご提供しています。

• 蒸着装置

シンプルな構造で低価格を実現。消費電力、設置スペース、GWPの低減にも成功しております。万が一のときには修理も行っています。

• 蒸着装置

各種消耗部品を取り扱っております。

• 蒸着装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動式のクラスター型成膜装置の完成形です。

• 蒸着装置
• 有機EL
• その他クリーンルーム用機器・設備

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有機材料及び金属材料の共蒸着が可能です。

• 蒸着装置
• 有機EL
• その他クリーンルーム用機器・設備

有機材料（有機EL、高蒸気圧材料）薄膜用に開発されたＫセルタイプの蒸着源です。

• 蒸着装置
• その他ヒータ
• 有機EL

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

• 真空機器
• 蒸着装置

LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！

• 蒸着装置

樹脂レンズへの成膜に最適！大量生産を高次元で実現する光学薄膜用蒸着装置です。

• 蒸着装置

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

• 真空機器
• 半導体検査/試験装置
• 蒸着装置

高真空及び超高真空に対応可能の真空部品

• 真空機器
• スパッタリング装置
• 蒸着装置

【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単です！

• 蒸着装置
• コントローラ

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

• 真空機器
• CVD装置
• 蒸着装置

金属表面処理や真空蒸着加工、および塗装のことならお任せ下さい！

• 加工受託
• 製造受託
• 蒸着装置

金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

• 真空機器
• CVD装置
• 蒸着装置

大口径シール

• CVD装置
• 蒸着装置
• その他半導体製造装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

• 蒸着装置
• 有機EL
• その他クリーンルーム用機器・設備

製品多様真空部品-アダッブタシリーズ

• 真空機器
• スパッタリング装置
• 蒸着装置

10 -10torrの真空度も対応実績あり。お客様のご要望に沿った真空チャンバーを製造した豊富な経験があります。

• 真空機器
• 恒温槽
• 蒸着装置

手動及び自動シャッターは、純度の高いタンタルで製作！

• 蒸着装置